一种薄膜力敏芯体电参数测试装置制造方法及图纸

技术编号:30616607 阅读:12 留言:0更新日期:2021-11-03 23:35
本实用新型专利技术适用于薄膜力敏芯体领域,提供了一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,包括测试仪表和测试转接盒,还包括:能够通过对力敏芯体进行夹持测量确定力敏芯体的质量的芯体测试工装,所述芯体测试工装通过导线与测试转接盒连接,测试转接盒通过测试线与测试仪表连接;通过芯体测试工装对力敏芯体进行夹持测量,测量出的数据通过测试仪表显示,通过芯体测试工装对力敏芯体的质量进行测量避免了引入因不同接触力度而产生较大的接触电阻,降低测试准确性,同时避免了手持触针测试时容易损伤芯体待测试点的表面。伤芯体待测试点的表面。伤芯体待测试点的表面。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜力敏芯体电参数测试装置


[0001]本技术属于薄膜力敏芯体领域,尤其涉及一种薄膜力敏芯体电参数测试装置。

技术介绍

[0002]薄膜力敏芯体作为薄膜力传感器的核心器件,主要用于力学量的测量。薄膜力传感器的质量主要取决于薄膜力敏芯体的质量,而薄膜力敏芯体的质量一方面是通过工艺保证,另一方面是通过特定的检测手段进行判定,其中芯体的测试装置至关重要,不同的芯体测试装置因芯体表面的测试点位置分布而不同,尤其对于特殊结构的力敏芯体采用专用的测试装置,才能保证测试的准确性和可靠性。
[0003]传统的芯体测试方法是采用手持触针进行接触测量,这样测试的弊端是容易引入因不同接触力度而产生较大的接触电阻,测试准确性降低,同时手持触针测试时容易损伤芯体待测试点的表面。为避免上述技术问题,确有必要提供一种薄膜力敏芯体电参数测试装置以克服现有技术中的所述缺陷。

技术实现思路

[0004]本技术实施例的目的在于提供一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,旨在解决传统的芯体测试装置容易引入因不同接触力度而产生较大的接触电阻,测试准确性降低,同时手持触针测试时容易损伤芯体待测试点的表面。
[0005]本技术实施例是这样实现的,一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,包括测试仪表和测试转接盒,还包括:
[0006]芯体测试工装,能够通过对力敏芯体进行夹持测量确定力敏芯体的质量,所述芯体测试工装通过导线与测试转接盒连接,测试转接盒通过测试线与测试仪表连接。
[0007]进一步的技术方案,所述芯体测试工装包括测试底板,所述测试底板侧端面设置的支架上滑动连接有可动挡板,可动挡板与支架间连接有能够带动可动挡板与支架的侧端面进行相对滑动的移动构件,可动挡板的侧端面设置有六对测试触针,所述测试底板的侧端面对应每个测试触针均设置有芯体待测试点。
[0008]进一步的技术方案,所述测试触针均采用金属材料且两排测试触针均表面镀金,测试触针的端部均连接有弹簧,测试触针的端部为直径0.5mm的球面,两排测试触针间的距离为0.5mm,测试触针的端部和测试触针的本体均采用嵌入式安装。
[0009]进一步的技术方案,所述测试底板的侧端面设置有六个测试按钮,每个测试按钮均通过导线连接在一对芯体待测试点和对应的一对测试触针之间。
[0010]进一步的技术方案,所述测试转接盒的侧端面设置有六对接线柱,每对接线柱均通过导线与一对测试触针连接,每对接线柱均通过测试线与测试仪表连接。
[0011]相较于现有技术,本技术的有益效果如下:
[0012]1、本技术实施例提供的一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,通过芯体测试工
装对力敏芯体进行夹持测量,测量出的数据通过测试仪表显示,通过芯体测试工装对力敏芯体的质量进行测量避免了引入因不同接触力度而产生较大的接触电阻,降低测试准确性,同时避免了手持触针测试时容易损伤芯体待测试点的表面;
[0013]2、本技术实施例提供的一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,测试便捷,该装置对于特殊结构的多测点力敏芯体来说,操作简单,只需将待测芯体放置在芯体卡槽中,保证测试触针与芯体待测试点接触的前提下,通过切换测试按钮可实现多测点的芯体电参数测试,整个测试过程简单便捷,测试效率高。
附图说明
[0014]图1为本技术

