本发明涉及一种Cuk电路恒压恒流控制装置、方法及直流电源老化测试系统；属于射频电源技术领域，解决恒压或恒流运行问题，装置包括控制部分和执行部分；其中，控制部分包括电流瞬时值采样电路、电压瞬时值采样电路、恒压恒流切换电路；执行部分包括PW...

本实用新型公开一种沉积盘以及微波等离子体化学气相沉积装置，包括依次邻接的中心部、过渡部、边缘部、温度探测组件、流量控制组件以及电路板组件，中心部形成有中心冷却腔，过渡部形成有过渡冷却腔，边缘部形成有边缘冷却腔，中心冷却腔、过渡冷却腔以及...

本发明涉及一种基于分数阶元件的阻抗匹配方法及系统，属于阻抗匹配网络调节技术领域，解决了现有阻抗匹配方式无法兼顾负载呈现容性或感性的状态的问题。该方法包括：采集射频电源系统中阻抗匹配网络和负载阻抗之间的入射波和反射波；根据入射波和反射波判...

本申请实施例公开了一种阻抗匹配系统及方法，所述阻抗匹配系统包括n+1级LC网络，第一LC网络包括双稳态电路、第一电感、第一电容和第二电容，其中：所述n+1级LC网络中n

本发明涉及一种基于软开关的变换器及其控制方法，一种基于软开关的变换器，包括电源、升压模块和输出模块；升压模块包括第一升压模块和第二升压模块；所述第一升压模块包括第一输入单元、第一谐振单元、第一谐振电容；第一输入单元包括第一开关管，第一谐...

本申请提供一种脉冲信号处理方法、装置及匹配电路，方法应用于匹配电路的存储控制单元，匹配电路包括存储控制单元和读取控制单元，存储控制单元用于获取来自电源的电源信号并写入内部预设存储区域，读取控制单元用于从存储控制单元读取存储在预设存储区域...

本实用新型公开一种制冷装置以及微波等离子体化学气相沉积装置，包括水泵、制冷水箱以及冷凝管组件，冷凝管组件包括缓冲组件，缓冲组件包括中心连接条以及多个边缘缓冲板，中心连接条沿第一冷凝介质流通方向活动设置在冷凝管内，多个边缘缓冲板间隔设置在...

本实用新型涉及一种等离子体源机构，适用于真空腔体设备，等离子体源机构包括：壳体对接真空腔体设备的真空槽；射频能源辐射单元，位于壳体内部，具有同平面设置且面向真空糟内的多个线圈；第一电源，连接射频能源辐射单元，提供高频电力至多个线圈；磁场...

本发明涉及用于射频电源的阻抗匹配系统及阻抗匹配调节方法，一种用于射频电源的阻抗匹配系统，包括多个LC单元和输出模块；多个LC单元中有n

本发明涉及一种谐振变换器及其控制方法，一种谐振变换器，包括：第一开关组的三个第一开关管的第一端相连；第二开关组，每个第二开关管的第一端分别与一个第一开关管的第二端连接；第三开关组的每个第三开关管的第一端分别与一个第二开关管的第二端连接；...

本发明涉及一种三相谐振变换器，第一开关组与第二开关组连接，第二开关组与第三开关组连接；当第三开关组导通时，第一开关组与第二开关组构成第一三相整流电路；当第一开关组导通时，第二开关组与第三开关组构成三相逆变电路；谐振网络包括初级单元和次级...

本发明涉及变换器技术领域，具体涉及一种三相高增益变换器及其控制方法。三相高增益变换器包括：第一开关组，三个第一开关管的第一端相连；第二开关组，每个第二开关管的第一端分别与一个第一开关管的第二端连接；第三开关组每个第三开关管的第二端分别与...

本发明涉及信号同步技术领域，公开提供了一种信号同步方法、装置和等离子电源系统，该方法包括：依次获取参考频率；对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；对采样结果进行点积计算；根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，目标频...

本申请涉及一种等离子体源机构，包括能量辐射装置以及电流控制装置。其中，能量辐射装置安装于真空腔室外部的壳体内。电流控制装置包括电源以及多输出匹配模块；电源连接多输出匹配模块；多输出匹配模块的各输出端对应地连接能量辐射装置的多个线圈；电流...

本发明涉及变换器技术领域，具体涉及一种基于耦合电感的叠加型变换器及其控制方法，叠加型变换器包括输入模块和耦合电感模块，第一二极管的正极与第二电容的第二端连接，第一二极管的负极与第一电容的第一端连接；第一初级绕组的第一端、第二初级绕组的第...

本实用新型涉及一种等离子体源机构，包括：壳体，对接所述真空腔体设备的真空槽；射频能源辐射单元，位于所述壳体内部，具有同平面设置且面向所述真空槽内的多个线圈；电源，连接所述射频能源辐射单元，提供高频电力至所述多个线圈；第一磁体，环设在所述...

本发明涉及一种射频电源系统的阻抗匹配方法、装置及电源系统；属于射频电源技术领域，解决阻抗匹配问题，方法包括：在射频电源通过可调匹配网络为负载进行供电的射频电源系统结构中，对射频电源系统输入侧的电压和电流进行采集得到采集数据；在可调匹配网...

本发明涉及一种单相五电平逆变器及其控制方法，属于电力电子技术领域，解决了现有单相五电平逆变器所需开关器件较多、结构复杂等问题。在该逆变器中，开关管S1的源极连接开关管S3的漏极，S3的源极连接开关管S5的漏极；开关管S2的源极连接开关管...

本发明公开了一种电压纹波控制电路、方法及装置，属于变换器控制技术领域。本发明在电路中设置第一DC

本申请公开提供了一种电源系统的保护装置及方法，该装置包括：器件保护模块限制器件两端电压并检测流过器件电流，当器件发生过流故障时，关断器件并上传第一故障信号至电路保护模块；电路保护模块根据系统输出侧的电流检测电路故障，根据检测到的电路故障...