【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子体，尤其涉及一种等离子体处理设备的自动退料方法。
技术介绍
1、等离子体处理通常在等离子体处理装置中通入工艺气体，电离工艺气体成为等离子体，利用电场加速，对晶圆表面进行等离子体。
2、现有等离子体处理设备利用机械手将晶圆放置到反应腔的反应区，待反应完成后，再利用机械手从反应腔内取出晶圆，此过程中需要机械手在反应腔内的移入和移出，操作繁琐。
3、因为晶圆经过等离子体反应后温度升高，需要冷却后才能进行码放，因为存在冷却时间，导致晶圆码放时间长，工作效率低。
技术实现思路
1、鉴于上述的分析，本专利技术旨在提供一种等离子体处理设备的自动退料方法，用以解决利用机械手移入和移出晶圆，操作繁琐的问题，还用以解决晶圆冷却后才能码放，增加码放等待时间，导致工作效率低的问题。
2、本专利技术的目的主要是通过以下技术方案实现的：
3、本专利技术提供了一种等离子体处理设备的自动退料方法，等离子体处理设备包括承载开合机构、进料口、出料口和收料盒；
4、自本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种等离子体处理设备的自动退料方法，其特征在于，所述等离子体处理设备包括承载开合机构、进料口、出料口和收料盒；
2.根据权利要求1所述自动退料方法，其特征在于，所述S1之前还包括：
3.根据权利要求1所述自动退料方法，其特征在于，所述收料盒具有多个晶圆座；
4.根据权利要求3所述自动退料方法，其特征在于，
5.根据权利要求1-4任意一项所述自动退料方法，其特征在于，所述等离子体处理设备还包括设置在所述收料盒下方的码放仓和设置在所述码放仓内的小车；
6.根据权利要求5所述自动退料方法，其特征在于，在所述a之
<...【技术特征摘要】
1.一种等离子体处理设备的自动退料方法，其特征在于，所述等离子体处理设备包括承载开合机构、进料口、出料口和收料盒；
2.根据权利要求1所述自动退料方法，其特征在于，所述s1之前还包括：
3.根据权利要求1所述自动退料方法，其特征在于，所述收料盒具有多个晶圆座；
4.根据权利要求3所述自动退料方法，其特征在于，
5.根据权利要求1-4任意一项所述自动退料方法，其特征在于，所述等离子体处理设备还包括设置在所述收料盒下方的码放仓和设置在所述码放仓内的小车；
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，刘涛，谢幸光，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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