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一种反射式偏振分光棱镜及光刻机，反射式偏振分光棱镜包括：错位平行设置的第一面和第二面，错位平行设置的第三面和第四面；第一面和第二面为竖直错位平行设置，分别用于透射光束；第三面和第四面倾斜错位平行设置于第一面和第二面之间，第三面朝向所述第一面...
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