一种半导体尾气处理滤桶制造技术

本实用新型专利技术涉及尾气处理设备技术领域，具体涉及一种半导体尾气处理滤桶，包括底座、移动机构和滤桶本体，移动机构包括驱动组件、两个传动组件、滑动组件和四个移动组件，在需要移动滤桶本体时，启动驱动组件，驱动组件工作驱动两个传动组件在驱动组件上的两个传动组件相互靠近，两个传动组件带动滑动组件向远离底座的一侧移动，滑动组件带动四个移动组件向远离底座的一侧移动，当四个移动组件与地面接触并将底座向远离地面的一侧顶起时，即可推动底座通过四个移动组件带动底座上的滤桶本体进行移动，从而解决了现有的尾气处理滤桶不具备移动功能的问题。备移动功能的问题。备移动功能的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体尾气处理滤桶


[0001]本技术涉及尾气处理设备
，尤其涉及一种半导体尾气处理滤桶。

技术介绍

[0002]电池片产品、半导体制造过程中会产生大量的尾气，尾气处理是一个必要步骤。
[0003]目前，现有技术(CN 213965778 U)公开了一种尾气处理滤桶，涉及电池片产品、半导体制造业尾气处理
，本技术包括筒体和设置在筒体上的封盖，封盖上设置有进气口和出气口，所述筒体内并排设置有相互连通的一级冷却集尘机构和二级滤芯集尘机构，所述一级冷却集尘机构的进气端与进气口连通，二级滤芯集尘机构的出气端与出气口连通；本技术具有结构简单，经过一级冷却集尘机构冷却后的尾气二级滤芯集尘机构过滤，这种先冷却后过滤的方式达到一个快速沉淀粉尘的效果。
[0004]采用上述方式，处理滤桶不具备移动功能，在需要移动滤桶时，需要大量的工作人员进行搬运从而增加了工作人员的工作量。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体尾气处理滤桶，旨在解决现有尾气处理滤桶不具备移动功能的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种半导体尾气处理滤桶，包括底座、移动机构和滤桶本体，所述移动机构设置于所述底座的内侧壁，所述滤桶本体设置于所述底座的顶部；
[0007]所述移动机构包括驱动组件、两个传动组件、滑动组件和四个移动组件，所述驱动组件设置于所述底座的内侧壁，两个所述传动组件分别设置于所述驱动组件的外侧壁，所述滑动组件设置于两个所述传动组件远离所述驱动组件的一侧，四个所述移动组件分别设置于所述滑动组件远离所述传动组件的一侧。
[0008]其中，所述驱动组件包括电机和双向螺杆，所述电机与所述底座固定连接，并位于所述底座的内侧壁，所述双向螺杆的一侧与所述电机输出端固定连接，所述双向螺杆的另一侧与所述底座转动连接，并位于所述电机与所述底座之间。
[0009]其中，所述传动组件包括套筒和传动杆，所述套筒与所述双向螺杆螺纹连接，并位于所述双向螺杆的四周，所述传动杆与所述套筒转动连接，并位于所述套筒远离所述双向螺杆的一侧。
[0010]其中，所述滑动组件包括滑板和两个滑块，所述底座具有两个滑槽，所述滑板与所述传动杆转动连接，并位于所述传动杆远离所述套筒的一侧，两个所述滑块分别与所述滑板固定连接，并分别与所述底座滑动连接，并分别位于两个所述滑槽内。
[0011]其中，所述移动组件包括安装块和滚轮，所述安装块与所述滑板固定连接，并位于所述滑板远离所述传动杆的一侧，所述滚轮与所述安装块转动连接，并位于所述安装块远离所述滑板的一侧。
[0012]本技术的一种半导体尾气处理滤桶，在需要移动所述滤桶本体时，启动驱动组件，所述驱动组件工作驱动两个所述传动组件在所述驱动组件上的两个传动组件相互靠近，两个所述传动组件带动所述滑动组件向远离所述底座的一侧移动，所述滑动组件带动四个移动组件向远离所述底座的一侧移动，当四个所述移动组件与地面接触并将所述底座向远离地面的一侧顶起时，即可推动所述底座通过四个所述移动组件带动所述底座上的所述滤桶本体进行移动，从而解决了现有的尾气处理滤桶不具备移动功能的问题。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本技术提供的一种半导体尾气处理滤桶的结构示意图。
[0015]图2是本技术提供的一种半导体尾气处理滤桶的俯视图。
[0016]图3是图2沿A
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A面的剖视图。
[0017]1‑
底座、2
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移动机构、3
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滤桶本体、4
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驱动组件、5
