一种集成化应力双折射检测装置制造方法及图纸

一种集成化应力双折射检测装置，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；控制器用于控制激光器发射激光，控制第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。本申请提供的集成化应力双折射检测装置，可以实现实时的应力双折射测量，为退火工作提供反馈。为退火工作提供反馈。为退火工作提供反馈。

【技术实现步骤摘要】
一种集成化应力双折射检测装置


[0001]本专利技术涉及应力双折射检测
，具体涉及一种集成化应力双折射检测装置。

技术介绍

[0002]基板玻璃生产是经过玻璃熔体快速冷却定形而成，在冷却定形过程中质点偏离平衡位置，会产生较大的热应力，使得热收缩往往高达几十ppm(收缩量与原长比值)，甚至上百ppm，无法达到小于10ppm的要求。现有的应力双折射检测通常是当基板玻璃退火后，在放入相位延迟检测系统，对应力双折射进行检测。因此，需要设计可以应用于基板玻璃退火的应力双折射实时检测装置，可以对退火状态下的基板玻璃应力双折射进行实时监测。

技术实现思路

[0003]针对退火状态下的基板玻璃应力双折射实时检测的问题，本申请提供一种集成化应力双折射检测装置，旨在解决退火状态下基板玻璃应力双折射实时检测的问题。
[0004]本专利技术的技术方案如下：
[0005]本专利技术提供一种集成化应力双折射检测装置，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；
>[0006]所述激本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成化应力双折射检测装置，其特征在于，包括：激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器、控制器；所述激光器、第一保偏光纤、待测样品、全光纤结构可调波片、第二保偏光纤、光电探测器依次按序设置；所述控制器用于控制所述激光器发射激光，控制所述第一保偏光纤和第二保偏光纤移动至待测样品的测试点，控制全光纤结构可调波片的快轴角与第二保偏光纤的光轴夹角为四个预设角度，获取相应预设角度下的光电探测器上所对应的光强，通过四步相移法计算测试点的相位延迟量和快轴角。2.如权利要求1所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，所述第一保偏光纤与第二保偏光纤的光轴相互垂直。3.如权利要求1所述的集成化应力双折射检测装置，其特征在于，还包括第一位移台和第二位移台，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玲琳，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：