本发明公开了一种射频电源的叠层控制方法，属于射频电源控制技术领域，解决了现有射频等离子体电源系统的功率控制具有较长的延滞性的问题。该射频电源的叠层控制方法，包括：射频电源根据接收到的自身实时回传的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出...

本发明涉及一种基于多脉冲信号驱动的射频电源及射频电源系统，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间容易导致电路损毁的问题。该射频电源的主控模块中内置多脉冲发生器、切换控制器和切换器；其中，切换控制器连接在射频电源的输出端和...

本发明公开了一种等离子体处理设备的自动退料方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了因利用机械手移入和移出晶圆操作繁琐的问题，本发明还解决了因晶圆冷却后才能码放，增加码放等待时间，导致工作效率低的问题。本发明的方法包括承载开合机构携带完成...

本发明公开了一种射频电源的推挽式并联驱动输出系统，属于射频技术领域，解决了现有技术缺乏定频大功率的射频功率输出设计方案的问题。该系统包括：多组D类推挽式隔离逆变驱动电路、平衡电阻和一阶LC滤波器，以及，射频稳定器；其中，每组D类推挽式隔...

本发明涉及一种推挽式隔离逆变驱动电路，属于射频技术领域，解决了线性RF脉冲功率放大器的动态非线性等问题。在该电路中，第一、第二方波直流源分别输入变压器的初级线圈的异名端、同名端；变压器第一次级线圈的异名端连接第一嵌位防逆流模块的输入端，...

本发明公开了一种高精度的功率输出方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：发送使能信号至FPGA控制模块，以使FPGA控制模块在接收到使能信号时反馈脉冲启动信号；在接收到脉冲启动信号时，输出功率信号至外接设备，直至在接收到FPGA控制模块...

本发明公开了一种等离子体处理设备及方法，属于半导体器件技术领域。本发明解决了现有利用机械手装载待刻蚀基片和移出已完成处理基片过程繁琐、效率低，不利于自动化批量处理的问题。本发明等离子体处理设备，包括箱体、承载传输机构、密封机构和通气机构...

本发明涉及一种阻抗匹配阵列、匹配方法、射频电源及等离子体射频系统，属于射频电源技术领域，解决阻抗匹配问题；在阻抗匹配阵列的输入端和输出端之间包括逐级并联的多个电抗集成；每一级的电抗集成包括电抗单元、输入管、输出管和串联管；其中，本级输入...

本发明公开了一种等离子体生物质液化方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有等离子体生物质液化装置的反应腔开口朝上导致添加物料、取出液化后混合物、清洗反应腔和维护反应腔的操作不便捷，操作过程效率低的问题。本发明方法包括：确定对反应腔进...

本发明公开了一种脉冲电源消弧方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：输出脉冲电源信号至外接设备，并开始输出计时；当输出计时时间达到预设输出时间时，停止输出脉冲电源信号至外接设备，并开始关断计时；当关断计时时间达到预设关断时间时，返回至输...

本申请公开了一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法，所述有源阻抗匹配网络包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D<subgt;1</subgt;、第二二极管D<subgt;2</subgt...

本发明公开了一种等离子体生物质液化装置及方法，属于等离子体技术领域。本发明解决了现有技术中现有等离子体生物质液化装置在取出液化混合物的过程不便捷、易伤及操作人员，导致取料过程工作效率低的问题。本发明的装置包括基座结构、支撑结构、反应结构...

本发明涉及一种射频电源的多脉冲驱动发生装置，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间稳定性差的问题。该多脉冲驱动发生装置包括多脉冲发生器和切换器；其中，所述切换器连接在所述多脉冲发生器与射频电源的逆变器之间；所述多脉冲发生...

本发明涉及一种基于平衡功放的能量过冲抑制电路及其控制方法，属于瞬态能量抑制技术领域，解决了现有能量过冲抑制方式的电路结构复杂等问题。该电路包括耦合器1、耦合器2、阻抗网络1、阻抗网络2、放大器A<subgt;1</subgt...

本发明涉及一种改进型D类功放、功放控制方法、射频电源及供电方法；属于射频电源技术领域，解决阻抗匹配问题；其中，在D类功放输出端的电路中包括多级LC谐振电路，所述多级LC谐振电路中包括至少一级以并联电感和串联电容两种方式配置受控开关的LC...

本发明涉及一种逆变切换电路

本发明公开了一种等离子体处理设备，属于等离子体技术领域

本发明涉及一种电源功率控制电路

本申请公开了一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统，本发明的分析方法通过采集与信号同相调整的方式，获取与实际输出电压或电流信号同相的缩小信号，并通过信号同步变化的结果，得到一个第三方参数来表达两信号之间放大系数的线性关系，不仅能够...

本发明涉及电工电子技术领域，公开了一种信号放大电路及信号放大控制方法，该信号放大电路包括：射频功率放大器和校正补偿电路；射频功率放大器的第一端与输入信号连接，射频功率放大器的第二端与偏置电压连接，射频功率放大器的第三端与校正补偿电路的第...