一种液晶面板光阻除泡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液晶面板光阻除泡装置，包括除泡罐、真空泵和清洁组件；清洁组件包括进水管、出水管、电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个固定板和两个毛刷，使用时，通过进水管将水传送至除泡罐内准备进行清洗，启动气缸，使得气缸的输出端推动推杆移动，推杆移动，可以将搅拌釜的滑槽内的固定板顶出，使得毛刷跟随固定板跟随移动，使得毛刷能够接触到除泡罐的内壁，启动电机，转轴开始转动，带动搅拌釜跟随转转动，使得滑槽内的固定板带动毛刷跟随搅拌釜转动，对除泡罐进行清洗，完成清洗后的水通过出水管排出，解决现有除泡装置不方便对除泡罐进行清洗的问题。进行清洗的问题。进行清洗的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种液晶面板光阻除泡装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种液晶面板光阻除泡装置。

技术介绍

[0002]光阻剂又称光刻胶，在半导体器件制造过程中，光刻工艺的应用非常频繁，光刻胶的用量也非常大，当光刻胶内存有残留气泡的时，会使得光刻胶无法充分与被加工产品充分接触，从而影响产品质量。
[0003]目前，现有技术(CN209596616U)公开了一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐和真空泵，除泡罐的侧壁顶端固定连通有气管，气管远离除泡罐的一端与真空泵的进气端固定连通，除泡罐的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖，除泡罐的顶部开设有环形的安装槽，安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈，罐盖的内顶部开设有环形的容纳槽，橡胶圈的顶端延伸至容纳槽的内部，橡胶圈的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，罐盖的顶部固定连通有进料管，除泡罐的底部固定连通有出料管。本技术能够有效地对光阻剂进行脱气泡，且有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题。
[0004]但是，采用上述方式，在完成除泡工作后不方便对除泡罐的清洗。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种液晶面板光阻除泡装置，旨在解决现有除泡装置不方便对除泡罐进行清洗的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种液晶面板光阻除泡装置，包括除泡罐、真空泵和清洁组件；所述真空泵与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述清洁组件设置于所述除泡罐的一侧；所述清洁组件包括进水管、出水管、电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个固定板和两个毛刷，所述进水管与所述除泡罐滑动连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述出水管与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述电机与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述转轴与所述电机的输出端固定连接，并位于所述电机的一侧，所述搅拌釜与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧，所述搅拌釜具有凹槽和两个滑槽，所述凹槽位于所述搅拌釜的一侧，两个所述滑槽分别位于所述搅拌釜两侧，两个所述气缸分别与所述搅拌釜固定连接，并分别位于所述凹槽内，两个所述推杆分别与两个所述气缸的输出端固定连接，并分别位于两个所述气缸输出端侧边，两个所述固定板分别与所述搅拌釜滑动连接，且分别与两个所述推杆固定连接，并分别位于两个所述滑槽内，两个所述毛刷分别与两个所述固定板固定连接，并分别位于两个所述固定板的侧边。
[0007]其中，所述清洁组件还包括保护壳，所述保护壳与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐靠近所述电机的一侧。
[0008]其中，所述搅拌釜包括连接件和两个桨叶，所述连接件与所述转轴固定连接，并位
于转轴的一侧，两个所述桨叶分别与所述连接件固定连接，并分别位于所述连接件两侧。
[0009]其中，所述除泡罐包括罐体、密封圈和端盖，所述罐体与所述电机固定连接，并位于所述电机的一侧，所述密封圈与所述罐体固定连接，并位于所述罐体的一侧，所述端盖与所述罐体螺纹连接，且与所述进水管滑动连接，并位于所述罐体的一侧。
[0010]其中，所述真空泵包括泵体和阀门，所述泵体与所述罐体固定连接，并位于所述罐体的一侧，所述阀门与所述泵体转动连接，并位于所述泵体的一侧。
