一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，涉及芯片制备技术领域，包括支架，支架上设置主箱体，主箱体内部通过转轴设置网格框、L型支板以及托板，托板上通过安装架设置旋转杆、旋柄、齿轮、齿条、安装板以及夹持板，夹持板上设置橡胶垫，所述主箱体顶部设置电机，电机的动力输出轴与转轴相连接，所述主箱体上还设置有进液管、超声波发生器以及通过合页设置有箱门。本实用新型专利技术在可移动的夹持板的作用，使得装置不仅可以起到对芯片的夹持作用，同时也可以对不同大小的芯片进行夹持固定，在一定程度上提升了装置使用的适用性，多重的清洗装置，提高了对于芯片清洗的效率以及质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具


[0001]本技术涉及芯片制备
，具体是一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具。

技术介绍

[0002]如今，半导体集成电路的设计与生产，以及各种微机电系统功能器件的制造越来越表现出趋向于大规模的特点，同时材料技术的发展也使各种大尺寸的半导体材料晶片被投入到器件制造领域，为了保证芯片的性能一致性和成品率，制造过程中材料和工艺的均匀性就成为了一项重要的参考指标，当芯片制作成完成后需要对其进行适当的清洗处理，从而方便后续的使用。
[0003]在授权公告号为CN208062028U的技术专利中公开了一种芯片清洗夹具，包括：夹具本体，在夹具本体上开设的多个容置槽，夹具本体与多个容置槽为一体化设计，多个容置槽内开设有多个贯穿夹具本体的通孔。通过将芯片放置在容置槽内，对芯片进行清洗，以实现对每一个芯片的清洗和位置信息追踪，在实际使用时，其对于芯片的夹持作用较小，同时其容置槽相对固定，无法满足对于不同大小芯片的夹持固定需求，导致装置在实际使用的时的适用性较差，不能很好的满足实际使用的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，包括左右两个支架，左右所述支架之间固定安装有主箱体，主箱体内部转动设置有转轴，转轴上固定安装有网格框，网格框内壁上固定安装有L型支板，L型支板上滑动设置有托板，托板顶部均匀设置有若干安装架，安装架上转动设置有旋转杆，旋转杆底部末端固定安装有旋柄，所述旋转杆上固定安装有齿轮，所述安装架上滑动设置有若干齿条，齿条与齿轮相互啮合，所述齿条末端固定安装有安装板，安装板上固定安装有夹持板，夹持板内壁上固定安装有橡胶垫，所述齿条末端固定安装有限位板，所述主箱体顶部固定安装有电机，电机的动力输出轴与转轴相连接，所述主箱体顶部位于电机右侧设置有进液管，所述主箱体内壁上固定安装有超声波发生器，所述主箱体上还通过合页设置有箱门。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述托板上设置有限位条，所述L型支板上贯穿设置有螺纹孔，螺纹孔内通过螺纹连接设置有与限位条配合使用的固定螺栓。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述进液管上通过螺纹连接设置有管盖。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述箱门内壁上固定安装有密封垫，所述箱门上还设置有观察窗。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述主箱体上设置有排水管。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述排水管上设置有水阀。
[0012]相较于现有技术，本技术的有益效果如下：
[0013]1、利用齿轮带动齿条移动，进而夹持板移动，从而完成对于芯片的夹持固定作用，避免在对芯片清洗过程中，芯片脱落导致其损坏的情况发生，同时也使得装置可以满足对于不同大小芯片夹持固定的需求，从而增加了装置的适用性；
[0014]2、多重的清洗装置，使得装置整体可以更好的对芯片进行清洗，在一定程度上有助于提升对于芯片清洗的效率，方便更换的清洗液则在一定程度上提升了装置对于芯片清洗的质量；
[0015]3、在箱门的作用下，方便了对于主箱体内部的清洗，减少了因内部物质残留进而影响后续使用的情况发生，在一定程度上有助于延长装置使用的时限。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例的结构示意图。
[0017]图2为本技术实施例主视剖面的结构示意图。
[0018]图3为本技术实施例安装架处俯视的结构示意图。
