基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量方法及测量系统，测量方法包括步骤：基于第一经纬仪对待测积分棒的第一面进行测量，获取第一面测量角，基于第二经纬仪对待测积分棒的第二面进行测量，获取第二面测量角，第一面和第二面为待测积分棒的相邻两面；将第一...

一种适用于光刻机的离线测试平台及测试方法，离线测试平台对光刻机中的能量监测单元和能量点探测器进行离线测试，离线测试平台包括光路组件、采集装置和处理装置：光路组件用于向能量监测单元和能量点探测器发射1:1的脉冲激光；采集装置分别与能量监测...

一种线缆组件检测系统及检测方法，包括：工作台、接口适配模块、视觉感应设备和线缆检测仪，接口适配模块根据被测线缆的源端和目的端成对匹配且可拆卸地设置于工作台上，接口适配模块上设置有标签，标签携带有被测线缆的源端和目的端的引脚与对应测试点的...

一种基于原子指令序列的多轴运动、电机回零调试及控制方法，其中，多轴运动调试方法包括步骤：获取相应轴的原子指令序列；执行原子指令序列中的基础指令以对相应轴的目标运动控制进行调试。相关调试人员根据运动控制的实际调试需求选择相应的原子指令序列...

一种一维相位传播轴光场分布计算方法，包括步骤：将目标光场的菲涅尔衍射积分中的输出光场的笛卡尔直角坐标设置为零，并对输入光场的笛卡尔直角坐标和传播距离进行离散化处理；将目标光场的菲涅尔衍射积分符号内的表达式及积分符号外的表达式转化为矩阵表...

一种多镜组装调方法及装调装置，其中，装调方法包括步骤：获取用于多镜组装调的基准光轴；通过内调焦望远镜调整当前装调镜组的位置和角度，使当前装调镜组调整至与基准光轴共轴；通过镜面定位仪调整当前装调镜组的位置，使当前装调镜组与其前一装调镜组之...

一种激光光束自动连续变焦扩束的控制方法，包括步骤：根据预设参数计算第一透镜的目标位置和第二透镜的目标位置；预设参数包括：激光器发射的激光光斑尺寸、第三透镜与目标光学元件之间的目标距离和激光光束照射至目标光学元件上的目标光斑尺寸；基于第一...

一种点光斑阵列产生装置，包括：第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；第一阶梯反射镜通过阶梯将入射光束的反射光束进行分割形成片状光束并向第二阶梯反射镜反射片状光束；第二阶梯反射镜沿第一阶梯反射镜的反射方向设置，第一阶梯反射镜反射的片状光束入射至...

一种光学元件超声波清洗方法，包括步骤：根据待清洗光学元件的材质及各清洗槽的超声波频率在超声波清洗设备中选择清洗槽；根据待清洗光学元件的面型及各清洗槽的超声波频率对选择的各清洗槽设置相应的清洗工艺参数；将待清洗光学元件依次置入选择的清洗槽...

一种适用于柱面光学元件定心磨边的工装夹具，包括：基座

一种二维角度调节装置，包括：固定支架、柔性支架、第一角度调节组件和第二角度调节组件；柔性支架部分与所述固定支架固定连接，部分与待调节组件固定连接；第一角度调节组件和第二角度调节组件正交设置于所述固定支架；第一角度调节组件和/或第二角度调...

一种基于Scheimpflug条件的微反射镜阵列角位置监测光学系统，沿光束传播方向依次设置有激光器阵列、微透镜阵列、多阶梯平板玻璃、成像镜组、微反射镜阵列、反射光接收镜组和位置传感器；激光器阵列发射一定数值孔径的阵列光束，微透镜阵列将所...

一种适用于检测微反射镜阵列的检测装置，包括：上位机、检测机构和驱动机构；检测机构包括：光源模块、第一成像系统、第二成像系统、第三成像系统、图像传感器和位置传感器；第一成像系统用于将光源模块的出射光束成像至微反射镜阵列上；第二成像系统用于...

一种气浮运动平台，包括：基座、直线运动驱动装置、气浮装置和供气装置；气浮装置活动支撑于基座上，供气装置贯穿气浮装置设置于基座上；直线运动驱动装置驱动气浮装置在基座的支撑面上往复直线运动；供气装置正对气浮装置所在的位置处于打开状态，向气浮...

一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角...

一种微反射镜阵列监测装置的标定方法，通过模拟微反射镜阵列，对微反射镜阵列监测装置中的光斑阵列产生组件进行标定，使光斑阵列中的子光斑照射至对应的微反射镜的中心，标定方法包括步骤：获取模拟器中各模拟子单元的中心位置，模拟器用于模拟微反射镜阵...

准直超透镜及设计方法、基于准直超透镜的准直系统，其中，基于准直超透镜的准直系统，包括：VCSEL阵列和准直超透镜阵列；VCSEL阵列包括若干个VCSEL单元；准直超透镜阵列包括若干个准直超透镜，若干个准直超透镜与若干个VCSEL单元一一...

一种适用于音圈电机线圈浸漆烘干工艺的模具及使用方法，包括：盖板、上纸膜、底纸膜和底板；其中，盖板用于紧压音圈电机线圈，使浸漆烘干后音圈电机线圈的表面尽可能地平整；上纸膜和底纸膜将音圈电机线圈包夹在中间，可防止浸漆后线圈上所带的液态绝缘漆...

本申请提供一种长焦距大视场紧凑型离轴三反式平行光管光学系统，包括：靶标板、平面转折镜、三镜、次镜、主镜、出光口；靶标板、平面转折镜、三镜、次镜、主镜、出光口沿光束传播方向依次设置，光束照射靶标板入射至平面转折镜，经平面转折镜反射后入射至...

一种点光斑阵列产生装置，包括：第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；第一阶梯反射镜通过阶梯将入射光束的反射光束进行分割形成片状光束并向第二阶梯反射镜反射片状光束；第二阶梯反射镜沿第一阶梯反射镜的反射方向设置，第一阶梯反射镜反射的片状光束入射至...