[0011]本技术的一种液晶面板光阻除泡装置，使用时，通过所述进水管将水传送至所述除泡罐内准备进行清洗，启动所述气缸，使得所述气缸的输出端推动所述推杆移动，所述推杆移动，可以将所述搅拌釜的所述滑槽内的所述固定板顶出，使得所述毛刷跟随所述固定板跟随移动，使得所述毛刷能够接触到所述除泡罐的内壁，启动所述电机，所述转轴开始转动，带动所述搅拌釜跟随转转动，使得所述滑槽内的固定板带动所述毛刷跟随所述搅拌釜转动，对所述除泡罐进行清洗，完成清洗后的水通过所述出水管排出，解决现有除泡装置不方便对除泡罐进行清洗的问题。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本审请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术提供的一种液晶面板光阻除泡装置的结构示意图。
[0014]图2是本技术提供的一种液晶面板光阻除泡装置的剖视图。
[0015]图3是图2细节A的局部放大图。
[0016]1‑
除泡罐、2
‑
真空泵、3
‑
清洁组件、11
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罐体、12
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密封圈、13
‑
端盖、21
‑
泵体、22
‑
阀门、31
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进水管、32
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出水管、33
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电机、34
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转轴、35
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搅拌釜、36
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气缸、37
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推杆、38
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固定板、39
‑
毛刷、310
‑
保护壳、351
‑
凹槽、352
‑
滑槽、353
‑
连接件、354
‑
桨叶。
具体实施方式
[0017]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0018]请参阅图1至图3，本技术提供一种液晶面板光阻除泡装置，包括除泡罐1、真空泵2和清洁组件3；所述真空泵2与所述除泡罐1固定连接，并位于所述除泡罐1的一侧，所述清洁组件3位于所述除泡罐1的一侧；所述清洁组件3包括进水管31、出水管32、电机33、转轴34、搅拌釜35、两个气缸36、两个推杆37、两个固定板38和两个毛刷39，所述进水管31与所述除泡罐1滑动连接，并位于所述除泡罐1的一侧，所述出水管32与所述除泡罐1固定连接，并位于所述除泡罐1的一侧，所述电机33与所述除泡罐1固定连接，并位于所述除泡罐1的一侧，所述转轴34与所述电机33的输出端固定连接，并位于所述电机33的一侧，所述搅拌釜35与所述转轴34固定连接，并位于所述转轴34的一侧，所述搅拌釜35具有凹槽351和两个滑槽
352，所述凹槽351位于所述搅拌釜35的一侧，两个所述滑槽352分别位于所述搅拌釜35两侧，两个所述气缸36分别与所述搅拌釜35固定连接，并分别位于所述凹槽351内，两个所述推杆37分别与两个所述气缸36的输出端固定连接，并分别位于两个所述气缸36输出端侧边，两个所述固定板38分别与所述搅拌釜35滑动连接，且分别与两个所述推杆37固定连接，并分别位于两个所述滑槽352内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液晶面板光阻除泡装置，包括除泡罐、真空泵和清洁组件；所述真空泵与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述清洁组件设置于所述除泡罐的一侧；其特征在于，所述清洁组件包括进水管、出水管、电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个固定板和两个毛刷，所述进水管与所述除泡罐滑动连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述出水管与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述电机与所述除泡罐固定连接，并位于所述除泡罐的一侧，所述转轴与所述电机的输出端固定连接，并位于所述电机的一侧，所述搅拌釜与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧，所述搅拌釜具有凹槽和两个滑槽，所述凹槽位于所述搅拌釜的一侧，两个所述滑槽分别位于所述搅拌釜两侧，两个所述气缸分别与所述搅拌釜固定连接，并分别位于所述凹槽内，两个所述推杆分别与两个所述气缸的输出端固定连接，并分别位于所述气缸输出端侧边，两个所述固定板分别与所述搅拌釜滑动连接，且分别与两个所述推杆固定连接，并分别位于两个所述滑槽内，两个所述毛...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：