双频匹配器制造技术

本申请提出一种双频匹配器，该双频匹配器包括：双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，低频部分包括低频阻抗匹配网络，高频部分包括高频阻抗匹配网络；控制模块，用于根据低频部分的第一阻抗、高频部分的第二阻抗和负载阻抗生成用于调节双频匹配器中的电容的调节信号，根据调节信号对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配，根据调节信号对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。

【技术实现步骤摘要】
双频匹配器


[0001]本申请涉及电子
，尤其涉及一种双频匹配器。

技术介绍

[0002]传统双频匹配器分为高频部分和低频两部分，高频部分可以采用L型匹配网络，输入端检测采用的是模拟方式。低频部分可以采用电容和变压器的阵列构成T型匹配网络，采用的是手动调档的方式来改变电容和变压器的阵列来达到阻抗匹配。在通信方式上传统双频匹配器采用模拟口的方式与外部通信，用户通过对模拟口针脚输入电压来设置匹配器，读取阵脚电压来读取匹配器状态。
[0003]现有技术中，为了实现阻抗匹配，低频部分一般采用的是手动调档方式，对于阻抗变化比较大的工艺，调节比较复杂和麻烦，且需要频繁去调节挡位。而且低频部分输入端没有功率阻抗检测器，用户无法读取这些参数，影响了对工艺的准确调试。高低频部分输出端都没有检测器，用户无法读取输出端的功率、阻抗、电流电压等参数，也会影响对工艺的准确调试。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术的问题。本申请提供了一种双频匹配器，其主要目的在于实现自动阻抗匹配。
[0005]为实现上述目的，本申请提供了一种双频匹配器，该双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，低频部分包括低频阻抗匹配网络，高频部分包括高频阻抗匹配网络；
[0006]控制模块，用于根据低频部分的第一阻抗、高频部分的第二阻抗和负载阻抗生成用于调节双频匹配器中的电容的调节信号，根据调节信号对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配，根据调节信号对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。
[0007]本申请提出的双频匹配器，通过驻波比来判断是否达到阻抗匹配，在判定没有达到阻抗匹配的情况下获取输入端的阻抗以及负载阻抗，根据输入端的阻抗和负载阻抗来计算出用于调节阻抗匹配网络中的电容的第一数据，并根据第一数据来调节阻抗匹配网络中的电容，达到了自动实现阻抗匹配的目的。另外，本申请执行低频部分实现自动匹配器，高低频输入输出端的各种参数都能读取，可以与现场总线主站端通信。
附图说明
[0008]图1为本申请一实施例中双频匹配器的结构框图；
[0009]图2为本申请另一实施例中双频匹配器的结构框图；
[0010]图3为本申请一实施例中一种T型阻抗匹配网络的结构框图；
[0011]图4为本申请一实施例中两种L型阻抗匹配网络的结构框图；
[0012]图5为本申请一实施例中另外6种T型阻抗匹配网络的结构框图；
[0013]图6为本申请一实施例中另外4种L型阻抗匹配网络的结构框图；
[0014]图7为本申请一实施例中可变电容的等效示意图。
[0015]本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0016]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0017]图1为本申请一实施例中双频匹配器的结构框图；该双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，低频部分包括低频阻抗匹配网络，高频部分包括高频阻抗匹配网络；
[0018]控制模块，用于获取低频输入端的第一驻波比和高频输入端的第二驻波比，其中，低频输入端为低频部分的输入端，高频输入端为高频部分的输入端，若第一驻波比不满足第一条件，和/或，第二驻波比不满足第二条件，则获取低频输入端的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗，获取双频匹配器的负载阻抗，根据第一阻抗、第二阻抗和负载阻抗计算出用于调节双频匹配器中的电容的第一数据，根据第一数据生成调节信号，根据调节信号对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配，根据调节信号对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。
[0019]以控制模块为执行主体来说明本申请双频匹配器的阻抗匹配原理：
[0020]控制模块获取低频输入端的第一驻波比和高频输入端的第二驻波比，其中，低频输入端为低频部分的输入端，高频输入端为高频部分的输入端。
