一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶制造技术

本实用新型专利技术涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体、输气管、外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；外套管和输气管固定连接且连通，支撑环和外套管固定连接，螺纹管和外套管滑动连接，连接管和螺纹管螺纹连接，顶环和连接管固定连接，滤网设置于支撑环和顶环之间；将连接管与半导体加工尾气连接，尾气进入连接管内经滤网进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经外套管和输气管进入反应过滤桶本体内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出，从而能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。过滤。过滤。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用；如二极管就是采用半导体制作的器件；无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体重要性都是非常巨大的；今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，半导体工业中尾气中含有HF、HCl、SO2等需要处理的气体，会对外部的空气造成污染，因此需要利用尾气处理设备进行过滤处理。
[0003]目前现有技术CN212369786U公开了一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括支架和过滤外筒，所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管，所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管，所述下输气管、侧输气管均为双层结构，所述下输气管的内层与侧输气管的内层连通，所述下输气管的外层与侧输气管的外层连通，所述侧输气管的侧壁上端连接有进气口，所述侧输气管的顶端连接有出气口，通过双层侧输气管、下输气管、缓流座的双层设计，能够减少空间的占用，整体性较好；通过内隔离筒与过滤外筒之间的配合作用，能够将进气和出气分离开；通过内置的反应过滤芯对尾气中需要处理的气体进行反应并过滤杂质。
[0004]采用上述方式，无法对尾气中的颗粒杂质进行过滤，过滤效果不足。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体和输气管；所述输气管和所述反应过滤桶本体连通，并位于所述反应过滤桶本体侧边；所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；所述外套管和所述输气管固定连接且连通，并位于所述输气管侧边；所述支撑环和所述外套管固定连接，并位于所述外套管内侧；所述螺纹管和所述外套管滑动连接，并位于所述外套管外侧；所述连接管和所述螺纹管螺纹连接，并位于所述螺纹管侧边；所述顶环和所述连接管固定连接，并位于所述连接管侧边；所述滤网设置于所述支撑环和所述顶环之间。
[0007]其中，所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括支撑件和螺栓；所述支撑件和所述连接管固定连接，并位于所述连接管侧边；所述螺栓和所述支撑件螺纹连接，并贯穿所述支撑件。
[0008]其中，所述外套管包括管体和多个限位件；所述管体和所述螺纹管滑动连接，并贯
穿所述螺纹管；多个所述限位件分别与所述管体固定连接，并分别位于所述管体侧边。
[0009]其中，所述外套管还包括多个螺杆；多个所述螺杆分别与多个所述限位件螺纹连接，并分别位于多个所述限位件侧边。
[0010]其中，所述外套管还包括多个旋钮；多个所述旋钮分别与多个所述螺杆固定连接，并分别位于多个所述螺杆侧边。
[0011]本技术的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，将所述连接管与半导体加工尾气连接，尾气进入所述连接管内经所述滤网进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经所述外套管和所述输气管进入所述反应过滤桶本体内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出，从而能够对尾气中的颗粒杂质进行过滤。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶的结构示意图。
[0014]图2是本技术的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶的剖视图。
[0015]图3是图2细节A的局部放大图。
[0016]图4是本技术的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶不包含反应过滤桶本体和输气管的结构示意图。
[0017]1‑
反应过滤桶本体、2
‑
输气管、3
‑
外套管、4
‑
支撑环、5
‑
螺纹管、6
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连接管、 7
‑
顶环、8
‑
滤网、9
‑
支撑件、10
‑
螺栓、31
‑
管体、32
‑
限位件、33
‑
螺杆、34
‑
旋钮。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0019]请参阅图1～图4，本技术提供一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶：包括反应过滤桶本体1和输气管2；所述输气管2和所述反应过滤桶本体1 连通，并位于所述反应过滤桶本体1侧边；所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括外套管3、支撑环4、螺纹管5、连接管6、顶环7和滤网8；所述外套管3和所述输气管2固定连接且连通，并位于所述输气管2侧边；所述支撑环4和所述外套管3固定连接，并位于所述外套管3内侧；所述螺纹管5和所述外套管3滑动连接，并位于所述外套管3外侧；所述连接管6和所述螺纹管5螺纹连接，并位于所述螺纹管5侧边；所述顶环7和所述连接管6固定连接，并位于所述连接管6侧边；所述滤网8设置于所述支撑环4和所述顶环7 之间。
[0020]在本实施方式中，所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶包括反应过滤桶本体1、输气管2、外套管3、支撑环4、螺纹管5、连接管6、顶环7和滤网 8；所述外套管3和所述输气管2固定连接且连通，并位于所述输气管2侧边；所述螺纹管5和所述外套管3滑动连接，并位
于所述外套管3外侧；所述连接管6和所述螺纹管5螺纹连接，并位于所述螺纹管5侧边；所述滤网8设置于所述支撑环4和所述顶环7之间；将所述连接管6与半导体加工尾气连接，尾气进入所述连接管6内经所述滤网8进行过滤，过滤掉尾气中的颗粒杂质，尾气过滤后经所述外套管3和所述输气管2进入所述反应过滤桶本体1内进行再次过滤，而后再将净化后的尾气排出；所述连接管6外侧设有外螺纹，所述螺纹管5内侧设有与所述连接管6匹配的内螺纹，当需要对所述滤网8进行清洁时，转动所述螺纹管5，使所述螺纹管5与所述连接管6脱离，而后移动所述连接管6远离所述外套管3，即可将所述滤网8取下；安装所述滤网8时，先将所述滤网8放置在所述支撑环4上，再将所述顶环7插入所述外套管3内，使得将所述滤网8抵紧在所述顶环7与所述支撑环4之间，再将所述螺纹管5旋紧在所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括反应过滤桶本体和输气管；所述输气管和所述反应过滤桶本体连通，并位于所述反应过滤桶本体侧边；其特征在于，所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括外套管、支撑环、螺纹管、连接管、顶环和滤网；所述外套管和所述输气管固定连接且连通，并位于所述输气管侧边；所述支撑环和所述外套管固定连接，并位于所述外套管内侧；所述螺纹管和所述外套管滑动连接，并位于所述外套管外侧；所述连接管和所述螺纹管螺纹连接，并位于所述螺纹管侧边；所述顶环和所述连接管固定连接，并位于所述连接管侧边；所述滤网设置于所述支撑环和所述顶环之间。2.如权利要求1所述的一种半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，其特征在于，所述半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶还包括支撑件和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：