本申请提供一种去除氨气及有机物的洗涤装置，利用洗涤装置内的第一过滤装置及第二过滤装置，依序进行循环酸洗模式(其pH值维持于5以下)及冲洗水洗模式，来同步去除因晶圆洗净所产生的废弃气体中高浓度的氨气及有机物。

本申请提供一种喷雾加湿装置，其系一喷雾装置设置于一壳体的一内侧，一供水装置的连通该喷雾装置以及该壳体，该供水装置供应该喷雾装置一第一流体以及回收流出该壳体的该第一流体，一供气装置连通该喷雾装置以供应一第二流体，并于该壳体的该内侧设置一感...

本申请提供一种智能节能温控装置，其是一加湿装置的一端连通一冷却装置的一端，一控温装置的一端连通该加湿装置的另一端，一控制装置电性连接该冷却装置、该加湿装置以及该控温装置，且该控制装置接收该冷却装置的一第一感测信号并发出一第一控制信号至该...

本申请提供一种用于空调冷冻系统的节能控温装置，设置于一空调冷冻设备，其中，该空调冷冻设备至少包含一压缩机、一第一冷凝器、一膨胀阀与一蒸发器，该节能控温装置包括一第二冷凝器、一控制阀、一混合管路件、一温度侦测器与一控制模块，该控制阀能接收...

本申请提供一种气体恒温设备及其控温方法，其中，该气体恒温设备的一压缩机能够通过两个独立的阀门，将冷媒分别传送至对应的二个冷凝系统，之后，经各该冷凝系统处理后的冷媒能够汇聚混和，再依序流入同一个膨胀阀与蒸发器，最后再流入该压缩机中，该气体...

本申请提供一种悬浮气态污染物过滤组件的制备方法，包括：提供有机纤维及天然纤维；混合后，以针轧法形成一布状物；界定出布状物的过滤区域及平板区域；以及对过滤区域加工形成直线状波纹。

本申请提供一种监测装置，包括：高压传感器、低压传感器、信号转换模块、记忆模块、运算模块、输出模块以及警示模块，其中高压传感器及低压传感器分别装设于冷冻设备的高压管路及低压管路，用以产生冷冻设备的感测信号；信号转换模块转换高压管路及低压管...

本申请提供一种湿式膜板，通过对高分子层进行电浆处理，使具毫米表面结构的高分子层表面形成高粗糙度的微米及纳米复合结构。同时，通过电浆处理来快速改善湿式膜板整体的亲水性，进而延长湿式洗涤塔的雾化洗涤液在通过湿式膜板时与废气的接触时间。

本申请提供一种节能温控装置，其一压缩机的一端以管路连通一第一冷凝器，该第一冷凝器的另一端以管路连通一第二冷凝器的一端，该第二冷凝器的另一端以管路连通一膨胀阀的一端，该膨胀阀的另一端以管路连通一蒸发器的一端，该蒸发器的另一端以管路连通该压...

本申请提供一种具有节能的气体温度控制系统，包括：一冷却水源、一温度控制模块、一热交换模块、一第一管路、一第二管路以及一第三管路；冷却水源可提供一冷却水；温度控制模块可调整冷却水的温度；热交换模块可供经调整温度的冷却水与一气体进行热交换，...

本申请提供一种具有控温及保温机制的排气装置，排气装置至少包含导流部、流量控制部及气体导出部，含光阻剂的制程废气被导入至导流部中，制程废气通过导流部进行二次分流；导流部、流量控制部及气体导出部被直接或间接加温后，其管路中的环境温度分别达到...

本申请提供一种具有等比开启与线性控制的流体增温装置，该流体增温装置是安装至设备的流道上，其至少包括一本体件、一增温件、一阀瓣组、一流量调整片及一流量调整环，本体件的一侧面设有多个第一嵌卡部；增温件与一外部电源电气连接，其安装至本体件的另...

本申请提供一种低湿度的精密温湿控制装置，其一除湿装置以一第二管路连通一第一温控装置，该混风装置以一第三管路连通该第二管路，该混风装置连通一第四管路，该第二温控装置以一第五管路连通该除湿装置，且该第四管路连通该第五管路，该加湿装置以一第六...

本申请提供一种低湿度的精密温湿控制装置，其一除湿装置以一第二管路连通一第一温控装置，该混风装置以一第三管路连通该第二管路，该混风装置连通一第四管路，该第二温控装置以一第五管路连通该除湿装置，且该第四管路连通该第五管路，该加湿装置以一第六...

本申请提供一种能简易安装热交换器的固定结构，其应用至一热交换器组件上，该热交换器组件至少包括一固定架及一组装框架，其中，该固定架的顶侧或邻近顶侧的位置设有至少一第一凹陷部，且该固定架还设有多个第一固定部；该组装框架是结合至一热交换器本体...

本申请提供一种制程尾气处理的再生系统，通过导电度传感器及有机碳分析传感器的检测来判断湿式洗涤塔内的第一液体是否需要使用补充液体保持其去除效率，以及当检测数值超出一定范围时，立即利用第二液体来进行清洗，以保持去除湿式洗涤塔的废气去除效率。...

本申请提供一种具有蒸汽预热与流量控制阀的高精度加湿设备，包括一补水装置、一加湿装置、一进水管、一开关阀、一输水管、一流量控制阀、一排水管、一排水阀及一控制模块，该补水装置的第一槽体接收一来源侧新流入的水，以使新流入的水与原容纳其内的水相...

本申请提供一种提升污染物去除效率的洗涤装置，至少包括一壳体、一导水部、一喷洒装置及一淋水部，其中，壳体的进气口将含有污染物的污染空气导入该洗涤装置内；导水部的通气孔隙能供污染空气通过；喷洒装置使洗涤溶液形成雾状液滴，再将雾状液滴朝导水部...

本申请提供一种具有高精密水温控制的湿度控制装置，其包含一控制单元、一制冷芯片热交换装置以及一储水槽，该制冷芯片热交换装置电性连接该控制单元，该储水槽以一第一管路以及一第二管路连通该制冷芯片热交换装置，该储水槽的一内侧设置一温度传感器，该...

本申请提供一种二流体喷雾加湿结构，包括一本体、至少一固定座与至少一二流体喷嘴，其中，该本体设有至少一入风口与至少一出风口，其内设有一空气流道，使得外界的干燥空气能经由该入风口流入该空气流道，且形成加湿空气后再由该出风口流出该本体外，又，...