一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工...

本发明属于传感器技术领域，涉及一种微型硅桥式热对流加速度传感器加速度传感器。包括一密封腔体，在该腔体中心处的一加热丝，对称置于该加热丝两侧的两对温度传感器，以及由该两对温度传感器构成的桥式温度检测电路。在汽车、航空、船舶导航系统、民用产...

环振式数字加速度传感器属于加速度传感器制造领域，它是一种由做在硅梁或者硅膜上的存在由应力引起频率差别的两个环行振荡器形成的加速度敏感元件、混频器和滤波器依次连接而成的数字加速度传感器；所述的两个环行振荡器分布在硅梁或者硅膜的应力敏感集中...

本发明公开了属于微机电系统和传感技术领域的一种基于碳纳米管场致发射位移敏感特性的碳纳米管场致发射微机械加速度计。主要由上硅片上的梁或膜等弹性结构支撑的硅岛、硅岛表面的接收阳极；下硅片上的碳纳米管场致发射阴极；以及阴极与阳极间的微小真空间...

一种微型流量传感器，属测量仪器仪表技术领域。本传感器由感应元件，检测元件两部分组成，所说的感应元件为金属材料或半导体材料细杆，其截面为矩形。所说的检测元件安置在所说的感应元件的一端，检测元件测得的电信号由引出线引出。检测元件安置在感应元...

共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极，下硅片上表面与...

本发明涉及的用于微型飞行器的微型低速空速计，包括依次相连的微型空速管、微差压测量单元、数据采集模块、微处理器和显示存储单元；空速管进行微型化设计：包括管头、外管、总压管、静压管四部分，外管上设静压孔，总压管插入管头，外管另一端密封，总压...

本发明涉及的微槽道流体角速率传感器，包括一个封闭的腔体，腔体分上、下两部分，上腔体的顶部为周边固定支撑的驱动薄膜，下腔体由内槽、外环槽以及连通内外槽的两两对称分布的若干个通槽组成，各通槽为小内口和大外口结构；所说驱动薄膜上设置驱动元件；...

本发明涉及一种微纳结构的惯性传感器本体包括：硅基底和在其上设置的绝缘层，２个条带形电极设置在绝缘层上部的两边；２组一维纳米材料的谐振梁分别搭放在质量块与第一电极，和质量块与第二电极之间，或一组谐振梁经过质量块从第一电极搭到第二电极上，谐...

一种集成光栅干涉微机械加速度传感器，包括一由硅片（３）、质量块（５）和光栅梳齿组成的敏感单元，以及电极（９）和电极引出的接线端子（１０），与外界的用于反馈测量和自检测的光电检测电路（１５）相连，该光电检测电路（１５）由激光二极管（１３）...

本发明涉及固体颗粒速度测量领域的用于气力输送管道上的气／固两相流固体颗粒速度测量装置及方法。该装置包括ＣＣＤ数字照相机、激光片光源、图像采集装置和计算机。激光片光源平行于管道轴线，ＣＣＤ数字照相机镜头光轴垂直于激光片光源平面，ＣＣＤ数字...

本发明公开了属于ＭＥＭＳ微惯性仪表领域，涉及采用体硅加工微机械结构设计和集成电路设计的一种电容式微加速度计。该电容式微加度速计采用微机械传感器和信号处理电路两块芯片分别集成，整体封装，最终实现封装系统内结构；本发明中的微机械传感器采取全...

一种制备悬浮式微硅静电陀螺／加速度计敏感结构的方法，属于微硅结构加工技术领域。该方法包括玻璃刻蚀；玻璃溅金：金属层高出玻璃表面４００～６００埃；玻璃打孔；硅片第１、第２次ＲＩＥ刻蚀；薄膜梁工艺：高温干氧化及表面腐蚀；第１次玻硅静电键合；...

本实用新型属于玻璃气泡取样装置结构设计技术领域。包括外壳、外壳两端的法兰盘构成的密封腔体及安装在腔体内的切割件、样品座及推动杆组成。推动杆通过波纹管推动样品座平移，使切割件逐个击破玻璃气泡，释放出气体，供质谱分析。本实用新型结构简单、体...

本实用新型涉及一种用于辐射成像的探测器模块，该探测器模块包括外壳；固定在外壳上的背板，所述背板包括背板电路板；设置在所述背板电路板上的至少一个第一插接件和至少一个第二插接件；至少一块前端电路板，所述前端电路板通过所述第一插接件与所述背板...

本实用新型公开一种检测系统，其中检测系统包括半挂车、检测设备和辅助车架，检测设备能够通过辅助车架以可拆卸的方式安装在半挂车上，半挂车为无任何驱动源的从动拖车。与现有的车载式检测系统相比，由于本实用新型的检测设备能够通过辅助车架以可拆卸的...

一种固定式集装箱检查系统的自动平车循环传送装置，包括多部自动平车及支撑其循环运行的矩形导轨。各自动平车底部分别连接纵、横向行走机构，分别在不同时段置于矩形导轨的纵轨和横轨上。其结构特点是，横轨断开并留有导轨缺口保证纵向车轮通过纵轨，纵轨...

一种对移动目标进行快速成像检查的设备，所述设备包括：供受检查移动目标通过的通道；扫描成像装置，所述扫描成像装置向受检查移动目标发射辐射束以对移动目标进行成像，从而进行检查；第一检测单元，用于判别受检查移动目标的是否进入所述通道并计数；第...

本实用新型涉及一种利用太赫兹时域光谱快速检测植物油纯度的设备，包括光谱测量装置，以透射方式测量透过植物油样品槽中的植物油样品前后的太赫兹脉冲时域波形或者以反射方式直接测量从植物油反射前后的太赫兹脉冲时域波形；以及数据处理装置，通过所述时...

本实用新型公开了一种测量物质有效原子序数的装置，所述装置包括：Ｘ射线源，向被测物体发射不同能量的Ｘ射线；切伦科夫探测器，接收通过所述被测物体的Ｘ射线，并生成第一电信号；能量沉积类探测器，接收通过所述被测物体的Ｘ射线，并生成第二电信号；处...