一种反射式偏振分光棱镜及光刻机制造技术

一种反射式偏振分光棱镜及光刻机，反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；第三面和第四面倾斜错位平行设置于第一面和第二面之间，第三面朝向所述第一面倾斜，第四面朝向第二面倾斜；第三面的反射面和第四面的反射面中的至少一个反射面为布儒斯特反射，使第一面和第二面之间的光束至少经过一次布儒斯特反射起偏；第三面的反射面和第四面的反射面分别以相同的布儒斯特角反射第一面和第二面之间的光束，使第一面透射光束的传播方向和第二面透射光束的传播方向相同。通过两次布儒斯特角反射，使入射光束的传播方向与出射光束的传播方向相同。束的传播方向相同。束的传播方向相同。

【技术实现步骤摘要】
一种反射式偏振分光棱镜及光刻机


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体涉及一种反射式偏振分光棱镜及光刻机。

技术介绍

[0002]随着光刻设备中投影物镜的数值孔径(NA)的不断增大，照明偏振态对曝光效果的影响愈发显著。为提高曝光图像的分辨率，同时实现偏振性能的检测，能够适用于光刻照明波段的偏振器件就有了很重要的研发及应用价值。
[0003]沃拉斯顿棱镜是一种典型的偏振分光器件，他可以利用材料的双折射特性将入射光分解为振动方向相互垂直的两束线偏振光，通常由光轴相互垂直的两块同材料直角棱镜粘合而成。而反射式偏振器件是另一种少数可以适用于极紫外的偏振器之一。根据菲涅尔公式，当光束以布儒斯特角入射到界面时反射光中只含有S偏振分量，利用这一特性同样可实现偏振纯化目的。
[0004]光束在经过沃拉斯顿棱镜的两块直角棱镜界面时，由于其光轴相互垂直，o光变为e光，e光变为o光，因此分别向原传播方向的两侧偏移，经过最后一个面出射时再次折射而分成两束按一定角度分开、偏振方向相互垂直的线偏振光(见图1)。而在极紫外波段，受波长限制棱镜可选用的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜应用于深紫外波段或极紫外波段，所述反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；所述第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；所述第三面和第四面倾斜错位平行设置于所述第一面和第二面之间，所述第三面朝向所述第一面倾斜，所述第四面朝向所述第二面倾斜；所述第三面的反射面和第四面的反射面中的至少一个反射面为布儒斯特反射，使所述第一面和第二面之间的光束至少经过一次布儒斯特反射起偏；所述第三面的反射面和第四面的反射面分别以相同的布儒斯特角反射所述第一面和第二面之间的光束，使所述第一面透射光束的传播方向和第二面透射光束的传播方向相同。2.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述第三面的反射面和第四面的反射面均为布儒斯特反射，使所述第一面和第二面之间的光束经过两次布儒斯特反射起偏。3.如权利要求1所述的反射式偏振分光棱镜，其特征在于，所述反射式偏振分光棱镜还包括第五面和第六面，所述第五面连接于所述第一面和第三面之间，所述第六面连接于所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐磊，朱玲琳，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：