[0021]具体地，双频匹配器包括高频部分和低频部分，高频部分包括高频阻抗匹配网络和低频阻抗匹配网络，低频输入端为低频部分的输入端，高频输入端为高频部分的输入端。
[0022]图2为本申请另一实施例中双频匹配器的结构框图；参考图2，低频输入端输入的信号为低频功率信号，低频输入端的第一检测器采集低频输入端的低频功率信号后，计算得到低频输入端的第一阻抗，该第一阻抗为低频输入端的输入阻抗。
[0023]高频输入端输入的信号为高频功率信号，高频输入端的第二检测器采集高频输入端的高频功率信号后，计算得到高频输入端的第二阻抗，该第二阻抗为高频输入端的输入阻抗。
[0024]若第一驻波比不满足第一条件，和/或，第二驻波比不满足第二条件，则控制模块获取低频输入端的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗。
[0025]具体地，如果第一驻波比不等于1、第二驻波比不等于1中出现至少一种情况，则控制模块会调节阻抗匹配网络中的电容。
[0026]电容具体如何调节需要获取低频的第一阻抗和高频输入端的第二阻抗。
[0027]控制模块获取双频匹配器的负载阻抗。
[0028]具体地，双频匹配器的负载阻抗可以通过阻抗计检测到。还可以通过矢量网络分析仪就可以得到阻抗数据。
[0029]控制模块根据第一阻抗、第二阻抗和负载阻抗计算出用于调节双频匹配器中的电
容的第一数据。
[0030]具体地，双频匹配器中的低频阻抗匹配网络和高频阻抗匹配网络可能只有一个需要调节，另外一个不需要调节，也可能两个都要调节，还可能两个都不需要调节。
[0031]因此，第一数据包括低频阻抗匹配网络中电容的第一期望值和/或高频阻抗匹配网络中电容的第二期望值。
[0032]控制模块根据低频阻抗网络所对应的第一计算公式和第一阻抗、负载阻抗计算得到低频阻抗匹配网络中可变电容的第一期望值，进而将低频阻抗匹配网络中的电容调节至第一期望值。
[0033]控制模块根据高频阻抗网络所对应的第二计算公式和第二阻抗、负载阻抗计算得到高频阻抗匹配网络中可变电容的第二期望值，进而将高频阻抗匹配网络中的电容调节至第二期望值。
[0034]控制模块根据第一数据对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配。
[0035]控制模块根据第一数据对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。
[0036]具体地，第一计算公式和第二计算公式中电容的电容值可调和负载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双频匹配器，其特征在于，所述双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，所述低频部分包括低频阻抗匹配网络，所述高频部分包括高频阻抗匹配网络；所述控制模块，用于若低频输入端的第一驻波比不满足第一条件，和/或，高频输入端的第二驻波比不满足第二条件，则根据所述低频部分的第一阻抗、高频部分的第二阻抗和负载阻抗生成用于调节所述双频匹配器中的电容的调节信号，根据所述调节信号对所述低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现所述低频部分的阻抗匹配，根据所述调节信号对所述高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现所述高频部分的阻抗匹配，其中，所述低频输入端为低频部分的输入端，所述高频输入端为高频部分的输入端。2.根据权利要求1所述的双频匹配器，其特征在于，所述低频阻抗匹配网络为T型阻抗匹配网络，所述高频阻抗匹配网络为L型阻抗匹配网络。3.根据权利要求2所述的双频匹配器，其特征在于，所述T型阻抗匹配网络包括第一电容、第二电容和第三电容，所述第一电容分别与所述第二电容和第三电容串联，第一回路包括所述第一电容、第二电容和负载，第二回路包括所述第一电容和第三电容；所述第一电容、第二电容、第三电容的电容值可变。4.根据权利要求2所述的双频匹配器，其特征在于，所述L型阻抗匹配网络包括串联的第四电容和第五电容，第三回路包括所述第四电容和负载，第四回路包括所述第四电容和第五电容；所述第四电容、第五电容的电容值可变。5.根据权利要求2所述的双频匹配器，其特征在于，所述L型阻抗匹配网络包括第四电容和第五电容，第三回路包括所述第五电容和负载，第四回路包括所述第四电容；所述第四电容、第五电容的电容值可变。6.根据权利要求2所述的双频匹配器，其特征在于，所述T型阻抗匹配网络包括第一电容、第二电容和第一电感；所述第一电容分别与所述第二电容和第一电感串联，第一回路包括所述第一电容、第二电容和负载，第二回路包括所述第一电容和第一电感；或，所述第一电容分别与所述第二电容和第一电感串联，第一回路包括所述第一电容、第一电感和负载，第二回路包括所述第一电容和第二电容；或，所述第一电感分别与所述第一电容和第二电容串联，第一回路包...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐亚海，姚志毅，张桂东，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：