一种螺旋式翼型微型血泵及其计算机仿真制作方法属于人工器官设计和制造技术领域，其特征为：它是一种新提出的血泵，可以达到离心泵的高扬程，满足人体的生理辅助要求，同时工作原理接近轴流泵，推动血液在螺旋式的平滑通道内前进，因而可以大大减小对血液...

本发明公开了属于医用材料领域的一种反向温度敏型可注射式植入药物载体材料。由纤维素类衍生物、聚乙二醇、多聚糖和对纤维素类衍生物有盐析作用的盐按凝胶材料组分的重量／体积比组成。本发明通过向“纤维素类衍生物－聚乙二醇－盐”体系中加入一定浓度多...

本发明公开了属于显微外科手术器械及微细加工技术领域的“－”字形结构三维微型实心、空心硅针或刀及制备方法。采用微电子工艺制备的微型硅针或刀的针尖顶部为与单晶硅的一族（１１１）面平行的“－”字形结构；“－”字形结构是宽度较窄的直线或同一平面...

用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置，属于医疗器械技术领域。该装置由控制及显示装置、玻璃管封装的热电偶或ｐＨ传感器和一路或多路注射系统组成，每路注射系统包括步进电机、蠕动泵、试剂瓶、耐酸碱胶管以及注射微针。本发明可将药物特别是...

本发明公开了属于微加工技术和微型检测器件范围的一种在ＳＯＩ硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法。其特征在于：所述传感器采用ＳＯＩ（绝缘体上硅）硅片制备，即在所述ＳＯＩ硅片的上层硅中制备单晶硅压阻敏感器件，采用硅的横向干法刻蚀工艺从正面释...

本发明涉及一种刻蚀牺牲层形成间隙的方法，其包括以下步骤：提供一基底，在该基底上沉积一第一材料层，在第一材料层上沉积一牺牲层；在牺牲层上形成图形化的第二材料层；干法刻蚀部分牺牲层；湿法刻蚀部分剩余牺牲层，在第一材料层和第二材料层之间形成间...

本发明属于微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术领域，特别涉及一种在带有厚层结构的硅晶片上金属层的图形化方法。在本发明提出的金属层的图形化方法中，利用牺牲层腐蚀制作与硅衬底间隔着绝缘层的悬起隔离槽如多晶硅隔离槽，把溅射或蒸发在带有厚层结构的硅...

本发明公开了一种微米／纳米组合结构器件的制作方法，包括：对一基体掺杂以形成一用作基体电极的掺杂层；成形一绝缘层并露出基体电极；淀积一牺牲层并露出基体电极；淀积一多晶硅层，并对多晶硅层进行掺杂；溅射一金属层；用多晶硅层和金属层成形出质量块...

本发明涉及射频微机械串联接触式开关的制作方法，属于半导体器件及集成电路制作技术领域，该方法包括：以硅片为衬底，并进行清洗；溅射、电镀、淀积、光刻、刻蚀形成共面波导和下电极；旋涂并固化牺牲层，溅射金属，淀积介质；图形化形成带系列小孔的桥膜...

一种超声波作用封装微结构器件的方法，本发明以乙醇作为溶剂，通过控制操作温度和超声作用时间，在超声装置中实现了以有机玻璃（聚甲基丙烯酸甲酯，ＰＭＭＡ）为基板，与包括聚四氟乙烯、石英玻璃、金属等在内的多种材料复合的微结构器件的封装。所实现的...

本实用新型公开了属于半导体器件领域的一种用于超声定位与测距的微声学器件，由制作有铁电薄膜等多层薄膜材料所构成。自下而上依次为硅杯衬底、热氧化的二氧化硅、钛层－下电极铂层、ＰＺＴ薄膜层／ＡｌＮ薄膜层、上电极铂层、等离子增强化学气相淀积的二...

本实用新型公开了属于微光机电装置领域的一种以压电多层薄膜驱动的ＭＥＭＳ光开关，是在弹性衬底上沉积压电复合膜层形成多级折叠级联的驱动臂，并和反射微镜垂直连接构成单个ＭＥＭＳ光开关。其驱动臂是由弹性衬底及衬底上的缓冲材料层上面复合叠加上下薄...

一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法，属于微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术领域。本发明包括单晶硅衬底，制作在硅衬底上的下电极、下电极压焊块、上电极、上电极压焊块、上、下电极之间的二氧化硅和氮化硅绝缘层，其技术特点是所述的上电极采用弯曲悬臂梁...

本发明涉及一种压电式柔性驱动放大可调量程微夹持手，属于微机电系统技术领域，包括微致动器、柔性放大机构、尺寸预调机构和微夹持手；柔性放大机构固定在安装板上，尺寸预调机构固定在柔性放大机构的上部，微夹持手置于尺寸预调机构的上部，微致动器镶嵌...

一种静电致动微夹持器，其特征在于以静电作为驱动力源，夹持器由驱动电极、柔性结构、动梳齿、定梳齿、限位块、微夹持臂和底板组成，驱动电极、定梳齿、限位块以键合方式固定在底板上，柔性结构为连续的Ｓ形结构，一端与驱动电极相连，一端与动梳齿相连，...

本发明公开了属于微全分析系统和微机电系统范围的一种基于介质层上电润湿的微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化ＳｉＯ↓［２］下极板衬底，在衬底上为Ｔｉ／Ｐｔ下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜厌水层覆盖在介质层上，带厌水层和...

本实用新型公开了一种溶胶给料装置，属于给料设备技术领域。所述装置由给料系统和气压系统组成，进料口１与中间罐２之间通过一个进料阀５相连，中间罐２与给料罐３之间通过一个连通阀６相连；所述气压系统含有一条给中间罐２充压的管路８、一条给给料罐３...

基于气体输运流体材料的针尖直写方法及其装置，属于流体材料加工技术领域。本发明利用压缩气体提供动力，使管内的流体材料在气体压力的作用下沿芯轴输运，并通过芯轴与管底端中心孔之间的间隙流出。本发明可形成直径在１００μｍ以内，甚至到几个纳米的细...

压轮锁紧机电联动装置属于自动爬升装置技术领域，其特征在于，含有：用于夹住绳索的一对压紧轮，其中一个是偏心轮；与偏心轮旋转中心相连的压紧轮把手；与压紧轮把手相连的连杆，以及通过动铁芯上的推杆与连杆一端相连的全拉入式电磁铁的电磁推拉机构。在...

本发明涉及一种绳索并联机构自动跟踪转向传动装置，其特征在于：它包括无极绳传动机构、滑轮转向跟踪机构、配重机构、支架、底座和绳索，无极绳传动机构和支架分别设置在底座顶部两侧；无极绳传动机构包括一出绳主动轮和一出绳从动轮，两出绳轮上各加工有...