一种应力双折射检测装置制造方法及图纸

一种应力双折射检测装置，包括：菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头；菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头依次按序放置在同一光轴上，菲索型干涉仪发射平行光，经偏振片以平行光入射被测球面镜，光线经球面标准镜头后以平行光反射，以使菲索型干涉仪对被测球面镜进行干涉检测，并基于两次干涉检测获得被测球面镜的应力双折射；球面标准镜头相对所述被测球面镜的焦距可调，以检测不同焦距的被测球面镜的应力双折射。通过设计球面标准镜头，使其相对被测球面镜的焦距可调，以达到通过调整焦距来检测不同被测球面镜的应力双折射的效果。应力双折射的效果。应力双折射的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种应力双折射检测装置


[0001]本专利技术涉及光学元件应力检测
，具体涉及一种应力双折射检测装置。

技术介绍

[0002]应力双折射是指：由于应力的存在，玻璃内部结构发生变化，变为各向异性体，光通过玻璃时会发生双折射现象；常见的应力双折射测量方法有干涉色法、1/4波片法、Tardy定量测试法、偏振透射差分法及调制法等。干涉检测是一种检测光学元件或光学系统产生的波像差的高精度检测方法。
[0003]图1为现有技术中球面元件干涉检测所用光学系统结构示意图，其中，1
‑
1菲索型干涉仪，1
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2球面标准镜头，1
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3被检测球面元件。
[0004]图2为球面标准镜头结构示意图，其中，1
‑
4球面标准镜头参考面，1
‑
5球面标准镜头的会聚镜，为一组透镜，1
‑
6测试光，1
‑
7参考光。球面标准镜头用于检测球面波前的波像差，其中会聚镜为一组透镜，将平面波前转换为与参考面具有相同球心的球面波前，参考面为高精度的球面。
[0005]现有技术测量不同球面镜应力双折射需要更换不同的球面标准镜，使得球面标准镜将平行光转换为与被测球面镜有相同球心的球面波前。

