射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备制造方法及图纸

本申请提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备，该方法包括获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T，循环周期T包括N个过渡时间和与N个开关元件对应的开启时间，每个开关元件均与一个负载连接；若电源输出电压的时间小于过渡时间，控制N个开关元件关闭；电源输出电压的时间t处于开关元件的开启时间内，控制对应的开关元件开启，控制其他N

【技术实现步骤摘要】
射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备


[0001]本申请属于电源
，尤其涉及一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备。

技术介绍

[0002]现有的半导体制作通常是用1台电源带动一个负载，通过射频电源的脉冲过程对腔体负载提供能源，从而进行半导体的制作。当腔体负载的数目多个时，采用1台电源带动一个腔体负载将需要多个射频电源，从而增加了射频电源的空间需求以及采购成本。且在半导体制作工艺中，工艺制作过程是一个脉冲过程，例如在一个周期之内，工作100ms后，停用500ms，这样射频电源将会有很大一部分的工作时间被浪费，为了充分利用射频电源的工作时间，以及在为相同数量的腔体负载提供电源的前提下减缩分时射频电源的数量以及采购成本。

技术实现思路

[0003]本申请的一个实施例提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备，以解决现有是一个射频电源给一个负载提供电源，多个负载需要多个射频电源，成本高的问题。
[0004]第一方面，本申请的一个实施例提供一种分时多个负载运行的控制方法，包括以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分时多个负载运行的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T，所述循环周期T包括N个过渡时间t
dt
和与N个所述开关元件对应的开启时间t'，每个所述开关元件均与一个负载连接；若电源输出电压的时间t小于所述过渡时间t
dt
，控制N个所述开关元件关闭；所述电源输出电压的时间t处于所述开关元件的所述开启时间t'内，控制对应的所述开关元件开启，控制其他N
‑
1个所述开关元件关闭。2.根据权利要求1所述的分时多个负载运行的控制方法，其特征在于，若所述开关元件的数量N为3，3个所述开关元件分别记为第一开关元件、第二开关元件和第三开关元件，所述第一开关元件的开启时间为t'1，所述第二开关元件的开启时间为t'2，所述第三开关元件的开启时间为t'3，所述电源输出电压的时间t处于所述开关元件的所述开启时间t'内，控制对应的所述开关元件开启，控制其他N
‑
1个所述开关元件关闭的包括：若所述电源输出电压的时间t处于t
dt
≤t＜t
dt
+t'1时，控制所述第一开关元件开启，控制所述第二开关元件和所述第三开关元件关闭；若所述电源输出电压的时间t处于t
dt
+t'1≤t＜2t
dt
+t'1时，控制所述第一开关元件从t
dt
+t'1时刻时开始关闭，控制所述第二开关元件和所述第三开关元件仍然关闭；若所述电源输出电压的时间t处于2t
dt
+t'1≤t＜2t
dt
+t'1+t'2时，控制所述第二开关元件开启，控制所述第一开关元件和所述第三开关元件关闭；若所述电源输出电压的时间t处于2t
dt
+t'1+t'2≤t＜3t
dt
+t'1+t'2时，控制所述第二开关元件从2t
dt
+t'1+t'2时刻时开始关闭，控制所述第一开关元件和所述第三开关元件仍然关闭；若所述电源输出电压的时间t处于3t

【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，姚志毅，张桂东，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：