【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种密封圈及静电卡盘系统。
技术介绍
1、密封圈在制备时为了保持优异的密封性能，通常将密封圈的规格设定为与卡槽相适配的尺寸，即通过密封圈自身的弹性既能够使得密封圈套设于卡槽内，又能够避免套设后的密封圈因为尺寸过大无法实现密封的问题。在一种密封圈中，密封圈由全氟醚橡胶材质形成的外圈和聚四氟乙烯材质形成的内圈组成，由于聚四氟乙烯缺乏弹性，从而导致过小的尺寸无法放入卡槽内，过大的尺寸又无法实现对卡槽的密封，因此亟需一种新型的密封圈。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种密封圈及静电卡盘系统，通过将内圈分割为不连接的n个第一连接段与m个第二连接段，从而克服内圈缺乏弹性的问题，进而可以将该密封圈的规格设定为与卡槽相适配的尺寸，这样既能够顺利的将该密封圈套设于卡槽内，又可以实现对卡槽的有效密封。
2、为实现上述目的，本技术提供了一种密封圈，设于静电卡盘的卡槽内，包括相连接的内圈和外圈，其中，
3、所述内圈包括n个第一连接段与m个第二连接段，n和m均为正整数，n个所述第一连接段与m个所述第二连接段交替设置围成所述内圈，且相邻的所述第一连接段与所述第二连接段相抵接，其中，所述外圈受力形变，会使相邻的所述第一连接段与所述第二连接段做相互靠近或远离运动。
4、可选的，所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端分别设置有第一密封部与第二密封部，所述第一密封部与所述第二密封部用于封堵所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端。
5
6、所述第二密封部包括与所述第二连接段连接的第二延伸段，且所述第二延伸段与所述第二连接段形成第二延伸槽，其中，
7、所述第一延伸段活动设于所述第二延伸槽内，所述第二延伸段活动设于所述第一延伸槽内。
8、可选的，所述第一密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩板，所述第二密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩槽，其中，所述伸缩板活动设于所述伸缩槽内。
9、可选的，还包括与所述外圈连接的连接部，其中，所述连接部与所述内圈相抵接。
10、可选的，所述连接部的数量有若干个，且所述连接部的数量与所述第一连接段和所述第二连接段的相邻端数量一致。
11、可选的，还包括设于所述连接部上的第一凸起部和第二凸起部，以及设于所述第一连接段上的第一凹陷部和设于所述第二连接段上的第二凹陷部，其中，所述第一凸起部可活动设于所述第一凹陷部内，所述第二凸起部可活动设于所述第二凹陷部内。
12、可选的，所述第一凸起部与所述第一凹陷部和所述第二凸起部与所述第二凹陷部均为过盈配合。
13、可选的，所述第一凸起部与所述第二凸起部均为椭圆体结构，其中，所述椭圆体结构的长轴与所述内圈的径向平行。
14、可选的，为实现上述目的，本技术还提供了一种静电卡盘系统，包括主体部、与所述主体部胶接的陶瓷板，以及所述的密封圈，其中，所述陶瓷板与所述主体部之间存在有卡槽，所述密封圈设于所述卡槽内。
15、本技术的有益效果如下：
16、本技术中通过将内圈分割为不连接的n个第一连接段与m个第二连接段，从而克服内圈缺乏弹性的问题，进而可以将该密封圈的规格设定为与卡槽相适配的尺寸，这样既能够顺利的将该密封圈套设于卡槽内，又可以实现对卡槽的有效密封。
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1.一种密封圈，设于静电卡盘的卡槽内，其特征在于，包括相连接的内圈和外圈，其中，
2.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端分别设置有第一密封部与第二密封部，所述第一密封部与所述第二密封部用于封堵所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端。
3.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，所述第一密封部包括设于所述第一连接段上的第一延伸段，且所述第一延伸段与所述第一连接段形成第一延伸槽；
4.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，所述第一密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩板，所述第二密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩槽，其中，所述伸缩板活动设于所述伸缩槽内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的密封圈，其特征在于，还包括与所述外圈连接的连接部，其中，所述连接部与所述内圈相抵接。
6.根据权利要求5所述的密封圈，其特征在于，所述连接部的数量有若干个，且所述连接部的数量与所述第一连接段和所述第二连接段的相邻端数量一致。
7.根据权利要求5所述的
8.根据权利要求7所述的密封圈，其特征在于，所述第一凸起部与所述第一凹陷部和所述第二凸起部与所述第二凹陷部均为过盈配合。
9.根据权利要求7所述的密封圈，其特征在于，所述第一凸起部与所述第二凸起部均为椭圆体结构，其中，所述椭圆体结构的长轴与所述内圈的径向平行。
10.一种静电卡盘系统，其特征在于，包括主体部、与所述主体部胶接的陶瓷板，以及如权利要求1至9中任一项所述的密封圈，其中，所述陶瓷板与所述主体部之间存在有卡槽，所述密封圈设于所述卡槽内。
...【技术特征摘要】
1.一种密封圈，设于静电卡盘的卡槽内，其特征在于，包括相连接的内圈和外圈，其中，
2.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端分别设置有第一密封部与第二密封部，所述第一密封部与所述第二密封部用于封堵所述第一连接段与所述第二连接段的相邻端。
3.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，所述第一密封部包括设于所述第一连接段上的第一延伸段，且所述第一延伸段与所述第一连接段形成第一延伸槽；
4.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，所述第一密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩板，所述第二密封部包括设于所述第一连接段或所述第二连接段上的伸缩槽，其中，所述伸缩板活动设于所述伸缩槽内。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的密封圈，其特征在于，还包括与所述外圈连接的连接部，其中，所述连接部与所述内圈相抵接。
6.根据权利要求5所述的密封圈，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶龙海，
申请(专利权)人：上海芯之翼半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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