一种多光斑生成装置及光束整形系统制造方法及图纸

一种多光斑生成装置及光束整形系统，其中，多光斑生成装置包括：光阑和DOE，光阑设置于DOE的入射光一侧，光阑和DOE配置有一一对应的划分区域；DOE的各划分区域的微结构图形基于随机初始相位生成，光阑的各划分区域可调，通过光阑的可调的划分区域与DOE的各划分区域匹配产生各划分区域所对应的独立可控的光斑图形。DOE各划分区域采用随机初始相位设计，突破了传统几何初始相位的限制，并配合视场光阑进行分区独立设计和控制，可实现单片DOE产生多种光斑图形且每种光斑之间独立可控的功能；此外，DOE的各划分区域的微结构图形基于随机初始相位生成，以使DOE的划分区域在被光阑部分遮挡时，DOE的划分区域所产生的光斑图形形貌保持不变而光斑强度随之变化。貌保持不变而光斑强度随之变化。貌保持不变而光斑强度随之变化。

【技术实现步骤摘要】
一种多光斑生成装置及光束整形系统


[0001]本专利技术涉及光束整形
，具体涉及一种多光斑生成装置及光束整形系统。

技术介绍

[0002]在激光加工和激光热处理领域中，通过激光束对材料进行切割。在例如切割、钻孔、焊接等操作中，为获得高质量的加工效果，不仅要将高斯光束进行整形为平顶光束，且需要在主光斑加工之前使用其他副光斑进行预处理。目前产生多光斑的光束整形技术存在一定的局限性，无法兼顾多种情况，成本昂贵。例如，采用多光束分立控制组合的系统存在系统复杂，成本高昂的问题；采用微透镜阵列方案虽然能够将光束打散后重新进行匀化，但该方案的光斑较大，不适用于小光斑方案，导致不够实用；而目前采用衍射光学器件(Diffractive Optical Elements，DOE)产生多光斑的系统，由于受DOE设计方案的限制，使得每一个DOE器件只能对应一种入射光斑形貌，且多光斑之间的能量无法独立控制。
[0003]也即是，现有产生多光斑的光束整形技术中，传统子系统合成方案存在系统复杂成本高昂的问题；基于微透镜的方案产生光斑较大，且子光斑无法独立控制；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多光斑生成装置，其特征在于，包括：光阑和DOE，所述光阑设置于所述DOE的入射光一侧，所述光阑和DOE配置有一一对应的划分区域；所述DOE的各划分区域的微结构图形基于随机初始相位生成，所述光阑的各划分区域可调，通过所述光阑的可调的划分区域与所述DOE的各划分区域匹配产生各划分区域所对应的独立可控的光斑图形。2.如权利要求1所述的多光斑生成装置，其特征在于，所述DOE的各划分区域的微结构图形基于随机初始相位生成，以使所述DOE的划分区域在被所述光阑部分遮挡时，所述DOE的划分区域所产生的光斑图形形貌保持不变而光斑强度随之变化。3.如权利要求1所述的多光斑生成装置，其特征在于，所述DOE和光阑各配置有四个划分区域。4.如权利要求3所述的多光斑生成装置，其特征在于，所述DOE中的各划分区域的微结构图形的形状不同，以使所述DOE各划分区域所产生的光斑图形不同。5.如权利要求3所述的多光斑生成装置，其特征在于，所述光阑的各划分区域分别由多片90
°
的扇叶组成，且每片扇叶由铰链连接而成。6.如权利要求5所述的多光斑生成装置，其特征在于，所述光阑的划分区域的扇叶可调，通过调节所述扇叶使所述DOE中不同的划分区域分别产生独立可控的光斑图形，及调节所述扇叶将不同划分区域所产生的光斑图形拼接为新的光斑图形。7.一种光束整形系统，其特征在于，包括沿光路传播方向依次设置的激光器、扩束器、多光斑生成装置和傅...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡敬佩，曾爱军，黄惠杰，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：