一种透镜曲率检测装置制造方法及图纸

一种透镜曲率检测装置，包括：光束扫描单元、光束接收单元、载物台和控制单元；光束扫描单元、光束接收单元和载物台分别与控制单元信号连接；载物台用于承载待测透镜，待测透镜至少部分至于光束扫描单元的扫描范围内；控制单元控制光束扫描单元发射扫描光束对其扫描范围内的待测透镜进行扫描；光束接收单元用于接收待测透镜各反射点的反射光束，产生与各反射光束对应的光斑位置，将光斑位置反馈至控制单元；控制单元对光斑位置进行处理获取待测透镜各反射光束的角度，根据各反射光束的角度获取待测透镜的表面曲线，基于表面曲线获取待测透镜的曲率。本申请可以测试未知表面曲线的透镜，对于透镜表面出现大的颗粒和凹坑等缺陷也可以进行测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透镜检测，具体涉及一种透镜曲率检测装置。

技术介绍

1、照明系统是光刻机的重要组成部分，现有光学系统功能越来越复杂，空间要求越来越紧凑。采用非球面透镜可以大大减少光学系统的透镜数量，同时提高光学性能，相应的非球面透镜曲率的测量要求也越来越高。

2、市面上有一些成熟产品，例如luphoscan系列的非接触式表面轮廓测量仪，它可以用于非球面、衍射面和自由曲面的测量。它的测量过程中被测透镜在测量平台上绕其旋转轴z自传，探测头绕x轴扫描。其测量原理如下：扫描过程是通过多波干涉技术传感器进行的，包含四个精密工作台。在测试条件下，mwli点传感器连续测量传感器到被测物的距离。被测件放置在一个可360°旋转的工作台上。传感器的位置由两个直线工作台和一个旋转台进行控制。在测量过程中，被测物旋转，其他几个平台移动传感器以便在整个测量平面上螺旋式扫描，由此产生的点状图显示了物体的表面形状，从而完成了测量。

3、luphoscan在测量时需要预知透镜的表面曲线；测量时传感器与透镜之间的距离比较近，存在碰触的风险；传感器与透镜表面之间的距离精本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种透镜曲率检测装置，其特征在于，包括：光束扫描单元、光束接收单元、载物台和控制单元；

2.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征在于，所述光束扫描单元的扫描范围与所述载物台承载的待测透镜的半径范围相匹配，所述控制单元控制所述载物台旋转和/或平移，使所述待测透镜的半径范围区域至于所述光束扫描单元的扫描范围内。

3.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征在于，所述光束扫描单元的扫描范围与所述载物台承载的待测透镜的直径范围相匹配，所述载物台将待测透镜的直径范围区域至于所述光束扫描单元的扫描范围内。

4.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种透镜曲率检测装置，其特征在于，包括：光束扫描单元、光束接收单元、载物台和控制单元；

2.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征在于，所述光束扫描单元的扫描范围与所述载物台承载的待测透镜的半径范围相匹配，所述控制单元控制所述载物台旋转和/或平移，使所述待测透镜的半径范围区域至于所述光束扫描单元的扫描范围内。

3.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征在于，所述光束扫描单元的扫描范围与所述载物台承载的待测透镜的直径范围相匹配，所述载物台将待测透镜的直径范围区域至于所述光束扫描单元的扫描范围内。

4.如权利要求1所述的透镜曲率检测装置，其特征在于，所述光束扫描单元发射可见光光束对其扫描范围内的待测透镜进...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨增辉，程伟林，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：