一种CDS原液桶空桶报警装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种CDS原液桶空桶报警装置，涉及CDS供液技术领域。该CDS原液桶空桶报警装置，包括原液桶本体，原液桶本体底部内侧设有活动桶，活动桶与原液桶本体内侧底部滑动连接，活动桶底部设有限位报警机构，限位报警机构包括缓冲弹簧和环形挡板，缓冲弹簧位于活动桶底部且与活动桶固定连接，原液桶本体底部内侧表面开设有滑动环槽。该CDS原液桶空桶报警装置，有利于在原液桶空桶之后直接进行报警以提醒工作人员原液桶处于空桶状态，提升了该CDS原液桶空桶报警装置的实用性，避免了现有的CDS供液系统原液桶无法精准确定原液桶内刻蚀液的含量，缺乏准确的报警装置，易产生偏差，影响原液桶继续进行供液，无法满足原液桶实际使用需求的问题。使用需求的问题。使用需求的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种CDS原液桶空桶报警装置


[0001]本专利技术涉及CDS供液
，具体为一种CDS原液桶空桶报警装置。

技术介绍

[0002]CDS供液系统其主要用于湿法刻蚀清洗等工序需要使用的刻蚀液集中进行配送，经管道配送至设备；具有自动化程度高、配比、操作简便等特点。CDS供液系统的原液桶内存放刻蚀液进行供液。
[0003]目前CDS供液系统原液桶内的刻蚀液一般通过人工观察液面的高度，但是仅仅通过人工观察常常无法精准确定原液桶内刻蚀液的含量，缺乏准确的报警装置，易产生偏差，影响原液桶继续进行供液，无法满足原液桶的实际使用需求。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种CDS原液桶空桶报警装置，通过设置限位报警机构来进行原液桶空桶报警，以解决现有的CDS供液系统原液桶无法精准确定原液桶内刻蚀液的含量，缺乏准确的报警装置，易产生偏差，影响原液桶继续进行供液，无法满足原液桶实际使用需求的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CDS原液桶空桶报警装置，包括原液桶本体(1)，其特征在于：所述原液桶本体(1)底部内侧设有活动桶(2)，所述活动桶(2)与原液桶本体(1)内侧底部滑动连接，所述活动桶(2)底部设有限位报警机构；所述限位报警机构包括缓冲弹簧(3)和环形挡板(4)，所述缓冲弹簧(3)位于活动桶(2)底部且与活动桶(2)固定连接，所述原液桶本体(1)底部内侧表面开设有滑动环槽(5)，所述环形挡板(4)位于活动桶(2)顶部外侧且与活动桶(2)固定连接，所述活动桶(2)一侧固定连接有活动竖板(6)，所述活动竖板(6)底部固定连接有活动推块(7)；所述原液桶本体(1)底部一侧表面开设有滑动竖槽(8)，所述滑动竖槽(8)顶部一侧设有限位横槽(9)，所述活动推块(7)底部一侧设有限位推块(10)，所述限位推块(10)一侧固定连接有活动推杆(11)，所述活动推杆(11)靠近限位推块(10)一端外侧设有限位弹簧(12)，所述限位弹簧(12)远离限位推块(10)一端设有固定横板(13)，所述限位横槽(9)远离滑动竖槽(8)一端设有固定竖槽(14)，所述固定竖槽(14)内侧设有接触片(15)。2.根据权利要求1所述的一种CDS原液桶空桶报警装置，其特征在于：所述活动推杆(11)一端贯穿固定横板(13)且与接触片(15)固定连接，所述接触片(15)远离活动推杆(11)一侧两端均设有连接片(16)。3.根据权利要求1所述的一种CDS原液桶空桶报警装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟贵平，
申请(专利权)人：上海吉啸电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：