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传动组件、6
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滑动组件、7
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移动组件、8
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电机、9
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双向螺杆、10
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套筒、11
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传动杆、12
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滑板、13
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滑块、14
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滑槽、15
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安装块、16
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滚轮。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供一种半导体尾气处理滤桶，包括底座1、移动机构2和滤桶本体3，所述移动机构2设置于所述底座1的内侧壁，所述滤桶本体3设置于所述底座1的顶部；
[0020]所述移动机构2包括驱动组件4、两个传动组件5、滑动组件6和四个移动组件7，所述驱动组件4设置于所述底座1的内侧壁，两个所述传动组件5分别设置于所述驱动组件4的外侧壁，所述滑动组件6设置于两个所述传动组件5远离所述驱动组件4的一侧，四个所述移动组件7分别设置于所述滑动组件6远离所述传动组件5的一侧。
[0021]在本实施方式中，所述底座1为所述移动机构2和所述滤桶本体3提供了安装条件，通过所述滤桶本体3可以对半导体尾气进行处理，在需要移动所述滤桶本体3时，启动驱动组件4，所述驱动组件4工作驱动两个所述传动组件5在所述驱动组件4上的两个传动组件5相互靠近，两个所述传动组件5带动所述滑动组件6向远离所述底座1的一侧移动，所述滑动组件6带动四个移动组件7向远离所述底座1的一侧移动，当四个所述移动组件7与地面接触并将所述底座1向远离地面的一侧顶起时，即可推动所述底座1通过四个所述移动组件7带动所述底座1上的所述滤桶本体3进行移动，从而解决了现有的尾气处理滤桶不具备移动功能的问题。
[0022]进一步的，所述驱动组件4包括电机8和双向螺杆9，所述电机8与所述底座1固定连接，并位于所述底座1的内侧壁，所述双向螺杆9的一侧与所述电机8输出端固定连接，所述双向螺杆9的另一侧与所述底座1转动连接，并位于所述电机8与所述底座1之间，所述传动组件5包括套筒10和传动杆11，所述套筒10与所述双向螺杆9螺纹连接，并位于所述双向螺杆9的四周，所述传动杆11与所述套筒10转动连接，并位于所述套筒10远离所述双向螺杆9的一侧，所述滑动组件6包括滑板12和两个滑块13，所述底座1具有两个滑槽14，所述滑板12与所述传动杆11转动连接，并位于所述传动杆11远离所述套筒10的一侧，两个所述滑块13分别与所述滑板12固定连接，并分别与所述底座1滑动连接，并分别位于两个所述滑槽14内，所述移动组件7包括安装块15和滚轮16，所述安装块15与所述滑板12固定连接，并位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气处理滤桶，包括底座、移动机构和滤桶本体，所述移动机构设置于所述底座的内侧壁，所述滤桶本体设置于所述底座的顶部，其特征在于，所述移动机构包括驱动组件、两个传动组件、滑动组件和四个移动组件，所述驱动组件设置于所述底座的内侧壁，两个所述传动组件分别设置于所述驱动组件的外侧壁，所述滑动组件设置于两个所述传动组件远离所述驱动组件的一侧，四个所述移动组件分别设置于所述滑动组件远离所述传动组件的一侧。2.如权利要求1所述的一种半导体尾气处理滤桶，其特征在于，所述驱动组件包括电机和双向螺杆，所述电机与所述底座固定连接，并位于所述底座的内侧壁，所述双向螺杆的一侧与所述电机输出端固定连接，所述双向螺杆的另一侧与所述底座转动连接，并位于所述电机与所述底座之间。3.如权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：