一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶制造技术

本实用新型专利技术涉及环境保护技术领域，具体涉及一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，包括安装架、过滤桶主体和过滤组件，过滤组件包括过滤器、导气管、风扇、加热器、催化床、燃烧器和吸附滤芯，过滤桶主体为过滤组件提供安装条件，过滤器对半导体生产产生的废气进行初步过滤，初步过滤后的废气在风扇的作用下，沿着导气管进入过滤桶主体中，加热器对废气进行加热，方便进行催化燃烧，催化床与燃烧器配合对废气进行催化燃烧处理，吸附滤芯再将经过催化燃烧后的废气进一步吸附过滤，本实用新型专利技术将燃烧法和吸附法结合，解决了过滤桶过滤方式单一，造成废气过滤不完全的问题。造成废气过滤不完全的问题。造成废气过滤不完全的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶


[0001]本技术涉及环境保护
，尤其涉及一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用，半导体生产过程中会产生废气。
[0003]现有技术(CN212369786U)公开了一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括支架和过滤外筒，所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管，所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管，所述下输气管、侧输气管均为双层结构，所述下输气管的内层与侧输气管的内层连通，所述下输气管的外层与侧输气管的外层连通，所述侧输气管的侧壁上端连接有进气口，所述侧输气管的顶端连接有出气口，通过双层侧输气管、下输气管、缓流座的双层设计，能够减少空间的占用，整体性较好；通过内隔离筒与过滤外筒之间的配合作用，能够将进气和出气分离开；通过内置的反应过滤芯对尾气中需要处理的气体进行反应并过滤杂质，能够很好的对尾气处理。
[0004]半导体行业产生的废气风量大、成分复杂而且浓度低，上述过滤桶仅通过反应过滤芯对废气进行过滤处理，过滤方式单一，会出现废气过滤不完全的情况，仍对空气造成一定污染。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，旨在解决过滤桶过滤方式单一，造成废气过滤不完全的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，包括安装架、过滤桶主体和过滤组件，所述过滤桶主体与所述安装架固定连接，并位于所述安装架顶部，所述过滤组件设置于所述过滤桶主体内部；
[0007]所述过滤组件包括过滤器、导气管、风扇、加热器、催化床、燃烧器和吸附滤芯，所述过滤器与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述过滤桶主体底部，所述导气管与所述过滤器连通，并贯穿所述过滤桶主体，所述风扇与所述导气管转动连接，并位于所述导气管内部，所述加热器与所述过滤桶主体固定连接，且与所述导气管连通，并位于所述过滤桶主体内部，所述催化床与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述加热器顶部，所述燃烧器与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述催化床顶部，所述吸附滤芯与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述过滤桶主体内部。
[0008]其中，所述安装架包括两个支撑架、底座、若干滚轮和若干护栏，两个所述支撑架分别与所述过滤桶主体固定连接，均位于所述过滤桶主体底部，所述底座与两个所述支撑架固定连接，并位于两个所述支撑架底部，若干所述滚轮分别与所述底座转动连接，均位于
所述底座底部，若干所述护栏分别与所述底座拆卸连接，均位于所述底座顶部。
[0009]其中，所述过滤桶主体包括外桶、过滤内桶、进气管和出气管，所述外桶与所述支撑架固定连接，并位于所述支撑架顶部，所述外桶设置有排气通道，所述排气通道位于所述外桶内部，所述过滤内桶与所述外桶固定连接，并位于所述外桶内部，所述过滤内桶具有排气管，所述排气管位于所述过滤内桶靠近所述排气通道一侧，所述进气管与所述外桶固定连接，且与所述过滤器连通，并位于所述外桶一侧，所述出气管与所述排气通道连通，并位于所述外桶远离所述进气管一侧。
[0010]其中，所述过滤组件还包括吸水滤网，所述吸水滤网与所述外桶固定连接，并位于所述排气通道内。
[0011]其中，所述过滤组件还包括冷却器，所述冷却器与所述外桶固定连接，并位于所述排气通道内。
[0012]本技术的一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，所述安装架为所述过滤桶主体提供安装条件，所述过滤桶主体为所述过滤组件提供安装条件，所述过滤器对半导体生产产生的废气进行初步过滤，将其中的有机气体和有毒气体吸收过滤，初步过滤后的废气在所述风扇的作用下，沿着所述导气管进入所述过滤桶主体中，所述加热器对废气进行加热，使废气中的气体分子更活跃，方便进行催化燃烧，所述催化床与所述燃烧器配合对废气进行催化燃烧处理，将废气变为无害气体，所述吸附滤芯再将经过催化燃烧后的废气进一步吸附过滤，将剩余的有害气体吸收过滤，本技术将燃烧法和吸附法结合，确保废气过滤完全，解决了过滤桶过滤方式单一，造成废气过滤不完全的问题。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本审请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本技术提供的一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶的结构示意图。
[0015]图2是本技术提供的一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶的沿所述出气管方向的纵向剖视图。
[0016]图3是本技术提供的一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶的正视图。
[0017]1‑
安装架、2
‑
过滤桶主体、3
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过滤组件、4
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支撑架、5
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底座、6
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滚轮、7
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护栏、8
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外桶、9
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过滤内桶、10
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进气管、11
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出气管、12
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过滤器、13
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导气管、14
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风扇、15
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加热器、16
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催化床、17
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燃烧器、18
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吸附滤芯、19
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冷却器、20
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吸水滤网、21
‑
排气管、22
‑
排气通道。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具
体的限定。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，包括安装架1、过滤桶主体2和过滤组件3，所述过滤桶主体2与所述安装架1固定连接，并位于所述安装架1顶部，所述过滤组件3设置于所述过滤桶主体2内部；
[0020]所述过滤组件3包括过滤器12、导气管13、风扇14、加热器15、催化床16、燃烧器17和吸附滤芯18，所述过滤器12与所述过滤桶主体2固定连接，并位于所述过滤桶主体2底部，所述导气管13与所述过滤器12连通，并贯穿所述过滤桶主体2，所述风扇14与所述导气管13转动连接，并位于所述导气管13内部，所述加热器15与所述过滤桶主体2固定连接，且与所述导气管13连通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，包括安装架、过滤桶主体和过滤组件，所述过滤桶主体与所述安装架固定连接，并位于所述安装架顶部，所述过滤组件设置于所述过滤桶主体内部，其特征在于，所述过滤组件包括过滤器、导气管、风扇、加热器、催化床、燃烧器和吸附滤芯，所述过滤器与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述过滤桶主体底部，所述导气管与所述过滤器连通，并贯穿所述过滤桶主体，所述风扇与所述导气管转动连接，并位于所述导气管内部，所述加热器与所述过滤桶主体固定连接，且与所述导气管连通，并位于所述过滤桶主体内部，所述催化床与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述加热器顶部，所述燃烧器与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述催化床顶部，所述吸附滤芯与所述过滤桶主体固定连接，并位于所述过滤桶主体内部。2.如权利要求1所述的一种半导体生产设备进气吸附反应过滤桶，其特征在于，所述安装架包括两个支撑架、底座、若干滚轮和若干护栏，两个所述支撑架分别与所述过滤桶主体固定连接，均位于所述过滤桶主体底部，所述底座与两个所述支撑架固定连接，并位于两个所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：