本申请公开提供了一种射频电源信号采集方法及装置，方法包括：根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；确定采样数组内脉冲斜坡确定模块上升沿区间和脉冲斜坡确定模块下降沿区间对应的异常数据位；将异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，或，在进行采样数据输出时，跳过脉冲斜坡确定模块异常数据位的数据输出，解决了现有技术中射频电源连续采样，在开关机和PULSE模式产生的斜坡信号无法准确读取的问题。无法准确读取的问题。无法准确读取的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种射频电源信号采集方法及装置
[0001]本专利技术涉及射频电源信号采集
，具体涉及一种射频电源信号采集方法及装置。
技术介绍
[0002]射频电源目前的采集板是通过连续采样的方式来采集电压和电流信号。在开关机和PULSE模式下，采集的电压和电流信号是一个斜坡，这种现象是无法避免。而在斜坡阶段读取的电压和电流值的不准确的，这将导致下一步计算的功率值和阻抗值也不准确，射频电源在开关机和PULSE模式下采集的电压和电流信号会出现斜坡，而在斜坡阶段读取的电压和电流值是不准确的，这导致下一步计算的功率值和阻抗值也不准确。在现有的技术下，无法避免射频电源在开关机和PULSE模式下产生的斜坡。
技术实现思路
[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中射频电源连续采样，在开关机和PULSE模式产生的斜坡信号无法准确读取的缺陷，从而提供一种射频电源信号采集方法及装置。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术公开实施例至少提供一种射频电源信号采集方法及装置。
[0005]第一方面，本专利技术公开实施例提供了一种射频电源信号采集方法，所述方法包括：根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；确定采样数组内所述上升沿区间和所述下降沿区间对应的异常数据位；将所述异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，或，在进行采样数据输出时，跳过所述异常数据位的数据输出。
[0006]可选地，所述根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间包括：按照时间先后顺序连续采集至少三个采样点的射频电源信号；根据所述射频电源信号确定每个所述采样点的功率；对得到的每个所述采样点的功率值依次作差，得到至少两个任意相邻两个采样点的功率变化量；根据所述功率变化量和所述预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间。
[0007]可选地，所述根据所述功率变化量和所述预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间包括：确定所述功率变化量的变化规律；若所述功率变化量至少一个向上或者向下超出所述预设判定阈值，则判定当前采样点在上升沿区间内或下降沿区间内；否则，判定当前采样点不在上升沿区间内或下降沿区间内。
[0008]可选地，所述判定当前采样点不在上升沿区间内或下降沿区间内包括：若连续的两个所述功率变化量呈相反的变化方向，且均未超出所述预设判定阈值，则判定当前采样点信号处于波动状态。
[0009]可选地，所述预设判定阈值为Δth，0<Δth，至少两个任意相邻两个采样点的功率变化量包括Δ1、Δ2，所述功率变化量至少一个向上或者向下超出所述预设判定阈值包括：公式+Δth≦|Δ1|，和+Δth≦|Δ2|中至少一个成立。
[0010]可选地，所述连续的两个所述功率变化量呈相反的变化方向，且均未超出所述预设判定阈值包括：公式0≦Δ1<Δth和
‑
Δth<Δ2≦0同时成立，或，公式
‑
Δth<Δ1≦0和0≦Δ2<Δth同时成立。
[0011]可选地，所述公式+Δth≦|Δ1|，和+Δth≦|Δ2|中至少一个成立的情况，当所述公式+Δth≦|Δ1|，和+Δth≦|Δ2|同时成立时，其包括：在所述功率变化量连续向上时，公式+Δth≦Δ1和+Δth≦Δ2同时成立；在所述功率变化量连续向下时，公式Δ1≦
‑
Δth和Δ2≦
‑
Δth同时成立。
[0012]可选地，在所述上升沿区间和所述下降沿区间以外，所述采样数组读取并按顺序输出采样数据。
[0013]第二方面，本专利技术公开实施例还提供一种射频电源信号采集装置，包括：脉冲斜坡确定模块，用于根据连续采样点的功率变化量和所述预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；异常数据位确定模块，用于确定采样数组内所述上升沿区间和所述下降沿区间对应的异常数据位；异常数据位处理模块，用于将所述异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，或，在进行采样数据输出时，跳过所述异常数据位的数据输出。
[0014]第三方面，本专利技术公开实施例还提供一种计算机设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行上述第一方面，或第一方面中任一种可能的实施方式中的步骤。
[0015]第四方面，本专利技术公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面，或第一方面中任一种可能的实施方式中的步骤。
[0016]本专利技术的实施例提供的技术方案可以具有以下有益效果：通过检测反馈信号的斜率确定斜坡区间，进而判断所采集的数据是否准确，若判定为准确，则保留采集数据；否则，将异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，或者在数据输出时跳过异常数据，实现根据所采集信号的斜率来判断所采集的数据是否准确，进而校准射频电源在开关机和PULSE模式下采集的不准确的斜坡信号，使得最终计算出的功率值和阻抗值是准确的。
[0017]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前
提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1示出了本专利技术公开实施例所提供的一种射频电源信号采集方法的流程图；图2、图3示出了本专利技术公开实施例所提供的另一种射频电源信号采集方法的流程图；图4示出了本专利技术公开实施例中一种脉冲信号结构示意图；图5示出了本专利技术公开实施例中另一种脉冲信号结构示意图；图6示出了本专利技术公开实施例所提供的一种射频电源信号采集装置的结构示意图；图7示出了本专利技术公开实施例所提供的一种计算机设备的结构示意图。
具体实施方式
[0020]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本专利技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本专利技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0021]实施例1如图1所示，本专利技术公开实施例所提供的一种射频电源信号采集方法的流程图，方法包括：S11：根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；S12：确定采样数组内上升沿区间和下降沿区间对应的异常数据位；S13：将异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种射频电源信号采集方法，其特征在于，所述方法包括：根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间；确定采样数组内所述上升沿区间和所述下降沿区间对应的异常数据位；将所述异常数据位设置为0、空信号数值或信号低位数值，或，在进行采样数据输出时，跳过所述异常数据位的数据输出。2.根据权利要求1所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述根据连续采样点的功率变化量和预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间包括：按照时间先后顺序连续采集至少三个采样点的射频电源信号；根据所述射频电源信号确定每个所述采样点的功率；对得到的每个所述采样点的功率值依次作差，得到至少两个任意相邻两个采样点的功率变化量；根据所述功率变化量和所述预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间。3.根据权利要求2所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述根据所述功率变化量和所述预设判定阈值确定当前脉冲周期内的上升沿区间和下降沿区间包括：确定所述功率变化量的变化规律；若所述功率变化量至少一个向上或者向下超出所述预设判定阈值，则判定当前采样点在上升沿区间内或下降沿区间内；否则，判定当前采样点不在上升沿区间内或下降沿区间内。4.根据权利要求3所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述判定当前采样点不在上升沿区间内或下降沿区间内包括：若连续的两个所述功率变化量呈相反的变化方向，且均未超出所述预设判定阈值，则判定当前采样点信号处于波动状态。5.根据权利要求3所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述预设判定阈值为Δth，0<Δth，至少两个任意相邻两个采样点的功率变化量包括Δ1、Δ2，所述功率变化量至少一个向上或者向下超出所述预设判定阈值包括：公式+Δth≦|Δ1|，和+Δth≦|Δ2|中至少一个成立。6.根据权利要求4所述的射频电源信号采集方法，其特征在于，所述连续的两个所述功率变化量呈相反的变...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐亚海，林桂浩，乐卫平，张桂东，陈伟琛，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。