[0019]附图标记注释：1、支架；2、主箱体；3、转轴；4、网格框；401、L型支板；402、固定螺栓；5、托板；6、旋转杆；601、旋柄；7、齿轮；8、限位板；9、齿条；10、安装板；11、夹持板；1101、橡胶垫；12、电机；13、进液管；1301、管盖；14、合页；15、箱门；1501、密封垫；1502、观察窗；16、排水管；1601、水阀；17、超声波发生器；18、安装架。
具体实施方式
[0020]以下实施例会结合附图对本技术进行详述，在附图或说明中，相似或相同的部分使用相同的标号，并且在实际应用中，各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本技术所列举的各实施例仅用以说明本技术，并非用以限制本技术的范围。对本技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本技术的精神与范围。
[0021]实施例
[0022]请参阅图1～3，本技术实施例中，一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，包括左右两个支架1，左右所述支架1之间固定安装有主箱体2，主箱体2内部转动设置有转轴3，转轴3上固定安装有网格框4，网格框4内部设置有托板5，所述网格框4内壁上固定安装有L型支板401，所述托板5与L型支板401滑动连接，所述托板5上设置有与L型支板401配合使用的限位条，所述L型支板401上设置有螺纹孔，螺纹孔内通过螺纹连接设置有与限位条配合使用的固定螺栓402，托板5可以方便将需要的清洗芯片送入至网格框4中，在利用固定螺栓402对托板5进行固定，避免在清洗过程中，托板5从网格框4脱落进而导致芯片损坏的情况发生，在一定程度上起到了对于芯片的保护作用。
[0023]所述托板5顶部均匀设置有若干安装架18，安装架18上转动设置有旋转杆6，旋转杆6上固定安装有齿轮7，所述旋转杆6底部固定安装有旋柄601，所述安装架18上滑动设置有若干齿条9，齿条9与齿轮7相互啮合，通过转动旋柄601带动齿轮7转动，从而齿条9在安装架18上移动，所述齿条9末端固定安装有安装板10，安装板10上固定安装有夹持板11，夹持板11上固定安装有橡胶垫1101，所述旋转杆6贯穿托板5且与托板5转动连接，当在使用该装
置时，将芯片放置于安装架18上，转动旋柄601带动齿轮7转动，进而是使得夹持板11相互靠近，从而完成对于芯片的夹持固定作用，同时在橡胶垫1101的作用下可以对芯片起到一定的保护作用，避免因夹持板11硬度过高导致芯片损坏的情况发生，同时其还可以满足对于不同大小芯片的夹持固定，从而在一定程度上提高了装置使用的适用性，所述齿条9末端固定安装有限位板8，在限位板8的作用下可以防止齿条9脱落的情况发生，保证了装置的使用效率。
[0024]所述主箱体2顶部固定安装有电机12，电机12的动力输出轴与转轴3相连接，所述主箱体2顶部位于电机12右侧设置有进液管13，进液管13上通过螺纹连接设置有管盖1301，所述主箱体2内壁上还固定安装有超声波发生器17，在使用时，可以通过进液管13向主箱体2中加入清洗用液，之后启动电机12带动网格框4转动，进而使得夹持板11夹持的芯片在主箱体2中旋转，使其充分与清洗液接触，从而完成对对于芯片的清洗工作，同时利用超声波发生器17产生超声波，利用超声波带动清洗液震动，进而完成对于芯片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射薄膜压力敏感芯片清洗夹具，包括左右两个支架(1)，其特征在于，左右所述支架(1)之间固定安装有主箱体(2)，主箱体(2)内部转动设置有转轴(3)，转轴(3)上固定安装有网格框(4)，网格框(4)内壁上固定安装有L型支板(401)，L型支板(401)上滑动设置有托板(5)，托板(5)顶部均匀设置有若干安装架(18)，安装架(18)上转动设置有旋转杆(6)，旋转杆(6)底部末端固定安装有旋柄(601)，所述旋转杆(6)上固定安装有齿轮(7)，所述安装架(18)上滑动设置有若干齿条(9)，齿条(9)与齿轮(7)相互啮合，所述齿条(9)末端固定安装有安装板(10)，安装板(10)上固定安装有夹持板(11)，夹持板(11)内壁上固定安装有橡胶垫(1101)，所述齿条(9)末端固定安装有限位板(8)，所述主箱体(2)顶部固定安装有电机(12)，电机(12)的动力输出轴与转轴(3)相连接，所述主箱体(2)顶部位于电机(12)右侧设置有进液管(13)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙启萌，陶甜甜，白鹤，
申请(专利权)人：山东伟航敏芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：