【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻机照明，具体涉及一种点光斑阵列产生装置。
技术介绍
1、在自由光瞳照明模块中，需要由一个平行光束产生阵列光束，使阵列光束照射到微反射镜阵列上，通过各个微反射镜的角度偏转、算法运算生成所需光瞳。而常规方案是采用微透镜阵列作为光束分割装置生成阵列光束，这种结构整体制作难度大，且结构一旦确定后只能产生唯一的一种阵列光束。
2、例如，在先技术“双层微透镜阵列光学元件”(公开号tw 1613534 b)中描述了一种双层微透镜阵列光学元件，其原理是设计一面具有阵列排列的多针孔结构的基板，且该基板的两面分别具有一面光学微透镜阵列，这些微透镜光学阵列均包含多个对应多针孔结构位置之非球面微透镜。使用时，主要是将uv光由晶基板一面的光学微透镜阵列的多个非球面微透镜分别聚焦在各个针孔结构的位置，并形成一个小光点，而光点会在通过针孔结构之后开始发散，接着再由基板另一面之光学微透镜阵列的多个非球面微透镜重新将光束在聚焦面上获得一个极小圆形光点。此项技术对光学元件的加工工艺要求较高，有较多的微结构，整个制作难度很大，同时对材料要求也较高。
3、例如，在先技术“基于两个单脊光栅的5×5点阵衍射光栅”(公开号cn108680978a)中描述了一种基于两个单脊光栅的5×5点阵衍射光栅，该光栅是由两个一维单脊光栅上下排列一体构成，且上层光栅的光栅周期方向与下层光栅的光栅周期方向互相垂直。光栅周期均为1.309微米，上层光栅占空比为0.576～0.611，刻蚀深度为1.008～1.072微米，下层光栅占空比为0.5，刻蚀深度为0
4、在自由光瞳照明模块原理验证的过程中，不同的光学设计需要不同的阵列光束；因此需要设计一种新型的点光斑阵列产生装置，可产生不同形状不同尺寸的点光斑阵列。
技术实现思路
1、为解决能够产生不同形状、不同尺寸的点光斑阵列的技术问题，本申请提供一种光斑阵列产生装置，通过两个阶梯反射镜产生不同形状、不同尺寸的点光斑阵列，以满足自由光瞳照明模块原理验证过程中不同的光学设计需要。
2、本技术提供的技术方案如下：
3、本技术提供一种点光斑阵列产生装置，包括第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；
4、所述第一阶梯反射镜通过阶梯将入射光束的反射光束进行分割形成片状光束并向所述第二阶梯反射镜反射所述片状光束；
5、所述第二阶梯反射镜沿所述第一阶梯反射镜的反射方向设置，所述第一阶梯反射镜反射的片状光束入射至所述第二阶梯反射镜上，所述第二阶梯反射镜通过阶梯对入射的片状光束的反射光进行分割形成点光斑阵列。
6、进一步优选地，所述第一阶梯反射镜沿阶梯方向将入射光束的反射光束分割成若干个片状光束，其中，所述第一阶梯反射镜的一个阶梯将入射光束的反射光束分割成一个片状光束。
7、进一步优选地，所述第一阶梯反射镜通过阶梯对入射的部分入射光束进行遮挡，对未遮挡的入射光束进行反射，以使相邻片状光束之间具有相同和/或不同的间隔距离。
8、进一步优选地，所述第一阶梯反射镜的各阶梯的高度相等，及各阶梯的宽度相等，以使分割的各片状光束的大小相等，且相邻片状光束之间具有相同的间隔距离。
9、进一步优选地，所述第二阶梯反射镜交叉设置于所述第一阶梯反射镜的反射方向上，所述交叉设置使所述第一阶梯反射镜反射的各片状光束分别入射至所述第二阶梯反射镜的多个阶梯上，所述第二阶梯反射镜通过多个阶梯将入射的片状光束的反射光束分割成点光斑阵列。
10、进一步优选地，所述第二阶梯反射镜通过阶梯对入射的部分片状光束进行遮挡，对未遮挡的入射的片状光束进行反射，以使相邻点光斑之间具有相同和/或不同的间隔距离。
11、进一步优选地，所述第二阶梯反射镜的各阶梯的高度相等，及各阶梯的宽度相等，以使分割的各点光斑的大小相等，且相邻点光斑之间具有相同的间隔距离。
12、进一步优选地，所述点光斑阵列的尺寸大小随相邻片状光束之间的间隔距离的调整和/或随点光斑尺寸大小的调整和/或随相邻点光斑之间的间隔距离的调整而调整。
13、进一步优选地，所述点光斑阵列的形状随所述第一阶梯反射镜的位置姿态的变化和/或随第二阶梯反射镜的位置姿态的变化而变形。
