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山西第三代半导体技术创新中心有限公司专利技术
山西第三代半导体技术创新中心有限公司共有2项专利
一种用于制备大孔径碳化硅粉料的坩埚结构制造技术
本发明公开了一种用于制备大孔径碳化硅粉料的坩埚结构,具体涉及大孔径碳化硅粉料制备技术领域,包括旋转联动转盘,所述旋转联动转盘的顶端呈圆环贯穿开设有多个导向倾斜孔位,所述导向倾斜孔位内部滑动连接有导向推动杆,所述导向推动杆的顶端设有联动嵌...
一种降低晶体生长孔洞碳化硅籽晶粘接炉制造技术
本发明公开了一种降低晶体生长孔洞碳化硅籽晶粘接炉,具体涉及碳化硅籽晶生产技术领域,所述温压粘接组件包括用于密封的上盖,上盖设置在主体的内腔顶部,用于抽真空的抽真空机,抽真空机设置在上盖的顶部。本发明由各个限位横杆对各个碳化硅骨架进行分梳...
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