本发明提供了一种密封圈加工用模具的清洗方法，所述清洗方法包括：将待清洗模具加热后浸泡于第一碱液中，进行静态清洗，然后取出；将处理后的模具的型腔表面喷洒第二碱液，进行精洗；将处理后的模具的表面喷洒第三碱液，并进行刷涂，再经冲洗、擦拭后得到...

本技术涉及晶圆自动化传动领域，提供了一种传动手臂，所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱；其中，所述摩擦小柱周侧向内凹陷形成环形凹陷部；所述卡槽包括相连的：第一卡槽部，所述第一卡槽部向内凸起形成环形凸起部；以及第二卡槽部，...

本发明公开了一种垫圈的模切模具，涉及垫圈加工技术领域。该模切模具的下型板上同心设置有刃口朝上的第一环切刀和第二环切刀，第一环切刀位于第二环切刀的外侧；第一环切刀的外侧和/或第二环切刀的内侧设置有第一支撑件，第一支撑件具有弹性且高于第一环...

本技术提供了一种密封圈及静电卡盘系统，设于静电卡盘的卡槽内，包括相连接的内圈和外圈，其中，所述内圈包括N个第一连接段与M个第二连接段，N和M均为正整数，N个所述第一连接段与M个所述第二连接段交替设置围成所述内圈，且相邻的所述第一连接段与...

本发明提供了一种密封件安装系统及方法，适用于半导体干法刻蚀设备中的静电吸盘密封圈的安装；所述密封件安装系统包括：导向治具，用于对所述静电吸盘的密封圈进行处理；所述导向治具的上表面设有截面形状与所述密封圈截面形状吻合的沟槽；所述导向治具的...

本发明提供了一种辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统，涉及半导体设备技术领域，包括与卡盘匹配设置的主体部

本发明提供了一种密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统，包括与静电卡盘匹配设置的主体部

本发明提供了一种多层橡胶的注塑模具及注塑方法，包括上模具

本发明涉及晶圆自动化传动领域，提供了一种传动手臂，所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱；其中，所述摩擦小柱周侧向内凹陷形成环形凹陷部；所述卡槽包括相连的：第一卡槽部，所述第一卡槽部向内凸起形成环形凸起部；以及第二卡槽部，...

本发明提供了一种组合式密封圈及静电卡盘系统，涉及半导体设备技术领域，包括内圈、第一外圈和第二外圈，所述内圈具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端相对设置；所述第一外圈和所述第二外圈分别设于所述第一端和所述第二端上，所述第一外圈和所述...

本实用新型公开了一种密封圈和使用该密封圈的刻蚀设备，密封圈包括：第一材料层和第二材料层；第一材料层作为密封圈本体，第二材料层作为第一材料层的保护层；第二材料层设于本体的部分表面上，且紧密贴合于第一材料层的表面上；其中，第一材料层材料与第...

本实用新型公开了一种提升干法刻蚀均匀度的装置，通过在静电吸盘的侧面上围绕设置位置校正机构，使位置校正机构紧密贴附于静电吸盘的侧面上形成同心状态，可在对聚焦环进行安装时，使聚焦环紧密套设于位置校正机构的外侧面上，并利用位置校正机构作用于聚...

本实用新型提供了一种用于半导体晶圆静电卡盘的密封件的安装系统，包括密封件和安装治具；半导体晶圆静电卡盘包括层叠设置的三层同心圆盘，中间圆盘的直径小于上层圆盘的直径，且中间圆盘的直径小于下层圆盘的直径，上层圆盘与下层圆盘之间形成沟槽，密封...

本实用新型提供了一种预成型机口型膜工装，所述口型膜工装包括口型件和套筒；所述套筒中空设置，所述口型件设置于所述套筒一侧，所述口型件设有挤出孔，所述挤出孔与所述套筒的中空处连通，所述挤出孔用于限定所述预成型机的挤出形状。本实用新型的预成型...

本实用新型提供了一种投料治具和投料模板组。所述治具应用于投料模板组，包括：第一料板和第二料板；所述第一料板的一端设有至少一根压料柱；所述第二料板的内侧设有至少一条柱槽；所述压料柱与所述柱槽连接；所述第二料板的内侧设有至少一条料槽；所述料...

本实用新型提供了一种预成型设备包括预成型装置、驱动装置和收卷筒；所述预成型装置用于加工胶料得到条状胶胚，所述驱动装置设置于所述预成型装置的一侧，所述收卷筒可转动的设置于所述驱动装置的一侧，所述胶胚的端部与所述收卷筒连接，所述驱动装置用于...

本实用新型提供了一种挤出杆组件，包括柱塞头和隔断件；所述隔断件为高分子材料制成，所述隔断件设置于所述柱塞头，所述柱塞头用于通过所述隔断件挤出目标物，所述隔断件用于避免所述柱塞头与所述目标物接触。本实用新型的挤出杆组件通过在所述柱塞头上设...

本实用新型提供了一种预成型设备包括挤出机构、载料件和口型膜；载料件中空贯穿设置，挤出机构和口型膜分别设置于载料件的两端，载料件用于盛放物料；挤出机构设有柱塞件，口型膜设有挤出孔，挤出机构用于驱动柱塞件在载料件内移动，柱塞件用于挤压物料通...

本实用新型提供了一种模板组件和胶料成型设备。所述模板组件包括：模板和载板；所述模板设有至少一个型腔；每个所述型腔均用于同时容纳门阀本体和胶料；所述模板的受热膨胀系数与所述门阀本体的受热膨胀系数不同；所述载板设置有至少一个凸起部；所述型腔...

本实用新型提供了一种挡胶组件，包括第一档胶件、第二档胶件和调节件，所述第一档胶件设有与第一辊筒相贴合的弧形端面，所述第二档胶件设有与第二辊筒相贴合的弧形端面，所述第一辊筒和所述第二辊筒相邻设置；所述第一档胶件和所述第二档胶件通过所述调节...