一种光刻机镜头保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板保护装置本体用于保护光刻机镜头，连接块用于连接安装装置，固定块支撑重量转动轴和握把，捏动握把使得握把张开，安装框用将光刻机镜头插入进保护装置本体松开握把，波形管具有良好的韧性以及回弹性，配合转动轴将握把拉回，使得抵块上的第一弹簧和抵板抵住光刻机镜头从而达到固定，捏动握把即可取下保护装置本体，从而解决保护装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机镜头保护装置


[0001]本技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机镜头保护装置。

技术介绍

[0002]光刻装置主要用于集成电路(IC)或其他微型器件的制造。通过将掩模图形成像于涂覆有光刻胶的晶片，例如半导体或LCD板上。投影物镜曝光对晶片曝光，从而将掩模图形转移到光刻胶上。光刻胶可以分为正光刻胶(正胶)和负光刻胶(负胶)两类，曝光部分被显影剂溶解的光刻胶称为正光刻胶，非曝光部分被显影液溶解的光刻胶称为负光刻胶
[0003]现有技术(CN106292192A)公开一种边缘保护装置和光刻机，该边缘保护装置包括：旋转机构，安装在所述光刻机上，且所述旋转机构的旋转中心与光刻机的物镜轴线重合；移动机构，与所述旋转机构的边缘连接，用于调节涂覆保护机构的位置；以及涂覆保护机构，安装在所述移动机构底部，位置与硅片边缘对应，且所述涂覆保护机构与所述硅片边缘软接触。本专利技术设置有移动机构调节涂覆保护机构的位置，一套硅片边缘保护装置即可实现所有大小的硅片边缘保护；涂覆保护机构与所述硅片边缘软接触，不会发生硅片碰撞，保证硅片质量，降低硅片的报废率。
[0004]采用上述方式，保护装置在安装时是直接连接，导致安装和拆卸比较繁琐。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种，旨在解决保护装置在安装时是直接连接，导致安装和拆卸比较繁琐的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，所述连接块设置于所述保护装置本体一侧，其特征在于，还包括安装装置；
[0007]所述安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，所述安装框与所述连接块固定连接，并位于所述连接块一侧；两个所述安装组件分别位于所述安装框两侧；所述安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板，所述固定块与所述安装框固定连接，并位于所述安装框侧边；所述转动轴与所述固定块转动连接，并位于所述固定块一侧；所述握把与所述转动轴固定连接，并位于所述转动轴一侧；所述波形管与所述握把固定连接，且与所述安装框固定连接，并位于所述握把与所述安装框之间；所述抵块与所述握把固定连接，并位于所述握把一侧；所述第一弹簧与所述抵块固定连接，并位于所述抵块一侧；所述抵板与所述第一弹簧固定连接，并位于所述第一弹簧远离所述抵块一侧；所述辅助固定组件分别与两个所述握把固定连接，并分别位于所述两个握把一侧。
[0008]其中，所述辅助固定组件包括两个支撑块、固定框、限位块和两个限位结构，两个所述支撑块分别与两个所述握把固定连接，并分别位于两个所述握把一侧；所述固定框分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述限位块分别与所述固定框固定连接，且分别与两个所述支撑块滑动连接，并位于所述固定框一侧；两个所述限位结构分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧。
[0009]其中，所述限位结构包括限位板和滚珠，所述限位板分别与两个所述支撑块滑动连接，并分别位于两个所述支撑块一侧；所述滚珠与所述限位板滑动连接，并位于所述限位板一侧。
[0010]其中，所述安装组件还包括两个防滑垫，两个所述防滑垫分别与两个所述抵板固定连接，并分别位于两个所述抵板一侧。
[0011]其中，所述安装装置还包括密封圈，所述密封圈与所述安装框固定连接，并位于所述安装框内部。
[0012]本技术的一种光刻机镜头保护装置，所述保护装置本体用于保护光刻机镜头，所述连接块用于连接所述安装装置，所述固定块支撑重量所述转动轴和所述握把，捏动所述握把使得所述握把配合所述转动轴张开，然后所述安装框用将光刻机镜头插入进所述保护装置本体，然后松开所述握把，所述波形管具有良好的韧性以及回弹性，配合所述转动轴将所述握把拉回，使得所述抵块上的所述第一弹簧和所述抵板抵住光刻机镜头从而达到固定，捏动所述握把即可取下所述保护装置本体，从而解决保护装置在安装和拆卸比较繁琐的问题。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本审请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本技术提供的一种光刻机镜头保护装置的结构示意图。
[0015]图2是本技术提供的一种光刻机镜头保护装置的正视图。
[0016]图3是本技术提供的一种光刻机镜头保护装置的另一结构示意图。
[0017]1‑
保护装置本体、2
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连接块、3
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安装装置、31
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安装框、32
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安装组件、33
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辅助固定组件、34
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密封圈、321
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固定块、322
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转动轴、323
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握把、324
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波形管、325
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抵块、326
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第一弹簧、327
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抵板、328
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防滑垫、331
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支撑块、332
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固定框、333
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限位块、334
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限位结构、3341
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限位板、3342
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滚珠。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体1和连接块2，所述连接块2设置于所述保护装置本体1一侧，其特征在于，还包括安装装置3；
[0020]所述安装装置3包括安装框31、两个安装组件32和辅助固定组件33，所述安装框31与所述连接块2固定连接，并位于所述连接块2一侧；两个所述安装组件32分别位于所述安装框31两侧；所述安装组件32包括固定块321、转动轴322、握把323、波形管324、抵块325、第一弹簧326和抵板327，所述固定块321与所述安装框31固定连接，并位于所述安装框31侧
边；所述转动轴322与所述固定块321转动连接，并位于所述固定块321一侧；所述握把323与所述转动轴322固定连接，并位于所述转动轴322一侧；所述波形管324与所述握把323固定连接，且与所述安装框31固定连接，并位于所述握把323与所述安装框31之间；所述抵块325与所述握把323固定连接，并位于所述握把323一侧；所述第一弹簧326与所述抵块325固定连接，并位于所述抵块325一侧；所述抵板327与所述第一弹簧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机镜头保护装置，包括保护装置本体和连接块，所述连接块设置于所述保护装置本体一侧，其特征在于，还包括安装装置；所述安装装置包括安装框、两个安装组件和辅助固定组件，所述安装框与所述连接块固定连接，并位于所述连接块一侧；两个所述安装组件分别位于所述安装框两侧；所述安装组件包括固定块、转动轴、握把、波形管、抵块、第一弹簧和抵板，所述固定块与所述安装框固定连接，并位于所述安装框侧边；所述转动轴与所述固定块转动连接，并位于所述固定块一侧；所述握把与所述转动轴固定连接，并位于所述转动轴一侧；所述波形管与所述握把固定连接，且与所述安装框固定连接，并位于所述握把与所述安装框之间；所述抵块与所述握把固定连接，并位于所述握把一侧；所述第一弹簧与所述抵块固定连接，并位于所述抵块一侧；所述抵板与所述第一弹簧固定连接，并位于所述第一弹簧远离所述抵块一侧；所述辅助固定组件分别与两个所述握把固定连接，并分别位于所述两个握把一侧。2.如权利要求1所述的一种光刻机镜头保护装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蓬成，
申请(专利权)人：上海诺驰精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：