一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，涉及压力传感器领域，包括设备支撑装置、压力共享装置和设备锁紧装置；设备支撑装置顶部设置有用于安装设备锁紧装置的支撑板；压力共享装置设置于支撑装置顶部；压力共享装置顶部均匀设置有若干个液压出口，压力共享装置内设置有与液压出口连通的液压通路；压力共享装置底部设置有与液压通路连通的进油口；设备锁紧装置位于压力共享装置上方，设备锁紧装置包括上盖板和气缸，气缸的缸体固定安装于支撑板内侧，气缸的气缸杆与上盖板顶部固定。本发明专利技术简化溅射薄膜压力传感器拆卸打压工装，方便拆卸；实现多个溅射薄膜压力传感器同时采集、写入数据，实现溅射薄膜压力传感器量产。量产。量产。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置


[0001]本专利技术涉及压力传感器领域，具体是一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置。

技术介绍

[0002]压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
[0003]溅射薄膜压力传感器是压力传感器的一种，溅射薄膜压力传感器加工好后，需要对传感器进行标定检测。现有溅射薄膜压力传感器标定检测装置在使用时，溅射薄膜压力传感器拆装繁琐，费时费力；且检测过程容易造成液压油泄露，会对传感器螺纹等地方造成损坏。
[0004]现有溅射薄膜压力传感器标定检测装置一般只能对少量传感器进行标定检测，无法同时标定检测批量溅射薄膜压力传感器。溅射薄膜压力传感器标定检测过程中承压较大，且会有无外壳保护情况，现有技术无相应的安全保护装置，存在一定的安全隐患。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，包括设备支撑装置、压力共享装置和设备锁紧装置；所述设备支撑装置顶部设置有用于安装设备锁紧装置的支撑板；所述压力共享装置设置于支撑装置顶部；所述压力共享装置顶部均匀设置有若干个液压出口，压力共享装置内设置有与液压出口连通的液压通路；所述压力共享装置底部设置有与液压通路连通的进油口；所述设备锁紧装置位于压力共享装置正上方，设备锁紧装置包括上盖板和气缸，所述气缸的缸体固定安装于支撑板内侧，所述气缸的气缸杆与上盖板顶部固定。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述设备支撑装置顶部设置有与压力共享装置配合的定位卡块，所述设备支撑装置位于定位卡块之间。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案：所述上盖板上均匀开设有若干与液压出口相对应的定位孔。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案：所述液压出口内底部还嵌设有O型圈。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案：所述进油口采用G1/4A螺纹口。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案：所述设备支撑装置顶部后侧还设置有罩体。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：还包括安全保护装置，所述安全保护装置与罩体配合，安全保护装置安装于罩体内且安全保护装置底部通过铆钉与罩体转动连接。
[0013]相较于现有技术，本专利技术的有益效果如下：1、通过上述装置进行标定检测，简化溅射薄膜压力传感器拆卸打压工装，方便拆卸；溅射薄膜压力传感器拆卸工程中不使用螺纹连接，不使用扳手等工具，保证螺纹、六方等不受破坏；2、采用O型圈密封端面，减少溅射薄膜压力传感器在标定检测过程中发生泄露的可能；3、通过配备专用设备支撑装置，方便可靠；通过配备专用的安全保护装置，有效保护操作人员；4、通过压力共享装置和设备锁紧装置配合从而对液压进行稳定共享，实现多个溅射薄膜压力传感器同时采集、写入数据，实现溅射薄膜压力传感器量产；5、压力共享装置的进油口采用标准的G/A螺纹口连接，配合相应的对丝转换接头可适用于多种压力源，适用范围广。
附图说明
[0014]图1为本专利技术实施例的结构示意图。
[0015]图2为本专利技术实施例中设备支撑装置的结构示意图。
[0016]图3为本专利技术实施例中压力共享装置放置溅射薄膜压力传感器时的结构示意图。
[0017]图4为本专利技术实施例中压力共享装置的结构示意图。
[0018]图5为本专利技术实施例中压力共享装置A处的局部结构示意图。
[0019]图6为本专利技术实施例中压力共享装置的俯视剖面结构示意图。
[0020]图7为本专利技术实施例中设备锁紧装置的结构示意图。
