本发明公开了一种匹配箱的输入端的阻抗匹配方法，该方案考虑到在匹配箱的输入端的阻抗没有达到目标阻抗之前，匹配箱的输入端的阻抗在调节过程中其相位角是发生变化的，且越靠近目标阻抗，阻抗的相位角的数值越小，基于此，本申请将相位角引入阻抗匹配过程...

本发明公开了一种匹配箱的阻抗调节方法、装置、系统及射频电源系统，根据相位电容及幅值电容的待调节极板的位置—容值—容值处阻抗的变化量的关系建立了补偿步长增益关系式，从而使得相位电容/幅值电容的不同容值处对应的补偿步长增益是不同的，从而与调...

本实用新型供：一种大气等离子激发电源，功率因数校正电路、全桥变换器、高压变压器；市电通过功率因数校正电路变成直流电，经全桥变换器逆变成交流电后，经过高压变压器形成大气等离子激发电压；全桥变换器的开关由微控制器产生的PWM信号控制开闭，还...

本发明供：一种大气等离子激发电源，功率因数校正电路、全桥变换器、高压变压器；市电通过功率因数校正电路变成直流电，经全桥变换器逆变成交流电后，经过高压变压器形成大气等离子激发电压；全桥变换器的开关由微控制器产生的PWM信号控制开闭，还包括...

本实用新型公开了一种射频电源点火系统，包括控制模块、直流电源、射频功率放大驱动模块、射频功率放大模块。控制模块的第一输出端通过射频功放控制信号通道与射频功率放大驱动模块的输入端相连接。射频功率放大驱动模块的输出端与射频功率放大模块的驱动...