本发明提供的多级制冷系统，通过连结多台普通的制冷机而构成多级制冷循环，并且能够以简便的控制进行稳定的运转，将开发、设计的工时减小到极限，由此能够廉价地实现节能化。若将多个制冷机(1、2、3)整体的被冷却液的目标出口温度设为Tout、将运...

本实用新型提供的多级制冷系统，通过连结多台普通的制冷机而构成多级制冷循环，并且能够以简便的控制进行稳定的运转，将开发、设计的工时减小到极限，由此能够廉价地实现节能化。若将多个制冷机(1、2、3)整体的被冷却液的目标出口温度设为Tout、...

本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第...

本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，...

提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的...

本发明提供的压缩机具备润滑剂不与制冷剂液混合的构造。用于对制冷机内的制冷剂气体进行压缩的压缩机(1)具备：叶轮(11)；能够与叶轮(11)一体地旋转的旋转体(12)；将旋转体(12)支承为能够旋转的滚动轴承(25)；被保持在滚动轴承(2...

本实用新型提供一种压缩机以及具备该压缩机的制冷机。用于对制冷机内的制冷剂气体进行压缩的压缩机(1)具备：叶轮(11)；能够与叶轮(11)一体地旋转的旋转体(12)；将旋转体(12)支承为能够旋转的滚动轴承(25)；被保持在滚动轴承(25...

本实用新型提供简化冷却抽气装置的驱动液的结构的吸收式制冷机。吸收式制冷机(1)具备：蒸发器(20)，在内部具有供冷却对象流体(C)流动的冷却对象流体流路(21)，从在冷却对象流体流路中流动的冷却对象流体夺取制冷剂液(Vf)蒸发而成为制冷...

本发明提供简化冷却抽气装置的驱动液的结构的吸收式制冷机。吸收式制冷机(1)具备：蒸发器(20)，在内部具有供冷却对象流体(C)流动的冷却对象流体流路(21)，从在冷却对象流体流路中流动的冷却对象流体夺取制冷剂液(Vf)蒸发而成为制冷剂蒸...

本发明提供的吸收式热交换系统，能够将多种热向利用场所供给。吸收式热交换系统具备：冷凝部，其借助冷凝热使被加热流体的温度上升；蒸发部，其从第一加热源流体夺取制冷剂液体的蒸发潜热而使温度降低；吸收部，其利用吸收热使被加热流体的温度上升；再生...

本发明提供的吸收式热交换系统，使温度上升的被加热流体的出口温度比温度降低的加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统具备：吸收部，其利用吸收热使第一被加热流体的温度上升；冷凝部，其利用冷凝热使第二被加热流体的温度上升；蒸发部，其从加热源流...

本实用新型提供的吸收式热交换系统，使被加热流体的出口温度比加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统具备：使被加热流体的温度上升的第一吸收部、第二吸收部、第一冷凝部、第二冷凝部；使加热源流体的温度降低的第一蒸发部、第二蒸发部、第一再生部、...

本实用新型提供即使供给热的场所与利用的场所远离也能够减少流体输送所需的能量的吸收式热交换系统。吸收式热交换系统(1)具有：制冷剂的蒸发压力比冷凝压力高的升温吸收热泵(X1)；制冷剂的蒸发压力比冷凝压力低的增热吸收热泵(Y1)；将被升温吸...

本实用新型提供的吸收式热交换系统，使被加热流体的出口温度比加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统构成为具备：使第一被加热流体的温度上升的第一以及第二吸收部、使第二被加热流体的温度上升的第一以及第二冷凝部、使加热源流体的温度降低的第一以...

本实用新型提供的吸收式热交换系统，能够取出温度不同的两种被加热流体。吸收式热交换系统具备：借助吸收热使第一被加热流体的温度上升的吸收部、借助冷凝热使第二被加热流体的温度上升的冷凝部、从加热源流体夺取蒸发潜热而使加热源流体的温度降低的蒸发...

本实用新型提供的吸收式热交换系统，使温度上升的被加热流体的出口温度比温度降低的加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统具备：吸收部，其利用吸收热使第一被加热流体的温度上升；冷凝部，其利用冷凝热使第二被加热流体的温度上升；蒸发部，其从加热...

本实用新型提供的吸收式热交换系统，能够将多种热向利用场所供给。吸收式热交换系统具备：冷凝部，其借助冷凝热使被加热流体的温度上升；蒸发部，其从第一加热源流体夺取制冷剂液体的蒸发潜热而使温度降低；吸收部，其利用吸收热使被加热流体的温度上升；...

本发明提供的吸收式热交换系统，使被加热流体的出口温度比加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统构成为具备：使第一被加热流体的温度上升的第一以及第二吸收部、使第二被加热流体的温度上升的第一以及第二冷凝部、使加热源流体的温度降低的第一以及第...

本发明提供的吸收式热交换系统，使被加热流体的出口温度比加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统具备：使被加热流体的温度上升的第一吸收部、第二吸收部、第一冷凝部、第二冷凝部；使加热源流体的温度降低的第一蒸发部、第二蒸发部、第一再生部、第二...

本实用新型提供能够正确地检测喘振的离心式制冷机。离心式制冷机具备：压缩机(1)，其具有叶轮(11、12)以及使该叶轮(11、12)旋转的电动机(13)；冷凝器(2)，其与压缩机(1)的排出口连接；蒸发器(3)，其与压缩机(1)的吸入口连...