本实用新型公开了一种温压一体式传感器，涉及传感器领域，包括基底，所述基底底部覆盖有过渡膜，过渡膜上方覆盖有绝缘膜；所述绝缘膜上设置有薄膜应变电路和薄膜测温电阻，所述薄膜应变电路和薄膜测温电阻外端均设置有引线焊盘。本实用新型通过将测量温度...

本发明公开了一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，涉及压力传感器领域，包括设备支撑装置、压力共享装置和设备锁紧装置；设备支撑装置顶部设置有用于安装设备锁紧装置的支撑板；压力共享装置设置于支撑装置顶部；压力共享装置顶部均匀设置有若干个液压出...

本实用新型公开了一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，涉及芯片制备技术领域，包括支架，支架上设置主箱体，主箱体内部通过转轴设置网格框、L型支板以及托板，托板上通过安装架设置旋转杆、旋柄、齿轮、齿条、安装板以及夹持板，夹持板上设置橡胶垫，所述...

本实用新型公开了一种芯体高度测量装置，涉及辅助测量工具领域，包括平台基座和激光测距仪，还包括支撑轴和旋转轴，所述支撑轴垂直固定安装于平台基座上；所述旋转轴转动安装于支撑轴顶部；所述激光测距仪通过支杆固定安装于旋转轴一侧；所述平台基座顶部...

本实用新型公开了一种溅射薄膜压力传感器敏感元件安装结构，涉及传感器领域，包括基座六方、基座螺纹柱和传感器敏感元件，所述传感器敏感元件固定安装于基座螺纹柱顶部，所述基座螺纹柱顶部设置有与传感器敏感元件配合的限位柱；所述基座螺纹柱包括螺纹安...

本实用新型适用于溅射薄膜传感器敏感芯体制作领域，提供了一种用于芯体化学气相沉积法制作介质薄膜的工装，包括上卡盘和下底盘，还包括：放置组件，所述放置组件位于上卡盘上，所述放置组件用于承载压力传感器芯体；以及定位组件，所述定位组件位于上卡盘...

本发明公开了一种六维力传感器标定装置，涉及力传感器领域，包括标定架、六维力传感器固定装置、六维力传感器加力装置和六维力传感器标定施力系统；所述标定架包括一个顶部架、四根立柱、一个底部架以及一个水平台，所述水平台固定安装在底部架上表面中心...

本实用新型公开了一种等离子体辅助电子束蒸发沉积系统限流板，涉及等离子体辅助电子束蒸发沉积薄膜传感器领域，包括限流板本体，所述限流板本体呈圆环形结构；所述限流板本体中心位置开设有贯通式的限流孔；所述限流板本体表面还开设有一条环形凹槽。本实...

本实用新型适用于薄膜力敏芯体领域，提供了一种薄膜力敏芯体电参数测试装置，包括测试仪表和测试转接盒，还包括：能够通过对力敏芯体进行夹持测量确定力敏芯体的质量的芯体测试工装，所述芯体测试工装通过导线与测试转接盒连接，测试转接盒通过测试线与测...

本实用新型适用于压力测量装置技术领域，提供了一种用于给压力敏感元件传递标准压力的组合工装，包括连通底座，还包括压力转换接头，所述连通底座中设置有内部连接孔，所述压力转换接头与内部连接孔一端的内侧壁螺纹连接，所述内部连接孔另一端的内侧壁螺...