本实用新型涉及一种可变光阑。该可变光阑包括具有透光孔的基座、以及至少三组均布设置在所述透光孔的圆周上的调整机构；每一所述调整机构均包括设置在所述基座上的导向机构、对应安装在所述导向机构上的挡光光阑片、以及驱动所述光阑片在所述导向机构上运...

本实用新型适用于摩擦驱动装置领域，提供一种浮动式摩擦驱动装置，它包括一安装基座，所述安装基座设有用于提供动力的电机、由所述电机带动转动之摩擦滚子、第一从动滚轮和浮动组件，所述第一从动滚轮置于浮动组件上，在所述摩擦滚子和第一从动滚轮之间设...

本实用新型适用于滚轮导向装置，提供了一种摩擦杆滚轮导向装置，它包括安装基座，第一导向滚轮和第二导向滚轮，第一导向滚轮和第二导向滚轮通过销轴可转动的装置于安装基座上，第一导向滚轮与第二导向滚轮之间设有间距供摩擦杆通过，该间距与摩擦杆大小相...

本实用新型适用于清洗夹具技术领域，提供了一种掩膜版清洗夹具，包括一底板和一对或两对呈对角设置的夹块，所述底板的对角处分别对应设有可与所述夹块装配的凸块，所述夹块中间开设有一倾斜的导流槽，所述导流槽两侧各设有一上圆弧端和一下圆弧端，所述下...

本实用新型适用于传递和检查夹具技术领域，提供了一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有一把手，所述把...

本发明涉及一种去除干版或菲林中霉点的处理液，由按重量百分比的下述 组分配制而成：有机酸：1-3％，无机酸：1-10％，还原剂：1-3％，去离子水：85-95％， 其中所述有机酸是草酸和/或乙酸，无机酸是硝酸、盐酸或硫酸。本发明还涉及 采...

本发明适用于电子领域，提供了一种检版平台的移动方法、检版平台移动装置及检测系统，所述方法包括下述步骤：接收用户的输入或检测用户的操作，根据用户的输入或检测到的用户操作产生相应频率的脉冲；用产生的脉冲控制检版平台进行相应移动。在本发明接收...

本实用新型适用于超精密定位设备领域，提供了一种ＸＹ定位平台装置，包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Ｙ平台和ＸＹ平台，所述Ｙ平台和ＸＹ平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口，所述Ｙ平台设有Ｘ导轨，所述ＸＹ平台中置于Ｘ导...

本发明提供一种显微镜透射照明系统，包括可选择使用可见光和紫外光的光源，非球面透镜、第一球面镜和第二球面镜和聚焦镜。非球面透镜的非球面系数大于－０．２且小于０，第一球面镜和第二球面镜至少具有一个相同的球面半径及第二球面镜上与第一球面镜具有...

本发明提供一种激光共聚焦显微系统，包括显微成像部分和激光引入部分，显微成像部分具有第一光轴，激光引入部分具有第二光轴。第一光轴与第二光轴平行，于第二光轴上设置有第一反射镜，于第一光轴上设置有合束镜，第二光轴通过第一反射镜和合束镜与第一光...

一种用ＦＰＤ掩膜版制作设备制作Ｒｅｔｉｃｌｅ掩膜版的方法，包括以下步骤：　（１）将Ｒｅｔｉｃｌｅ掩膜板设计的图形通过计算机辅助处理转化成Ｒｅｔｉｃｌｅ掩膜版曝光设备识别的电子数据文件；　（２）通过Ｒｅｔｉｃｌｅ掩膜版曝光设备将步骤（１）...

本发明适用于显影液恒温技术领域，提供了一种掩膜版显影液恒温方法，设置一第一次热交换系统和一第二次热交换系统，所述第一次热交换系统通过热交换的方式将用于放置显影槽之水域槽中的循环水制冷，随后进入第二次热交换系统；所述第二次热交换系统将制冷...

本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可...

本实用新型适用于半导体光刻显影技术领域，提供了一种掩膜版，所述掩膜版具有一显影精度控制图标，所述显影精度控制图标包含有第一组刻度标记，第一组刻度标记由一组刻度标记图案组成，第一组刻度标记中的各个刻度标记图案的线宽依次呈递增或递减变化，第...

本发明适用于零件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置及该装置的操作方法，该装置包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。其中，所述测量工具为数字显示游标卡尺，所述的数字显示游标卡尺包括数字显示器和游标卡尺，...

本发明适用于ＩＣ专用掩膜板上黑点类缺陷修补领域，提供了一种ＩＣ专用掩膜板上黑点类缺陷的修补方法，其步骤为：（１）将ＩＣ专用掩膜板的膜面向上放在ＩＣ专用掩膜板修补仪上，使用ＩＣ专用掩膜板修补仪上设有的显微镜确定ＩＣ专用掩膜板的黑点类缺陷的...

本发明涉及一种掩膜版的显影方法，该方法包括以下步骤：将显影液加入药液槽中，并加热药液槽中的显影液，使其保持在恒定温度；将曝光好的掩膜版放入药液槽内，保持掩膜版在药液槽内液面以下；使掩膜版在液面以下移动，浸泡掩膜版于显影液中进行显影。该掩...

本发明提供了一种除粘用光催化剂溶液及液体感光性树脂凸版表面除粘方法，溶液溶质为二苯甲酮或其烃基衍生物，溶剂为醇、醚或氯仿，其浓度为０．１ｗｔ％～８ｗｔ％；上述除粘方法包括步骤：（１）配置光催化剂溶液，其中，溶质为二苯甲酮及其烃基衍生物，...

本发明公开了一种带凹槽的液体感光性树脂凸版的制作方法，包括以下步骤：在曝光机台上涂布树脂以形成树脂层、背曝光、主曝光以及洗版成型，其特征在于，在进行背曝光之前，在所述树脂层需要开设凹槽的位置处覆盖第一遮光板，在主曝光完成之后，取下所述第...

本发明公开了一种液体树脂供给方法及装置，该液体树脂供给方法是将液体感光树脂向曝光设备供给的液体树脂供给方法，其利用重力使液体树脂以一定的流量经由具有落差的导管向所述曝光设备补充树脂；该液体树脂供给装置包括树脂容器、与所述树脂容器下部连通...