本技术公开一种等离子体刻蚀装置，包括：壳体组件，所述壳体组件内形成有腔体；扩散板，所述扩散板设置在所述腔体内，将所述腔体分隔成电离腔和刻蚀腔，所述扩散板上设有多个气孔，多个所述气孔连通所述电离腔和所述刻蚀腔；电离组件，所述电离组件包括间...

本技术公开一种连接件及射频电源匹配器，连接件呈板状设置，连接件包括处在端部的输入连接板部和输出连接板部，输出连接板部用以连接外部输出电路，输入连接板部用以连接第一负载调节件，以通过第一负载调节件调节电源与所述输出电路之间的阻抗匹配，连接...

本技术中公开了一种采样校正电路和电流传感器，该采样校正电路包括：电流采样模块和校正模块；校正模块，用于在霍尔元件位于恒定磁场，且检测到电流采样模块的输出端存在不等于零电位的偏差电压时，输出补偿电压至电流采样模块的同相输入端；电流采样模块...

本技术公开了一种量子霍尔采样标定电路及装置，该电路调零电路中设有调节器件，调节器件的电参数影响调零电路的输出电压；调零电路的输出端分别与反馈电路以及电流采样电路的输入端连接，反馈电路与电流采样电路的输入端连接；本技术通过反馈电路检测电流...

本申请涉及一种等离子体烧结设备，包括：壳体，其侧壁设有开槽；模具，位于壳体内，其开口端的高度低于开槽的底端的高度；送料机构，其用于将物料从壳体外传输至壳体内，送料机构通过转轴与壳体转动连接，送料机构的第一端位于转轴的一侧，送料机构的第二...

本技术属于电磁性能测试技术领域，公开了一种电磁兼容性能测试装置及电磁兼容性能测试平台，该电磁兼容性能测试装置包括电快速瞬变脉冲群测试模块；电快速瞬变脉冲群测试模块包括：测试单元、滤波单元、耦合单元、去耦单元以及脉冲输出单元；滤波单元、耦...

本发明公开了一种扩散组件和等离子体发生装置，涉及等离子体处理技术领域，其中，扩散组件包括壳体，所述壳体具有扩散通道，所述扩散通道具有进气口和出气口；扩散部，所述扩散部包括第一扩散板和第二扩散板，所述第一扩散板和所述第二扩散板间隔设于所述...

本发明涉及匹配器技术领域，尤其涉及一种电压采样电路、装置以及方法，电路应用于射频匹配器，电压采样电路包括：采样探头和电压处理模块；其中，采样探头与射频匹配器采样点之间间隔预设采样距离，采样探头还与电压处理模块连接，电压处理模块与外部设备...

本发明涉及射频电源技术领域，尤其涉及一种射频电源点火控制方法及系统，该方法应用于包括功率放大器的射频电源，所述方法包括：控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载或输入负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火；在所述气体点火成...

本技术公开了一种等离子体生物质液化装置的偏转清洁机构，属于等离子体技术领域。本技术解决了现有等离子体生物质液化装置的反应腔内部清洁不便捷的问题。本技术包括偏转单元、清洁单元、第一固定单元、第二固定单元、反应腔、转轴和固定杆；通过转轴，反...

本发明公开了一种等离子体产生装置和等离子体处理设备，涉及等离子体技术领域，其中，气体扩散模块，包括：第一壳体，所述第一壳体具有第一进气口、第一出气口以及扩散腔；第一扩散板，所述第一扩散板上设有多个第一扩散孔；第二扩散板，所述第二扩散板上...

本申请公开了一种等离子体处理设备的控制方法、控制装置及处理设备，涉及等离子体处理技术领域，公开了等离子体处理设备的控制方法，所述等离子体处理设备包括电源电路和等离子体发生器，所述电源电路用于为所述等离子体发生器供电，所述的控制方法包括：...

本技术公开了一种晶圆传送收集装置，属于涉及等离子体技术领域。本技术解决了现有等离子体设备需要配备机械手才能传送和收纳晶圆，导致操作繁琐的问题。本技术的装置包括C型开合机构和收料盒；C型开合机构包括两个连接件和橡胶垫，连接件的内侧壁上设置...

本发明公开了一种等离子体产生装置和等离子体处理设备，涉及等离子体技术领域，其中，双电极等离子体产生装置包括：等离子体产生主体，所述等离子体产生主体包括进气通道、扩散组件和电极组件，所述进气通道具有进气口和出气口；所述电极组件、所述扩散组...

本申请涉及等离子体刻蚀电路及装置，其中，等离子体刻蚀电路包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的...

本发明公开了一种射频变压器、电离组件及等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域。其中，射频变压器包括初级线圈，以及与初级线圈相耦合且同轴设置的次级线圈；初级线圈用于接入外部射频电源或外部阻抗匹配器，并通过互感在次级线圈中产生感应电势；初级...

本技术公开了一种实现气体缓慢且均匀导流的等离子体处理设备，属于等离子体处理技术领域。本技术解决了现有技术中因抽气过程中的等离子体对基板刻蚀面过刻蚀的问题。本技术包括反应腔、支撑体、进气通道、基板固定座和导流机构；导流机构设置在基板固定座...

本申请涉及电机控制技术领域，公开一种步进电机的控制系统及步进电机。步进电机的控制系统包括控制电路、至少三组隔离电路和至少三组驱动电路；控制电路用于输出指令信号；隔离电路用于接收指令信号并进行光电隔离传输；驱动电路包括用于连接步进电机的驱...

本发明涉及一种射频电源的E类功放平衡功器拓扑电路，属于射频功放技术领域，解决了现有射频电源的平衡功放拓扑电路效率低、稳定性差的问题。在该E类平衡功放拓扑电路中，第一功分器的输入端连接功率电源的输出端；第一功分器的一个输出端依次串联移相器...

本技术公开了一种连续式等离子体处理设备，涉及等离子体处理技术领域。本技术解决了现有连续式等离子体处理设备的除尘效果差和传送皮带的松紧度需人工调节操作繁琐和调节不及时的问题。本技术包括反应腔、传送架、传送带、皮带调节机构和除尘机构；皮带调...