【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及脉冲电源，尤其涉及一种脉冲电源消弧方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、随着科技的不断发展，电子设备的应用越来越广泛，而电子设备的使用均需要电源支持，因此电源的研究和发展也愈发受到重视。其中，脉冲电源由于其高效节能、体积小、重量轻和性能优良等优点，成为当前电源领域的研究热点。
2、然而，脉冲电源在工作过程中由于累积了靶材电荷，易产生硬弧，从而影响与之相连的器件的寿命，因此，脉冲电源的使用受到限制，现亟需一种有效避免脉冲电源产生硬弧的脉冲电源消弧方法。
3、上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种脉冲电源消弧方法、装置、设备及存储介质，旨在解决现有脉冲电源在工作过程中由于累积了靶材电荷，易产生硬弧，从而影响与之相连的器件的寿命的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种脉冲电源消弧方法，所述脉冲电源消弧方法包括：
3、输出脉冲电...
【技术保护点】
1.一种脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述脉冲电源消弧方法包括：
2.如权利要求1所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述脉冲电源信号包括：点火信号和PID运行信号；所述输出脉冲电源信号至外接设备，并开始输出计时的步骤，包括：
3.如权利要求2所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述按照预设时间间隔对所述外接设备进行电流检测之后，还包括：
4.如权利要求3所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述当所述连续异常次数超过预设异常次数时，停止输出所述点火信号之后，还包括：
5.如权利要求4所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述脉冲电源消弧方法包括：
2.如权利要求1所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述脉冲电源信号包括：点火信号和pid运行信号；所述输出脉冲电源信号至外接设备，并开始输出计时的步骤，包括：
3.如权利要求2所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述按照预设时间间隔对所述外接设备进行电流检测之后，还包括：
4.如权利要求3所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述当所述连续异常次数超过预设异常次数时，停止输出所述点火信号之后，还包括：
5.如权利要求4所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述输出所述pid运行信号至所述外接设备的步骤，包括：
6.如权利要求5所述的脉冲电源消弧方法，其特征在于，所述在接收到所述pid控制信号时，输...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，邱盛军，王欣，邓峻，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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