本申请公开提供了一种脉冲识别方法及装置，从待识别信号集内获取至少一个待识别信号数据组，待识别信号数据组内是连续的、且同向变化的多个待识别信号数据，待识别信号集包含待识别信号数据；判断每个待识别信号数据组内的待识别信号数据是连续上升的还是...

本发明属于硅片吸附技术领域，具体涉及一种应用于刻蚀机的高压硅片吸附系统，包括输入模块、反激变换器和电压极性控制模块；通过反激变换器的设置，应用基于反激变换器的拓扑结构，实现了高倍数的电压增益，避免了高阶和低效率的问题，并且将二次侧的第一...

本发明属于硅片吸附技术领域，具体涉及一种硅片高压吸附电路，包括反激变压器电路和空气继电器电路；通过在每个副边绕组子模块内交替串联多组副边绕组和多个二极管，将副边绕组上二极管的电压应力分到多个相串联的二极管上，大幅降低了单个二极管上的电压...

本申请公开提供了一种电压偏置控制方法及电路，涉及电压偏置控制技术领域，其中方法包括：根据偏置电路的当前电信号数据和元件参数预测下一传动装置控制参数，下一传动装置控制参数使偏置电路输出指定偏置电压，下一传动装置控制参数与下一电压漂移对应，...

本申请公开提供了一种双处理模块设备及其控制方法，该设备包括：控制处理模块，若检测到有电弧产生，则执行指定操作，指定操作包括以下操作中的至少一种：操作一，停止被运算处理模块获取设备运行数据；操作二，向运算处理模块发送关断运算指示；运算处理...

本发明涉及一种三相谐振整流器及其控制方法，三相谐振整流器包括PFC模块和LLC模块，其中：PFC模块包括三相电源、三个第一电感、开关电路和第一电容；所述开关电路为三相桥，每一桥臂包括一个第一开关管和一个第二开关管；同一桥臂中，第一开关管...

本发明涉及一种基于耦合电感的高增益变换器及其控制方法，变换器包括电源、开关电容模块、第一开关管、第二开关管和直流负载；开关电容模块包括四个二极管和两个电容；第一二极管的负极与第一电容的第一端连接，第一电容的第二端与第二二极管的正极连接，...

本申请公开了一种调压电路、电信号检测电路与电子设备，调压电路用于对第一接口的电压进行调节，调压电路包括电阻支路、运算支路与调节支路。电阻支路与第一电源连接，电阻支路被配置为电阻值可调的支路，并基于第一电源的电压输出可调节的电压。运算支路...

本申请公开了复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备，复合式等离子体源系统包括电源装置、等离子体设备、第一分体式等离子体装置与电力分配装置。电源装置用于提供工作电力。第一分体式等离子体装置与等离子体设备连接。电力分配装置用于实现以下...

本申请公开提供了一种双处理器设备及其控制方法，其中，该方法包括：若检测到电弧发生，则控制处理器执行关断操作；并将共享存储器中的关断指示标识设置为关断状态，运算处理器根据关断指示标识的状态跳过获取第一设备运行数据，第一设备运行数据是控制处...

本申请公开提供了一种双处理器设备及其控制方法和处理器，其中，双处理器包括控制处理器和运算处理器，方法由控制处理器实现，方法包括：若检测到电弧发生，则向运算处理器发送预关断输出前置交握，以便运算处理器根据预关断输出前置交握停止相关运算操作...

本申请涉及一种双H桥移相变换器，包括第一驱动模块、第二驱动模块、固定相位H桥、可变相位H桥和功率合并模块。第一固定驱动信号和第二固定驱动信号分别通过第一驱动模块转换为第一至四驱动信号，驱动固定相位H桥中的四个开关模块工作。第一可变驱动信...

本申请涉及一种电流控制方法和能量辐射系统，该方法包括通过电流控制装置提供高频电力至射频能量辐射单元的各线圈；通过电流控制装置调节传输至各线圈的高频电力之间的电流比例和/或电流相角。在非理想状态下，由于制造工艺导致各线圈存在性能上的差异，...

本申请涉及一种等离子体腔电弧抑制方法、装置和射频电源系统。所述方法包括：通过电弧检测采样获取等离子体腔内的反射系数；反射系数包括瞬时反射系数和平均反射系数；将瞬时反射系数和平均反射系数的差值绝对值与设定反射系数阈值比较；若根据比较结果确...

本申请公开提供了一种射频电源信号采集方法及装置，方法包括：根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；确定采样数组内脉冲斜坡确定模块上升沿区间和脉冲斜坡确定模块下降沿区间对应的异常数据位；将异常数...

本发明涉及用于三相DC

本申请公开提供了一种三相转DC

本申请公开提供了一种射频电源信号采集方法及装置，其中，该方法包括：确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；将采样数组内与上升沿区间和下降沿区间对应的数据位设置为0、信号低位或空信号，解决了现有技术中由于采集板连续不间断采集电压和电流...

本申请公开提供了一种射频电源信号采集方法及装置，方法包括信号采样阶段，信号采样阶段根据预设功率上升阈值、预设功率下降阈值、预设上升沿填补数据个数和预设下降沿填补数据个数分别确定当前脉冲周期内的上升沿数据填补区间和下降沿数据填补区间；在采...

本发明提供了一种多频微波激发等离子体系统，通过具有不同的微波输出参数的固态发生器通过微波传输系统耦合进入微波谐振腔体；微波谐振腔体按照第一空间布局方式执行多个固态发生器在不同方向上的耦合进入，以符合最佳的等离子体激发和维持条件；控制器耦...