一种薄膜力敏芯体电参数测试装置的结构示意图;
[0015]图2为本技术中丝杆传动副和可动挡板的连接示意图。
[0016]附图中:芯体测试工装1、丝杆传动副2、可动挡板3、测试触针4、力敏芯体5、芯体待测试点6、测试按钮7、测试底板8、导线9、测试仪表10、测试线11、测试转接盒12、接线柱13。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0018]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0019]如图1~2所示,为本技术提供的一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,包括测试仪表10和测试转接盒12,还包括:
[0020]芯体测试工装1,能够通过对力敏芯体5进行夹持测量确定力敏芯体5的质量,所述芯体测试工装1通过导线9与测试转接盒12连接,测试转接盒12通过测试线11与测试仪表10连接;
[0021]通过芯体测试工装1对力敏芯体5进行夹持测量,测量出的数据通过测试仪表10显示,通过芯体测试工装1对力敏芯体5的质量进行测量避免了引入因不同接触力度而产生较大的接触电阻,降低测试准确性,同时避免了手持触针测试时容易损伤芯体待测试点的表面。
[0022]在本技术实施例中,作为本技术的一种优选实施例,所述芯体测试工装1包括测试底板8,所述测试底板8侧端面设置的支架上滑动连接有可动挡板3,可动挡板3与支架间连接有能够带动可动挡板3与支架的侧端面进行相对滑动的移动构件2,所述移动构件2可以为电动伸缩杆或者丝杆传动副,作为本技术的一种优选实施例,所述移动构件2为转动连接在支架内侧的丝杆传动副2,可动挡板3的侧端面设置有六对测试触针4,所述测试底板8的侧端面对应每个测试触针4均设置有芯体待测试点6;通过丝杆传动副2带动可动挡板3沿支架侧端面上下移动,可动挡板3的侧端面安装有两排测试触针4,可动挡板3带动测试触针4上下移动,实现测试触针4与芯体待测试点6的接触和分离。
[0023]在本技术实施例中,作为本技术的一种优选实施例,所述测试触针4均采用金属材料且两排测试触针4均表面镀金,测试触针4的端部均是镀金材质,测试电导率高,可准确反映被测点的真实值,测试触针4的端部均连接有弹簧,可保证测试触针4与芯体待
测试点6接触时,芯体待测试点6的表面受力均匀,不会对表面造成损伤,带有弹簧结构的测试触针4进行接触测试,测试触针4通过可动挡板3带动其上下自由移动,测试触针4的端部加载力分布均匀,且垂直移动,不会造成与芯体待测试点的虚接,测试触针4的端部为直径0.5mm的球面,防止测试触针4的端部太尖锐损伤芯体待测试点6的表面,两排测试触针4间的距离为0.5mm,测试触针4的端部和测试触针4的本体均采用嵌入式安装。
[0024]在本技术实施例中,作为本技术的一种优选实施例,所述测试底板8的侧端面设置有六个测试按钮7,每个测试按钮7均通过导线9连接在一对芯体待测试点6和对应的一对测试触针4之间;每按下一个测试按钮7则表示接通一对测试触针4与其对应的一对芯体待测试点6。
[0025]在本技术实施例中,作为本技术的一种优选实施例,所述测试转接盒12的侧端面设置有六对接线柱13,每对接线柱13均通过导线9与一对测试触针4连接,每对接线柱13均通过测试线11与测试仪表10连接;将测试仪表10的两根测试线11分别插入任意一对接线柱13上,按下测试底板8本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜力敏芯体电参数测试装置,包括测试仪表和测试转接盒,其特征在于,还包括:芯体测试工装,能够通过对力敏芯体进行夹持测量确定力敏芯体的质量,所述芯体测试工装通过导线与测试转接盒连接,测试转接盒通过测试线与测试仪表连接。2.根据权利要求1所述的薄膜力敏芯体电参数测试装置,其特征在于,所述芯体测试工装包括测试底板,所述测试底板侧端面设置的支架上滑动连接有可动挡板,可动挡板与支架间连接有能够带动可动挡板与支架的侧端面进行相对滑动的移动构件,可动挡板的侧端面设置有六对测试触针,所述测试底板的侧端面对应每个测试触针均设置有芯体待测试点。3.根据权利要求2所述的薄膜力敏芯体电参数测试装...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙启萌邵放
申请(专利权)人:山东伟航敏芯电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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