等离子体源机构制造技术

本申请涉及一种等离子体源机构，包括能量辐射装置以及电流控制装置。其中，能量辐射装置安装于真空腔室外部的壳体内。电流控制装置包括电源以及多输出匹配模块；电源连接多输出匹配模块；多输出匹配模块的各输出端对应地连接能量辐射装置的多个线圈；电流控制装置提供的电流，通过多输出匹配模块传递至多个线圈，多个线圈获取相同或不同比例的电流量，及相同相角或不同相角的电流。在非理想状态下，由于制造工艺导致各线圈存在性能上的差异，各线圈在相同的电流下产生的磁感应强度并不同，本申请电流控制装置根据各线圈的磁感应强度的差异，来调节输出给各线圈的电流之间的比例，通过调节电流从而调整各线圈产生的磁感应强度均匀化。均匀化。均匀化。

【技术实现步骤摘要】
等离子体源机构


[0001]本申请涉及射频电源，特别是涉及等离子体源机构。

技术介绍

[0002]等离子体源机构通过传输无线电波的方式，在不需要传输线的情况下，将信息传送至一定距离外。等离子体源机构中的能量辐射装置包括多个线圈。但在包括多个线圈的能量辐射装置中，由于线圈的制作工艺不能做到完全相同，导致各线圈通入相同的电流而产生的磁感应强度不同，从而影响等离子体源机构的输出精度，因此，在实现过程中，专利技术人发现传统技术中至少存在如下问题：传统等离子体源机构输出电磁波不均匀。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对传统多线圈的能量辐射结构的输出精度不高的问题，提供一种等离子体源机构。
[0004]为了实现上述目的，本申请实施例提供了一种等离子体源机构，应用于具有真空腔室的真空腔体设备，包括能量辐射装置以及电流控制装置；
[0005]能量辐射装置安装于真空腔室外部的壳体内；
[0006]电流控制装置包括电源以及多输出匹配模块；
[0007]电源连接多输出匹配模块；
[0008]多输出匹配模块的各输出端对应地连接能量辐射装置的多个线圈；
[0009]电流控制装置提供的电流，通过多输出匹配模块传递至多个线圈，多个线圈获取相同或不同比例的电流量，及相同相角或不同相角的电流。
[0010]在其中一个实施例中，多输出匹配模块为多数个；电源提供相同比例或相异比例的电流至各多输出匹配模块。
[0011]在其中一个实施例中，电源与多输出匹配模块皆为多数个，电源连接至多输出匹配模块包括一对一、一对多、多对多中至少其一的连接关系，各电源提供相同比例或相异比例的电流至所连接的多输出匹配模块。
[0012]在其中一个实施例中，电源提供第一电流至多输出匹配模块，多输出匹配模块调节第一电流形成多个第二电流且传输至多个线圈，多个第二电流彼此之间为相同或相异比例的电流量。
[0013]在其中一个实施例中，多输出匹配模块的数量为单一并具有两个以上的输入端，每一输入端对应不同多输出匹配模块的输出端，两个输入端自电源获取相同或不同相角的电流。
[0014]在其中一个实施例中，电源包括主控电源、至少一个从电源以及至少一个多输出匹配模块；
[0015]主控电源的各输出端对应地连接从电源；各从电源对应地连接多输出匹配模块。
[0016]在其中一个实施例中，电源包括主控电源与至少一个从电源，主控电源与从电源
分别连接多输出匹配模块的输入端并提供电流，主控电源控制各从电源输出电流的相角。
[0017]在其中一个实施例中，电源包括控制器与至少一个从电源，至少一个从电源分别连接多输出匹配模块的输入端并提供电流；控制器调节至少一个从电源输出电流的相角。
[0018]在其中一个实施例中，多输出匹配模块的数量为多数个，并自电源获取相同或不同相角的电流。
[0019]在其中一个实施例中，电源包括控制器与多个从电源，多个从电源分别连接多输出匹配模块，控制器控制多个电源提供相同或不同相角的电流。
[0020]在其中一个实施例中，多输出匹配模块为双输出匹配模块；
[0021]电源连接双输出匹配模块；
[0022]双输出匹配模块的各输出端对应地连接能量辐射装置的各线圈。
[0023]在其中一个实施例中，双输出匹配模块包括电容C0、可变电容C1、可变电容C2、可变电容C3；
[0024]电容C0的一端连接可变电容C1一端，另一端连接可变电容C2的一端，可变电容C3的一端连接可变电容C1另一端，可变电容C3的另一端连接可变电容C2另一端。
[0025]在其中一个实施例中，电流控制装置还包括功率放大模块；
[0026]电源通过功率放大模块连接多输出匹配模块。
[0027]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点和有益效果：
[0028]本申请等离子体源机构，包括能量辐射装置以及电流控制装置。其中，能量辐射装置安装于真空腔室外部的壳体内。电流控制装置包括电源以及多输出匹配模块；电源连接多输出匹配模块；多输出匹配模块的各输出端对应地连接能量辐射装置的多个线圈；电流控制装置提供的电流，通过多输出匹配模块传递至多个线圈，多个线圈获取相同或不同比例的电流量，及相同相角或不同相角的电流。在非理想状态下，由于制造工艺导致各线圈存在性能上的差异，各线圈在相同的电流下产生的磁感应强度并不同，本申请电流控制装置根据各线圈的磁感应强度的差异，来调节输出给各线圈的电流之间的比例，通过调节电流从而调整各线圈产生的磁感应强度均匀化，进而提升多线圈的能量辐射结构的输出精度。
