本实用新型涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体、输气管、外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；外套管和输气管固定连接且连通，支撑环和外套管固定连接，螺纹管和外套管滑动连接，连接管和...

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板保护装置本体用于保护光刻机镜头，连接块...

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体高洁净度涂层再生设备，包括支撑结构和涂层结构，还包括清洁装置，清洁装置包括支撑框、第一气缸、连接块、储水箱、喷头、调节结构、第二气缸、刷壳、第一电机、刷头和辅助烘干结构，支撑框用于支撑重量...

本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理滤桶，包括底座、移动机构和滤桶本体，移动机构包括驱动组件、两个传动组件、滑动组件和四个移动组件，在需要移动滤桶本体时，启动驱动组件，驱动组件工作驱动两个传动组件在驱动组件上的...

本实用新型涉及洗涤塔设备技术领域，具体涉及一种半导体尾气洗涤塔，包括塔体、移动机构和洗涤机构，移动机构包括驱动组件、传动组件、两个滑动组件和两个转动组件，在需要维修洗涤机构时，启动驱动组件，驱动组件工作驱动传动组件向远离驱动组件的一侧移...

本实用新型涉及显影槽清洗设备技术领域，具体涉及一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头，包括外壳、防堵机构和喷头本体，防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板，在需要使用冲洗喷头时，将外壳的进水口连接至水管处，通过滤桶对外壳流进的水进行过滤，防...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液晶面板光阻除泡装置，包括除泡罐、真空泵和清洁组件；清洁组件包括进水管、出水管、电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个固定板和两个毛刷，使用时，通过进水管将水传送至除泡罐内准备进行清洗...

本实用新型涉及电子控制技术领域，具体涉及一种液晶面板光刻机防止爆灯装置；液晶面板光刻机防止爆灯装置还包括监测件、霍尔传感器和控制件，霍尔传感器与灯箱电连接；监测件包括多个控制按钮、触屏、防护外壳和监测本体，触屏设置于监测本体的一侧，多个...

本实用新型涉及环境保护技术领域，具体涉及一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，包括安装架、过滤桶主体和过滤组件，过滤组件包括过滤器、导气管、风扇、加热器、催化床、燃烧器和吸附滤芯，过滤桶主体为过滤组件提供安装条件，过滤器对半导体生产产生...

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体生产设备进气处理系统，包括过滤装置和冷凝装置，冷凝装置包括导气管、冷凝罐、进液管、出液管、第一进气管和排液阀门，过滤装置用于对废气进行过滤，有机冷却液从进液管加入冷凝腔中，从出液管排出...

本实用新型涉及光阻涂布技术领域，具体涉及一种光阻玻璃涂布装置，包括支撑组件、涂抹组件和涂抹盒；涂抹组件包括第一夹持块、第二夹持块、两个海绵垫、转动杆、气缸、伸缩杆和连接块，使用时，根据使用需求的大小，转动转动杆，使得第一夹持块在支撑组件...

本实用新型公开了一种半导体晶圆生产湿法清洗设备，包括机架、清洗箱、开关座以及储液箱，开关座和清洗箱分别设置在机架上方左右两侧，储液箱布置在机架后方，清洗箱箱口内部滑动连接有支撑架，清洗箱箱口内部左右两端均设有滑槽，支撑架左右两端均固定有...

本实用新型公开了一种半导体设备用滤风整流装置，包括壳体，所述壳体的一端设有进风管，所述进风管的内壁固定连接有第一限位杆，所述第一限位杆上安装有与其转动连接的第一风扇，所述驱动杆贯穿第一限位杆并固定连接有刷子，所述螺杆的一端贯穿壳体的侧壁...

本实用新型公开了一种半导体检修机构，包括检修台，还包括顶检机构和圆形检修器，所述检修台内部中央安装有顶检机构，所述顶检机构具体由旋转螺纹杆、轴颈端、螺纹套体和旋转电机组成，所述顶检机构上安装有旋转螺纹杆，所述旋转螺纹杆左端焊接安装有轴颈...