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本申请提供一种射频电源及其分时多个负载运行的控制方法、装置和设备，该方法包括获取N个开关元件以及分时控制n个负载运行的循环周期T，循环周期T包括N个过渡时间和与N个开关元件对应的开启时间，每个开关元件均与一个负载连接；若电源输出电压的时间小...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术有限公司授权不得商用。

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