本发明实施例公开了一种吊装装置，包括：吊装机构、纠偏机构、夹爪开合机构、夹爪开合连杆机构和夹爪机构；吊装机构用于控制夹爪机构在预设方向上移动；纠偏机构的一端和吊装机构相连，纠偏机构的另一端和夹爪开合机构相连，纠偏机构用于在预设范围内纠正...

本实用新型公开一种研磨液回收利用设备，涉及研磨液回收领域。该研磨液回收利用设备包括循环供应罐顶板，所述循环供应罐顶板上固定连接有承载台，所述承载台的内部活动卡接有研磨液过滤盒。该研磨液回收利用设备在进行使用时，设置的承载台实现对研磨液过...

本实用新型公开一种机械研磨设备防护装置，涉及研磨设备领域。该机械研磨设备防护装置包括研磨设备台，所述研磨设备台的顶部设有台面板，所述台面板的顶部设有研磨设备主体，所述台面板的顶部设有防护装置。该机械研磨设备防护装置在进行使用时，利用设置...

本发明提供一种SDS研磨液配管循环管路安装固定结构，涉及SDS研磨液输送技术领域。该SDS研磨液配管循环管路安装固定结构，包括壳体，壳体的中央处转动连接有安装套管，壳体的内部设置有固定机构，固定机构安装在安装套管上。该SDS研磨液配管循...

本发明公开一种CDS化学品加工废气排放装置，涉及废气排放领域。包括第一框架主体，通过设置有多组清理杆，当长时间使用排放装置对废气过滤时，蜂窝陶瓷外壁开设的孔槽内会残留大量的污垢，工作人员推动推杆，以使得推杆沿密封圈内滑动，带动支撑板运动...

本发明公开一种用于CDS原液桶的氮封装置，涉及氮封领域。包括桶体，所述桶体的顶端固定连接有工作电机，所述工作电机的输出端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹滑块，通过设置有第一密封板和第二密封板，螺纹杆转动通过螺纹滑块带动导向柱...

本发明提供一种研磨液半自动供液装置，涉及研磨液技术领域。该研磨液半自动供液装置，包括供液桶本体，供液桶本体内侧顶部设有添加警示机构，添加警示机构包括活动圆板和光栅壳体，活动圆板位于供液桶本体内侧顶部，供液桶本体内侧顶部表面开设有环形竖槽...

本发明提供一种SDS原液供应桶液位监测装置，涉及液位测量技术领域。该SDS原液供应桶液位监测装置，包括原液筒，原液筒的一侧设置有连通管，连通管通过连接部与原液筒固定连接，原液筒的内部设置有导向柱和活动盘，原液筒的内壁上开设有多个安装槽，...

本发明提供一种CDS原液桶空桶报警装置，涉及CDS供液技术领域。该CDS原液桶空桶报警装置，包括原液桶本体，原液桶本体底部内侧设有活动桶，活动桶与原液桶本体内侧底部滑动连接，活动桶底部设有限位报警机构，限位报警机构包括缓冲弹簧和环形挡板...

本发明公开一种CDS气动阀气管连接结构，涉及气动阀气管连接结构领域。包括连接缸筒，所述连接缸筒的内壁固定连接有斜条环，所述斜条环的外壁位于连接缸筒的外部固定连接有自锁框架，所述自锁框架的外壁贯穿有推杆，所述推杆一端位于自锁框架的外部固定...

本发明公开一种CDS管路用过滤器安装结构，涉及过滤器安装结构领域。包括框架主体，所述框架主体的内壁固定连接有连接管，所述连接管远离框架主体的一端外壁固定连接有第一密封圈，所述第一密封圈远离连接管的一侧外壁嵌套有第二密封圈，通过设置有三组...

本发明提供一种SDS研磨液调和槽360度清洗结构，涉及XX技术领域。该SDS研磨液调和槽360度清洗结构，包括把手，把手的下方设置有安装座、连接柱和连接座，连接座的底部安装有清洗机构，清洗机构包括连接筒，连接筒内部开设有多个定位槽，连接...

本发明提供一种SDS研磨液调和槽自动搅拌结构，涉及SDS研磨液制备技术领域。该SDS研磨液调和槽自动搅拌结构，包括筒体，筒体的顶部固定连接有盖体，盖体的底部固定连接有导向盘，筒体的内部设置有搅拌组件，所述搅拌组件包括固定盘，所述固定盘的...

本实用新型公开了一种流体化学品智能供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括主箱柜、电控箱、上门、下门、原液钢瓶、供液钢瓶、操控屏、控制管路、监测传感器。原液钢瓶是用于供给设备流体化学品；供液钢瓶是为设备系统供应原液到管道输出单元...

本实用新型公开了一种半自动研磨液的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层...

本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中...

本实用新型公开了一种化学研磨液氮压的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括骨架、操控面板、排气装置、化学研磨液混合供应装置、液泵、研磨液氮压储存容器、压力监测表。骨架是由不锈钢方钢和聚苯烯的板材焊接及机械连接而成；排气装置是用...

本实用新型公开了一种化学研磨液的供应系统，具体涉及半导体制造领域。该系统主要包括骨架、操控面板、研磨液自动配比装置、研磨液存储箱体、研磨液搅拌装置、研磨液加湿装置、供液泵。所述研磨液自动配比装置是用于持续供给研磨液存储箱体所需的研磨液；...

本实用新型涉及研磨液技术领域，具体公开了本实用新型公开了一种研磨液用双叶轮搅拌杆，包括包括研磨液桶、搅拌杆、电动机、马达底座、法兰盘和联轴器，所述搅拌杆通过联轴器与所述电动机连接；置于所述研磨液桶内的搅拌杆上安装有两个搅拌杆叶轮。所述研...

本实用新型涉及研磨液装置技术领域，具体公开了一种研磨液加湿系统，包括研磨液桶，在所述研磨液桶上安装一个加湿系统，所述加湿系统包括加湿器装置、N2供气装置和DIW供液装置，所述研磨液桶和所述加湿器装置均DRAIN2废液排出装置连接；所述D...