【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆自动化传动领域，尤其涉及一种传动手臂。
技术介绍
1、在半导体晶圆制造过程中，晶圆会在不同工况环境中制作，因此晶圆就需要不断移动，晶圆移动需要用到机械手臂，因机械手臂是金属材质的且不可以接触到晶圆，所以需要在机械手臂上设计位置安装其它材质产品以此来接触晶圆。
2、现有技术中，一般会在机械手臂上设计矩形沟槽或是燕尾沟槽配合o型密封圈(o-ring)来承载晶圆，请参考附图9，以矩形沟槽示例。
3、机械手臂上设计矩形沟槽时，矩形沟槽内外径需与内外径一致，以防止o型密封圈安装后变形从而造成平整度不平，但这样的设计下，o型密封圈安装后没有固定物或是张力可以固定，在传动晶圆移动时o型密封圈极易从矩型沟槽脱落从而造成晶圆损坏。
4、如若矩型沟槽的内外径比o型密封圈大，安装o型密封圈后会有张力固定住o型密封圈，但安装后因o型密封圈会被不均匀的拉长从而造成安装后凸出部分平整度不平整，在传动晶圆时造成晶圆晃动、掉落等问题，且o型密封圈还会有脱落的风险。
5、机械手臂上设计成燕尾沟槽时，o型密封圈安装后会被固定卡紧，但o型密封圈在安装时会被挤压造成安装后凸出部分平整度不平整，在传动晶圆时造成晶圆晃动、掉落等问题，且o型密封圈同样会有脱落的风险。
6、针对上述问题，现有技术中还设计了通过弹性摩擦小柱来承载晶圆的方案。
7、请参考附图10和11，一种方案下，传动手臂上开设有沟槽，摩擦小柱直接卡接在沟槽中，这样的设计下难以保证摩擦小柱处于同一高度，进而容易导致晶圆承载的不
8、请参考附图12和13，另一种方案下，传动手臂上开设有沟槽，沟槽和摩擦小柱之间设计有相适配的凸起和凹陷，这样的设计下考虑到摩擦小柱是竖直插入的，且传动手臂上的凸起本身具有一定厚度，因此传动手臂尤其是凸起位置必须采用弹性材料，并且传动手臂和摩擦小柱间也必然存在间隙，以满足摩擦小柱向下插入时的传动手臂上凸起的弯曲，凸起弹性越大，该间隙越小；凸起弹性越小，该间隙则需越大，无论何种情况，在摩擦小柱本身是弹性材料的情况下，传动手臂的凸起也是弹性的，且传动手臂和摩擦小柱间还存在间隙，这样的结构以及材料安排均不利于晶圆承载的稳定性，另外，摩擦小柱的安装和去除都会很困难，且安装时摩擦小柱是被弯曲变形安装的，会造成安装后摩擦小柱的平整度出现问题和产品会有被撕裂的风险。
9、因此，有必要开发一种传动手臂，在手臂承载晶圆移动的过程中，保证其稳定不晃动。
技术实现思路
1、本技术主要提供了一种传动手臂，用以解决上述
技术介绍
中提出的晶圆移动过程中易晃动掉落等技术问题。
2、本技术解决上述技术问题采用的技术方案为：
3、一种传动手臂，所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱；其中，所述摩擦小柱周侧向内凹陷形成环形凹陷部；所述卡槽包括相连通的：第一卡槽部，所述第一卡槽部向内凸起形成有一开口的环形凸起部；以及第二卡槽部，所述第二卡槽部在平面上的投影覆盖所述摩擦小柱在平面上的投影，以使得所述摩擦小柱能够从所述第二卡槽部中通过所述开口移动至所述第一卡槽部，并使得所述环形凸起部卡接于所述环形凸起部。
4、优选的，所述传动手臂移动方向记为第一移动方向，摩擦小柱从所述第二卡槽部中移动至所述第一卡槽部的移动方向记为第二移动方向，所述第二移动方向和所述第一移动方向之间有一预设夹角。
5、优选的，该预设夹角为直角。
6、优选的，所述传动手臂上设置有3至8个所述卡槽。
7、优选的，所述卡槽均设置在和晶圆同心的圆周上。
8、优选的，所述圆周直径小于晶圆直径20至200mm。
9、优选的，所述摩擦小柱顶部边缘向上凸起形成环形曲面，所述环形曲面能够承载晶圆。
10、优选的，所述环形曲面的截面设置成圆弧，所述圆弧的半径为0.5至0.7mm。
11、优选的，所述环形曲面的顶点高出所述传动手臂0.4至1mm。
12、优选的，所述摩擦小柱沿轴线方向设有通孔。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
14、具体晶圆移动作业前，将摩擦小柱从第二卡槽部中放入并平移至第一卡槽部，使得摩擦小柱的环形凹陷部卡接于第一卡槽部内的环形凸起部，这样在具体移动晶圆的作业过程中，摩擦小柱受限于环形凹陷部卡接于环形凸起部，摩擦小柱不会受到挤压或是拉长，或者造成摩擦小柱顶部承载面不平整的问题，进而保证了晶圆在移动过程中的稳定。
15、以下将结合附图与具体的实施例对本技术进行详细的解释说明。
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1.一种传动手臂，其特征在于，所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱；
2.根据权利要求1所述的传动手臂，其特征在于，所述传动手臂移动方向记为第一移动方向，摩擦小柱从所述第二卡槽部中移动至所述第一卡槽部的移动方向记为第二移动方向，所述第二移动方向和所述第一移动方向之间有一预设夹角。
3.根据权利要求2所述的传动手臂，其特征在于，该预设夹角为直角。
4.根据权利要求1所述的传动手臂，其特征在于，所述传动手臂上设置有3至8个所述卡槽。
5.根据权利要求1或4所述的传动手臂，其特征在于，所述卡槽均设置在和晶圆同心的圆周上。
6.根据权利要求5所述的传动手臂，其特征在于，所述圆周的直径小于晶圆直径20至200mm。
7.根据权利要求1所述的传动手臂，其特征在于，所述摩擦小柱顶部边缘向上凸起形成环形曲面，所述环形曲面能够承载晶圆。
8.根据权利要求7所述的传动手臂，其特征在于，所述环形曲面的截面设置成圆弧，所述圆弧的半径为0.5至0.7mm。
9.根据权利要求7或8所述的传动手臂，
10.根据权利要求9所述的传动手臂，其特征在于，所述摩擦小柱沿轴线方向设有通孔。
...【技术特征摘要】
1.一种传动手臂，其特征在于，所述传动手臂包括多个卡槽和配合所述卡槽使用的摩擦小柱；
2.根据权利要求1所述的传动手臂，其特征在于，所述传动手臂移动方向记为第一移动方向，摩擦小柱从所述第二卡槽部中移动至所述第一卡槽部的移动方向记为第二移动方向，所述第二移动方向和所述第一移动方向之间有一预设夹角。
3.根据权利要求2所述的传动手臂，其特征在于，该预设夹角为直角。
4.根据权利要求1所述的传动手臂，其特征在于，所述传动手臂上设置有3至8个所述卡槽。
5.根据权利要求1或4所述的传动手臂，其特征在于，所述卡槽均设置在和晶圆同心的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶龙海，赵晓红，
申请(专利权)人：上海芯之翼半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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