本发明公开了一种等离子体处理方法，属于半导体器件技术领域。本发明解决了现有利用机械手装载待刻蚀基片和移出已完成处理基片过程繁琐、效率低，不利于自动化批量处理的问题。本发明包括：装载有基片的载体滑板进入箱体，并与箱体形成密封状态；开始等离...

本申请涉及一种电路连接座、射频电源及匹配器，电路连接座包括壳体、压块、第一接头、连接机构和微动开关；壳体设有第一通孔；微动开关设置于壳体内，其包括开关弹片与触点，开关弹片的活动端伸出壳体，与压块相对布置；微动开关用于控制第一接头的输出，...

本技术涉及变压器技术领域，尤其涉及一种三相高频磁集成变压器，该三相高频磁集成变压器包括：第一磁芯；第一磁芯内设置有第一下层安装柱、第二下层安装柱和第三下层安装柱；第一下层安装柱上套设的第一原边线圈和第一副边线圈，第二下层安装柱上套设的第...

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种等离子体源机构，该等离子体源机构包括：辅助线圈模块以及带有主线圈的主线圈模块；其中，辅助线圈模块内设置有用于产生辅助磁场的辅助线圈，主线圈用于产生交流磁场，且交流磁场与辅助磁场之间存在相互作用部分；...

本发明涉及一种用于管状工件的等离子体镀膜装置及镀膜方法，镀膜装置包括管状腔室、第一螺旋线圈组、第二螺旋线圈组和样品仓；管状腔室的第一端设有进气口与微波天线，微波天线伸入管状腔室内，管状腔室的第二端设有抽气口；第一螺旋线圈组环绕所述管状腔...

本发明公开一种刻蚀容器，包括容器本体和电极组件，容器本体具有用于安设待刻蚀电路板的刻蚀腔，刻蚀腔具有相对的第一内侧壁和第二内侧壁；电极组件包括第一电极和第二电极，第一电极设于刻蚀腔内且靠近第一内侧壁设置，第二电极设于刻蚀腔内且靠近第二内...

本发明涉及一种射频电源的多脉冲驱动方法，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间稳定性差的问题。一种射频电源的多脉冲驱动方法，所述驱动方法包括：在射频电源供电前，设置参考信号，并根据参考信号确定脉冲信号的总级数、以及各级脉...

本申请公开了一种级联固态变压器及功率平衡控制方法，所述固态变压器的功率主电路采用链式结构，由个基本单元前串后并组成，每个基本单元包括一个前端转化器和一个与所述前端转化器输出端口并联的双有源电桥，所述方法通过设置电路控制前端转化器和双有源...

本发明涉及一种相位同步装置和方法、射频电源及等离子体设备；属于射频电源技术领域，解决射频电源主机和从机的相位同步问题，相位同步装置包括腔体信号反馈回路用于建立从本机射频电源所供电的真空腔体到移相单元的反馈通道；通过反馈通道将从真空腔体采...

本发明公开一种等离子体刻蚀装置，包括：壳体组件，所述壳体组件内形成有腔体；扩散板，所述扩散板设置在所述腔体内，将所述腔体分隔成电离腔和刻蚀腔，所述扩散板上设有多个气孔，多个所述气孔连通所述电离腔和所述刻蚀腔；电离组件，所述电离组件包括间...

本申请涉及模块化等离子体产生装置及等离子体刻蚀设备，所述模块化等离子体产生装置包括：气源装置，所述气源装置的输出端用于输出气体；等离子体组件，所述气源装置通过组装件与所述等离子体组件连接于一体，所述等离子体组件用于将所述气源输出的气体进...

本发明涉及阻抗匹配技术领域，并公开了一种阻抗匹配方法、装置、电路及系统，该方法包括：获取采样模块对负载采样得到的采样电信号；通过对采样电信号计算，获取与负载阻抗相匹配的控制参数；根据与负载阻抗相匹配的控制参数，确定阻抗匹配模块的电感参数...

本发明涉及信号调理技术领域，尤其涉及一种信号调理电路、装置及射频电源，该电路包括：开关控制组件以及信号放大组件；开关控制组件的输入端与电源的输出端连接，开关控制组件的输出端与信号放大组件的输入端连接；开关控制组件在接收到上拉指令时，将电...

本发明涉及电源逆变技术领域，具体公开了一种五电平逆变电路、逆变器及射频电源。该电路包括：正向导通回路、负向导通回路和由第一至第四开关管构成的电平切换模块；第一开关管的第一端与第一直流电源的正极连接，第二端通过负向导通回路与负载的正极连接...

本技术公开一种等离子体清洗装置，涉及等离子体清洗技术领域，该等离子体清洗装置包括滚筒电极和中部电极，滚筒电极能够绕其中心轴进行旋转，中部电极沿滚筒电极的轴向延伸设置，且中部电极的至少一端穿设滚筒电极以伸入滚筒电极内，中部电极的外侧壁与滚...

本申请涉及等离子体刻蚀电路及装置，其中，等离子体刻蚀电路包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的...

本发明涉及一种射频电源信号同步检测系统，属于射频电源信号同步检测技术领域，解决了现有射频电源信号同步过程中因线路传递信号延迟导致的相参准确性差的问题。该系统包括分路器、N条传输能力相同且等长的传输线路、N台射频电源从机；其中，所述分路器...