技术实现思路

[0006]针对测量不同球面镜应力双折射要搭建不同光路/测量不同球面镜应力双折射要更换不同球面标准镜头的问题，本申请提供一种应力双折射检测装置，通过设计球面标准镜头，使其相对被测球面镜的焦距可调，以达到通过调整焦距来检测不同被测球面镜的应力双折射的效果。
[0007]本专利技术的技术方案如下：
[0008]本专利技术提供一种应力双折射检测装置，包括：菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头；
[0009]所述菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头依次按序放置在同一光轴上，所述菲索型干涉仪发射平行光，经所述偏振片以平行光入射所述被测球面镜，光线经所述球面标准镜头后以平行光反射，以使所述菲索型干涉仪对被测球面镜进行干涉检测，并基于两次干涉检测获得被测球面镜的应力双折射；
[0010]所述球面标准镜头相对所述被测球面镜的焦距可调，以检测不同焦距的被测球面镜的应力双折射。
[0011]进一步优选的，所述球面标准镜头相对所述被测球面镜的焦距可调范围为10mm
‑
100mm。
[0012]进一步优选的，所述球面标准镜头包括4片透镜。
[0013]进一步优选的，所述4片透镜按照距离所述被测球面镜由近及远依次包括第一片透镜、第二片透镜、第三片透镜和第四片透镜，其中，所述第一片透镜的材料为
CORNING7980、所述第二片透镜的材料为H
‑
ZLAF68C、所述第三片透镜的材料为CAF2、所述第四片透镜的材料为H
‑
ZLAF68C。
[0014]进一步优选的，所述第四片透镜镀有反射膜。
[0015]进一步优选的，还包括平面反射镜，所述平面反射镜设置于所述第四片透镜的出射光一侧。
[0016]进一步优选的，还包括反射平板，所述反射平板设置于所述第四片透镜的出射光一侧。
[0017]依据上述实施例的应力双折射检测装置，由于通过设计球面标准镜头，使其相对被测球面镜的焦距可调，以达到通过调整焦距来检测不同被测球面镜的应力双折射的效果。
附图说明
[0018]图1为现有球面元件干涉检测示意图；
[0019]图2为现有球面标准镜头示意图；
[0020]图3为本申请提供的应力双折射检测装置示意图；
[0021]图4为球面标准镜头焦距变化的示意图；
[0022]图5为球面标准镜头焦距变化的另一示意图；
[0023]图6为具有平面反射镜的应力双折射检测装置示意图；
[0024]图7为具有反射平板的应力双折射检测装置示意图。
具体实施方式
[0025]下面通过具体实施方式结合附图对本专利技术作进一步详细说明。
[0026]本申请提供一种应力双折射检测装置，结构图如图3所示，包括菲索型干涉仪1、偏振片2、被测球面镜3和球面标准镜头4，其中，菲索型干涉仪1、偏振片2、被测球面镜3和球面标准镜头4依次按序放置在同一光轴上，菲索型干涉仪1发射平行光，经偏振片2以平行光入射被测球面镜3，光线经球面标准镜头4后以平行光反射，以使菲索型干涉仪1对被测球面镜3进行干涉检测，并基于两次干涉检测获得被测球面镜3的应力双折射；球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距可调，以检测不同焦距的被测球面镜的应力双折射。
[0027]其中，菲索型干涉仪1发出平行光束透射过标准镜头的会聚镜后，一部分光束被参考面反射原路返回干涉仪，这部分光束称为参考光，它包含的信息为标准镜头的会聚镜与干涉仪内部元器件产生的波像差之和；另一部分光束透射过标准镜头的会聚镜和参考面后到达被检测元件，经反射后原路返回再次透射过标准镜头的参考面和会聚镜回到干涉仪，这部分光束称为测试光，它包含的信息为被检测元件、标准镜头的参考面、会聚镜以及干涉仪内部元器件产生的波像差之和。参考光与测试光相互叠加，两者干涉产生干涉条纹，由菲索型干涉仪内部的CCD元件接收，干涉条纹包含的信息为参考光与测试光所含波像差之差。
[0028]在本申请中，菲索型干涉仪优选为压电陶瓷菲索干涉仪。
[0029]具体的，球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距可调范围为10mm
‑
100mm，如图3所示，球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距为10mm，如图4所示，球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距为50mm，如图5所示，球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距为100mm。
[0030]由于球面标准镜头4相对被测球面镜3的焦距可调，当需要检测其他焦距的被测球面镜3时，只需要将球面标准镜头4移动至相应的焦距即可，与现有的测量不同球面镜应力双折射要搭建不同光路/测量不同球面镜应力双折射要更换不同球面标准镜头的技术方案相比，本申请提供的应力双折射检测装置更方便使用。
[0031]进一步，本申请的球面标准镜头优选为包括4片透镜，该4片透镜按照距离所述被测球面镜3由近及远依次包括第一片透镜、第二片透镜、第三片透镜和第四片透镜，其中，第一片透镜的材料为CORNING7980、第二片透镜的材料为H
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ZLAF68C、第三片透镜的材料为CAF2、第四片透镜的材料为H
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ZLAF68C；每片透镜同两个面组成，4片透镜则包括8个面，则该4片透镜中各面半径的具体设计参数如下表1所示。
[0032]表1球面标准镜头设计参数
[0033][0034][0035]进一步，为使光线经球面标准镜头4后以平行光反射，本申请中的第四片透镜镀有反射膜。
[0036]在其他实施例中，第四片透镜也可以不镀反射膜，例如，还可以包括平面反射镜5，平面反射镜5设置于第四片透镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应力双折射检测装置，其特征在于，包括：菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头；所述菲索型干涉仪、偏振片、被测球面镜、球面标准镜头依次按序放置在同一光轴上，所述菲索型干涉仪发射平行光，经所述偏振片以平行光入射所述被测球面镜，光线经所述球面标准镜头后以平行光反射，以使所述菲索型干涉仪对被测球面镜进行干涉检测，并基于两次干涉检测获得被测球面镜的应力双折射；所述球面标准镜头相对所述被测球面镜的焦距可调，以检测不同焦距的被测球面镜的应力双折射。2.如权利要求1所述的应力双折射检测装置，其特征在于，所述球面标准镜头相对所述被测球面镜的焦距可调范围为10mm
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100mm。3.如权利要求2所述的应力双折射检测装置，其特征在于，所述球面标准镜头包括4片透镜。4.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玲琳，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：