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本发明公开了一种等离子体处理设备的自动退料方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了因利用机械手移入和移出晶圆操作繁琐的问题，本发明还解决了因晶圆冷却后才能码放，增加码放等待时间，导致工作效率低的问题。本发明的方法包括承载开合机构携带完成等离...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术有限公司授权不得商用。

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