14、通过本技术提供的点光斑阵列产生装置，先通过第一阶梯反射镜通过阶梯将入射光束的反射光束进行分割形成片状光束并向第二阶梯反射镜反射片状光束；再通过第二阶梯反射镜对入射的片状光束的反射光进行分割形成点光斑阵列；本申请采用两个阶梯反射镜能够生成不同形状、不同尺寸的点光斑阵列，能够满足自由光瞳照明模块原理验证过程中不同的光学设计需要；此外，光束在经过两个阶梯反射镜生成点光斑阵列时没有能量损失，且该两个阶梯反射镜通过常规的加工手段就可以实现，使得本申请提供的点光斑阵列产生装置结构简单，而且制作难度也非常低、易于实现。
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1.一种点光斑阵列产生装置，其特征在于，包括：第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；
2.如权利要求1所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜沿阶梯方向将入射光束的反射光束分割成若干个片状光束，其中，所述第一阶梯反射镜的一个阶梯将入射光束的反射光束分割成一个片状光束。
3.如权利要求2所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜通过阶梯对入射的部分入射光束进行遮挡，对未遮挡的入射光束进行反射，以使相邻片状光束之间具有相同和/或不同的间隔距离。
4.如权利要求3所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜的各阶梯的高度相等，及各阶梯的宽度相等，以使分割的各片状光束的大小相等，且相邻片状光束之间具有相同的间隔距离。
5.如权利要求4所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第二阶梯反射镜交叉设置于所述第一阶梯反射镜的反射方向上，所述交叉设置使所述第一阶梯反射镜反射的各片状光束分别入射至所述第二阶梯反射镜的多个阶梯上，所述第二阶梯反射镜通过多个阶梯将入射的片状光束的反射光束分割成点光斑阵列。
7.如权利要求6所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第二阶梯反射镜的各阶梯的高度相等，及各阶梯的宽度相等，以使分割的各点光斑的大小相等，且相邻点光斑之间具有相同的间隔距离。
8.如权利要求7所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述点光斑阵列的尺寸大小随相邻片状光束之间的间隔距离的调整和/或随点光斑尺寸大小的调整和/或随相邻点光斑之间的间隔距离的调整而调整。
9.如权利要求7所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述点光斑阵列的形状随所述第一阶梯反射镜的位置姿态的变化和/或随第二阶梯反射镜的位置姿态的变化而变形。
...【技术特征摘要】
1.一种点光斑阵列产生装置，其特征在于，包括：第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；
2.如权利要求1所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜沿阶梯方向将入射光束的反射光束分割成若干个片状光束，其中，所述第一阶梯反射镜的一个阶梯将入射光束的反射光束分割成一个片状光束。
3.如权利要求2所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜通过阶梯对入射的部分入射光束进行遮挡，对未遮挡的入射光束进行反射，以使相邻片状光束之间具有相同和/或不同的间隔距离。
4.如权利要求3所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第一阶梯反射镜的各阶梯的高度相等，及各阶梯的宽度相等，以使分割的各片状光束的大小相等，且相邻片状光束之间具有相同的间隔距离。
5.如权利要求4所述的点光斑阵列产生装置，其特征在于，所述第二阶梯反射镜交叉设置于所述第一阶梯反射镜的反射方向上，所述交叉设置使所述第一阶梯反射镜反射的各片状光束分别入射至...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨增辉，张方，张泽龙，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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