【技术实现步骤摘要】
本技术属于传递和检查夹具
，尤其涉及一种掩膜版传递和检 查夹具。
技术介绍
掩膜版是掩膜行业内的一种光罩，它可以将图形转移到晶圆上，由于这种 工艺对掩膜版的表面洁净度和缺陷要求很高，这就给掩膜版的清洗和检查造成 了很大的难度。在一般掩膜版的生产过程中，人手必须接触到掩膜版才可进行传递，传递时手就会污染掩膜版；同时，掩膜版表面会贴一层保护膜，当掩膜 版在仪器上检查时容易把此保护膜弄破。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种掩膜版传递和检查夹具，旨在解决现有技 术中的掩膜版在传递时易受到手的污染和在4企查时易损坏其表面的保护膜的问 题。本技术是这样实现的， 一种掩膜版传递和检查夹具，其包括一框架、 若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所 述支撑件的高度小于所述定位件的高度；所述框架的一对边中部分别向外设有 一把手，所述把手和框架之间通过连接件连接。在传递时手握住把手，不会接触到掩膜版，避免了手对掩膜版的污染；掩 膜版在仪器上检查时，在大小塑料销钉的作用下，可以保证掩膜版上的保护膜 不被损坏。附图说明图1是本技术实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的方形框架的示意图2是本技术实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的支撑件的示 意图3是本技术实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具的定位件的示 意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图 及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体 实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。参阅图1所示，本技术实施例提供的一种掩膜版传递和检查夹具...
【技术保护点】
一种掩膜版传递和检查夹具，包括一框架，其特征在于：还包括若干位于所述框架上的用来支撑掩膜版的支撑件和定位掩膜版的定位件，且所述支撑件的高度小于所述定位件的高度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：荆学军，
申请(专利权)人：清溢精密光电深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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