一种用于掩膜版的定位确认装置及该装置的操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术适用于零件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置及该装置的操作方法，该装置包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。其中，所述测量工具为数字显示游标卡尺，所述的数字显示游标卡尺包括数字显示器和游标卡尺，所述数字显示器置于定位工具上，所述游标卡尺与定位工具活动连接。这种用于掩膜版的对位确认装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，为调整掩膜版的位置提供科学的依据，能大大降低由于掩模版位置偏移产生的废品数量，可广泛应用于掩膜版的定位确认领域之中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于定位确认装置领域，尤其涉及一种掩膜版定位确认装置，本发 明还涉及该装置的操作方法。
技术介绍
在对掩膜版进行加工的过程中需要将掩膜版装在光刻机的工作平台上， 由光刻机对掩膜版进行后续光刻操作，但是，目前没有一种工具在对装在光刻 机工作平台的掩膜版时进行对准确认，以使其掩膜版放置的位置符合设计要求。 在实践操作中，如果掩膜版放置的位置不符合要求会使光刻机在掩膜版光刻位 置不符合设计要求，对位不准而光刻出的掩膜版若继续进行后段工序的加工， 会导致废品或次品的产生。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种掩膜版定位确认装置及该装置的操作方法，旨 在解决掩膜版定位随意性较大，定位不准确的问题。本专利技术一种掩膜版定位确认装置是这样实现的， 一种用于掩膜版对位确认 装置，包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。本专利技术一种掩膜版定位确认装置的实施方法是①、将掩膜版手动放于工 作平台上,并吸气固定；②、将定位工具紧贴工作平台设有的基准面；③、用手 轻移测量工具，使测量工具轻抵掩膜版的边缘，记下测量数据；④、更换不同位 置进行测量，每边测量两个位置，记出每边的数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于掩膜版的对位确认装置，其特征在于：包括定位工具和测量工具，所述定位工具与测量工具活动连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郝明毅，
申请(专利权)人：清溢精密光电深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]