一种适用于微反射镜阵列镀膜的硅晶圆掩膜板，包括第一层硅晶圆、绝缘层和第二层硅晶圆；绝缘层位于第一层硅晶圆和第二层硅晶圆之间，第一层硅晶圆的厚度大于第二层硅晶圆的厚度；第二层硅晶圆用于与微反射镜阵列贴合；硅晶圆掩膜板配合微反射镜阵列设置有...

一种光学二维精密调节机构，包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于基座上；第二方向调节组件套设于第一方向调节组件上，并相对于第一方向调节组件且沿垂直于第一方向的第二方向往复移动；第一方...

一种光开关及光开关阵列，包括：绝缘层、支撑部、微镜、第一驱动电极、第二驱动电极和第三驱动电极；微镜通过支撑部支撑于绝缘层上方，用于反射光束；第一驱动电极设置于绝缘层上，并位于微镜一侧；第二驱动电极设置于微镜上，第三驱动电极设置于支撑部上...

一种粘性液体转移装置，包括：容器和辅助部；容器用于转移储存的粘性液体，容器的内部腔体被划分为进液区和出液区，进液区设置有进液口，出液区设置有出液口；辅助部用于在获取粘性液体时，至少使进液区的进液口及其以下区域浸入粘性液体中并通过进液口将...

一种反射式偏振分光棱镜及光刻机，反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；第三面和第四面倾斜错位平行设置于第一面和第二面之间，第三面朝向所述第...

一种光学元件激光损伤测试系统，包括：脉冲激光器、光束功率调节元件、分光元件、衍射元件、透镜组、第一功率监测模块和控制模块；光束功率调节元件用于对脉冲激光器发射的光束进行光束功率调节；分光元件用于将光束功率调节元件调节后的光束分成两束光束...

一种多光斑生成装置及光束整形系统，其中，多光斑生成装置包括：光阑和DOE，光阑设置于DOE的入射光一侧，光阑和DOE配置有一一对应的划分区域；DOE的各划分区域的微结构图形基于随机初始相位生成，光阑的各划分区域可调，通过光阑的可调的划分...

一种透光物体缺陷检测方法，包括步骤：判断待测透光物体的形状是否规则，若否，配置匹配液，并将不规则的待测透光物体完全浸没于匹配液中，将不规则的待测透光物体和匹配液配合后的整体作为待测件；将待测件置入双折射测量装置的检测台中；选取N个测量方...

一种透反射双面衍射光学元件及制作方法，包括：基底，基底的入射面为具有浮雕结构的第一衍射面，基底的出射面为具有浮雕结构的第二衍射面，第一衍射面的浮雕结构上镀制半透半反膜；第一衍射面通过半透半反膜反射的衍射光形成第一衍射图像；第一衍射面通过...

一种可变尺寸线形光束整形装置及整形方法，其中，整形装置包括控制器、图像采集器、激光器、准直镜、光斑缩放透镜组、分光镜、鲍威尔透镜、柱面凹透镜、柱面凸透镜；柱面凹透镜和柱面凸透镜分别为可移动设置；分光镜用于将线形光束分为两束高斯光束，一束...

本申请提供一种用于光学元件激光损伤阈值测试的光斑生成装置、光学元件激光损伤阈值测试装置及光学元件激光损伤阈值测试方法，其中，光斑生成装置包括：激光器和光斑生成单元；激光器用于发射激光光束；光斑生成单元用于对激光器发射的激光光束进行处理并...

一种人工晶体光学均匀性测试装置及测试方法，测试装置包括：沿光路传播方向依次设置的分光元件、1/4波片和反射平板；分光元件透过P偏振光、反射S偏振光；待测人工晶体放置于1/4波片和反射平板之间；测试光以P偏振光射入分光元件，测试光经分光元...

本申请提供一种球面镜本征双折射检测装置及其检测方法；检测装置包括：菲索干涉仪、偏振片、第一旋转装置、第二旋转装置、球面标准镜和控制器；利用菲索干涉仪采集出射光在某一偏振方向的第一幅干涉图，然后旋转偏振片90

一种光瞳参数检测系统，包括光瞳参数检测装置，该光瞳参数检测装置包括：微孔光学元件，设置有精密小孔；透镜，设置于微孔光学元件的出光侧，光刻机照明系统中光场的光束经所述精密小孔射入透镜，透镜用于将入射光束转换成准直光束并射出；Stokes参...

一种适用于光学系统装调的空间坐标系对准装置，用于光学系统中两个光学模块装调时的空间坐标系的对准，包括：XY对准器、角锥镜、RXY对准器、RZ对准器；XY对准器位于角锥镜的斜边的入射光束一侧，RXY对准器位于角锥镜的斜边的出射光束一侧；光...

本申请提供一种深紫外偏振曝光装置、辐照损伤测试装置及测试方法，曝光装置包括：能量监测单元、光源组件、分束单元、偏振态控制单元、缩束单元和曝光区；光源组件用于向深紫外偏振曝光装置提供均匀分布的深紫外光束；深紫外光束经分束单元后被分束为监测...

一种集成化应力双折射检测装置，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；控制器用于控制激光器发射...

一种旋光晶体透过率测量装置及测量方法，测量装置包括：单色器、退偏器、可控旋光器件、光电探测器和控制器；单色器、退偏器、可控旋光器件和光电探测器沿光束传播方向依次设置；待测旋光晶体置于退偏器和可控旋光器件之间的光路中，单色器产生预设波长的...

一种基于光强度的波片延迟量及快轴测量方法，包括步骤：将起偏器、检偏器和光强探测器沿光路方向同光轴放置；标定同光轴放置后的0

一种应力双折射检测装置，包括：菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头；菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头依次按序放置在同一光轴上，菲索型干涉仪发射平行光，经偏振片以平行光入射被测球面镜，光线经球面标准镜头后以平行光反...