[0021]图8为本专利技术实施例中溅射薄膜压力传感器的结构示意图。
[0022]附图标记注释：1
‑
设备支撑装置、11
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定位卡块、12
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支撑板、13
‑
罩体、2
‑
压力共享装置、21
‑
液压出口、22
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O型圈、23
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液压通路、24
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连接口、3
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设备锁紧装置、31
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上盖板、32
‑
定位孔、33
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气缸、4
‑
安全保护装置、5
‑
溅射薄膜压力传感器、51
‑
六方、52
‑
电路板、53
‑
芯体、54
‑
螺纹。
具体实施方式
[0023]以下实施例会结合附图对本专利技术进行详述，在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本专利技术所列举的各实施例仅用以说明本专利技术，并非用以限制本专利技术的范围。对本专利技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本专利技术的精神与范围。
实施例
[0024]请参阅图1～8，本专利技术实施例中，一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，包括设备支撑装置1、压力共享装置2、设备锁紧装置3、安全保护装置4和上位机控制系统。
[0025]设备支撑装置1采用1000mm*1000mm*800mm的金属工作台，其原材料选用4mm*4mm*20mm的方形钢管，并取用烤漆工艺，增加其耐腐蚀性，保证其可以长时间使用。设备支撑装置1的作用是为溅射薄膜压力传感器标定检测提供可靠方便的工作台。
[0026]设备支撑装置1顶部设置有与压力共享装置2配合的定位卡块11以及用于安装设备锁紧装置3的支撑板12，设备支撑装置1顶部后侧还设置有罩体13。
[0027]压力共享装置2是将来自压力源（可使用伺服液压泵、活塞压力计等）的液压分享给多个溅射薄膜压力传感器5（图示为64个溅射薄膜压力传感器5，具体数量可根据生产详情与液压元适配容积进行合理选择）。让所有溅射薄膜压力传感器5在相同承压状态下进行标定检测。
[0028]压力共享装置2设置于支撑装置1顶部，且位于定位卡块11之间，通过定位卡块11可以方便对压力共享装置3进行定位安装；压力共享装置2顶部均匀设置有若干个液压出口21，压力共享装置2内设置有与液压出口21连通的液压通路23，通过液压通路23使得所有液压出口21相连通；压力共享装置2底部设置有与液压通路23连通的进油口24；进油口24用于连接压力源，液压通过液压通路23分布至每个液压出口21；优选地，进油口24采用G1/4A螺纹口，方便与压力测试油管连接。液压出口21内底部还嵌设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射薄膜压力传感器标定检测装置，其特征在于，包括设备支撑装置（1）、压力共享装置（2）和设备锁紧装置（3）；所述设备支撑装置（1）顶部设置有用于安装设备锁紧装置（3）的支撑板（12）；所述压力共享装置（2）设置于支撑装置（1）顶部；所述压力共享装置（2）顶部均匀设置有若干个液压出口（21），压力共享装置（2）内设置有与液压出口（21）连通的液压通路（23）；所述压力共享装置（2）底部设置有与液压通路（23）连通的进油口（24）；所述设备锁紧装置（3）位于压力共享装置（2）上方，设备锁紧装置（3）包括上盖板（31）和气缸（33），所述气缸（33）的缸体固定安装于支撑板（12）内侧，所述气缸（33）的气缸杆与上盖板（31）顶部固定。2.根据权利要求1所述的溅射薄膜压力传感器标定检测装置，其特征在于，所述设备支撑装置（1）顶部设置有与压力共享装置（2）配合的定位卡块（11），所述设备支撑装...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔雪岩，孙启萌，齐迪春，陶甜甜，
申请(专利权)人：山东伟航敏芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：