附图说明
[0029]图1为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0030]图2为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0031]图3为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0032]图4为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0033]图5为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0034]图6为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0035]图7为本申请实施提供的等离子体源机构的一种结构示意图。
[0036]图8为本申请实施提供的双输出匹配模块的结构示意图。
具体实施方式
[0037]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所
描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。
[0038]需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件并与之结合为一体，或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“安装”、“一端”、“另一端”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0039]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0040]等离子体源机构用于发射无线电波，等离子体源机构中的能量辐射装置2中包括两个及以上的线圈，由于制造工艺的不同使得各线圈存在性能差异，在通入相同电流的情况下各线圈产生的磁感应强度会存在差异，导致能量辐射装置2的输出精度不高。为了解决该问题，如图1
‑
6所示，提供一种等离子体源机构，应用于具有真空腔室的真空腔体设备。等离子体源机构包括能量辐射装置2以及电流控制装置1，其中，能量辐射装置2安装于真空腔体设备的真空腔室外部的壳体内。在一个示例中，电流控制装置1包括电源以及多输出匹配模块13；其中，电源连接多输出匹配模块13；多输出匹配模块13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体源机构，应用于具有真空腔室的真空腔体设备，其特征在于，包括能量辐射装置以及电流控制装置；所述能量辐射装置安装于所述真空腔室外部的壳体内；所述电流控制装置包括电源以及多输出匹配模块；所述电源连接所述多输出匹配模块；所述多输出匹配模块的各输出端对应地连接所述能量辐射装置的多个线圈；所述电流控制装置提供的电流，通过所述多输出匹配模块传递至所述多个线圈，所述多个线圈获取相同或不同比例的电流量，及相同相角或不同相角的电流。2.根据权利要求1所述的等离子体源机构，其特征在于，所述多输出匹配模块为多数个；所述电源提供相同比例或相异比例的电流至各所述多输出匹配模块。3.根据权利要求1所述的等离子体源机构，其特征在于，所述电源与所述多输出匹配模块皆为多数个，所述电源连接至所述多输出匹配模块包括一对一、一对多、多对多中至少其一的连接关系，各所述电源提供相同比例或相异比例的电流至所连接的所述多输出匹配模块。4.根据权利要求1所述的等离子体源机构，其特征在于，所述电流控制装置提供第一电流至所述多输出匹配模块，所述多输出匹配模块调节所述第一电流形成多个第二电流且传输至所述多个线圈，所述多个第二电流彼此之间为相同或相异比例的电流量。5.根据权利要求1所述的等离子体源机构，其特征在于，所述多输出匹配模块的数量为单一并具有两个以上的输入端，每一输入端对应不同所述多输出匹配模块的输出端，两个所述输入端自所述电源获取相同或不同相角的电流。6.根据权利要求1所述的等离子体源机构，其特征在于，所述电源包括主控电源、至少一个从电源以及至少一个多输出匹配模块；所述主控电源的各输出端对应地连接所述从电源；各所述从电源对应地连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伟群，刘涛，张桂东，何卓霖，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：