本申请提供一种低湿度的精密温湿控制装置，其一除湿装置以一第二管路连通一第一温控装置，该混风装置以一第三管路连通该第二管路，该混风装置连通一第四管路，该第二温控装置以一第五管路连通该除湿装置，且该第四管路连通该第五管路，该加湿装置以一第六管路连通该第二温控装置，该第三温控装置以一第七管路连通该加湿装置，该第三温控装置连通一第八管路，其中流体流经该些装置并于流体输送的过程中，该低湿度的精密温湿控制装置感测并控制经过的流体温湿度，进一步调控环境的温湿度。进一步调控环境的温湿度。进一步调控环境的温湿度。
【技术实现步骤摘要】
低湿度的精密温湿控制装置
[0001]本申请是关于一种低湿度的精密温湿控制装置，尤其是指一种可精密调整流体的温湿度的控制装置。
技术介绍
[0002]随着时代的发展，工业生产的品管要求逐渐提高，使得无尘环境的使用也越趋关键，产业界常使用的无尘空间，以光电半导体等相关领域设置的无尘室较为常见。
[0003]但是在无尘空间的使用中，除了无尘环境所需的污染过滤系统外，还需要能控制无尘空间的湿度以及温度，无尘空间的温度与湿度主要是依据产线的工艺要求来制定，其需要特殊的设备、装置，以精密控制制程内的环境。
[0004]由上述可知，光电半导体等相关领域对于环境的控制相当严格，为取得更好的良率与制程稳定性，对温度、湿度、微尘粒子以及酸、碱、有机等物染物都需要严加控管，温度是基本的环境控制，由此可知在光电半导体领域中因为制程需求，使产线整体需要能精密的控制温度。
[0005]而现有技术精密温湿度控制装置的做法，于需要精密温度控制的制程加装独立的温控设备，而大多数的温湿控装置仅以单一传感器作为控制点，无法完整回馈制程区域内各空间真实的温度情况。再者，现有技术温控设备中，仅利用一个温度传感器对应一个温控装置及一个除湿装置，经过流体输送的过程中，流体的温度容易变化，并使制程端产生局部温差，偏离原先所设定的温度，无法对环境进行精密温控以及精密控湿，且现有技术装置于低湿度的环境下也难以再进一步调控环境的温湿度，因此产业界急需一种可对应精密控制环境温湿度的装置。
[0006]有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种低湿度的精密温湿控制装置，利用多个温控装置于流体输送的过程中，感测并控制经过的流体温湿度，再以除湿装置以及加湿装置对应精密调整流体的温湿度，进一步调控环境的温湿度，以解决上述现有技术问题。
技术实现思路
[0007]本申请所要解决的技术问题在于提供一种低湿度的精密温湿控制装置，其利用多个温控装置于流体输送的过程中，感测并控制经过的流体温湿度，再以除湿装置以及加湿装置对应于低湿度环境精密调整流体的温湿度，进一步调控环境的温湿度。
[0008]为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种低湿度的精密温湿控制装置，其包括一第一温控装置、一除湿装置、一混风装置、一第二温控装置、一加湿装置以及一第三温控装置，该第一温控装置的一端连通一第一管路，该第一管路设置一第一进风口，该除湿装置的一端以一第二管路连通该第一温控装置的另一端，该混风装置的一端以一第三管路连通该第二管路，该混风装置的另一端连通一第四管路，该第二温控装置的一端以一第五管路连通该除湿装置的另一端，该第四管路连通该第五管路，该加湿装置的一端以一第六管路连通该第二温控装置的另一端，该第三温控装置的一端以一第七管路连通该加湿
装置的另一端，该第三温控装置的另一端连通一第八管路，该第八管路设置一第一出风口；利用此装置精密控制进入的流体的温湿度，进一步精密调整环境的温湿度。
[0009]本申请的一实施例中，更包括一第一风机，该第一风机设置于该第八管路。
[0010]本申请的一实施例中，其中该除湿装置包括：一再生加热装置，其一端连通一第二进风口；一转轮装置，其设置一再生区以及一除湿区，该再生区连通该再生加热装置的另一端，该除湿区的一端连通该第二管路，该除湿区的另一端连通该第五管路；以及一第二风机，其一端连通该再生区的另一端，该第二风机的另一端连通一第二出风口。
[0011]本申请的一实施例中，其中该除湿装置更包括一第四温控装置，该第四温控装置设置于该第二风机以及该第二出风口之间，且该第四温控装置连通该第二风机以及该第二出风口。
[0012]本申请的一实施例中，其中该混风装置系一电动风门。
[0013]本申请的一实施例中，更包括一第一控制装置以及一第一感测组件，该第一控制装置电性连接该第一温控装置以及该第一感测组件，该第一感测组件感测该第二管路的流体的温度及湿度产生一第一感测信号，该第一控制装置接收该第一感测信号传输一第一控制信号至该第一温控装置。
[0014]本申请的一实施例中，更包括一第二控制装置以及一第二感测组件，该第二控制装置电性连接该除湿装置、该混风装置以及该第二感测组件，该第二感测组件感测该第五管路的流体的湿度产生一第二感测信号，该第二控制装置接收该第二感测信号传输一第二控制信号至该除湿装置以及该混风装置。
[0015]本申请的一实施例中，更包括一第三控制装置以及一第三感测组件，该第三控制装置电性连接该第二温控装置以及该第三感测组件，该第三感测组件感测该第六管路的流体的温度产生一第三感测信号，该第三控制装置传输一第三控制信号至该第二温控装置。
[0016]本申请的一实施例中，更包括一第四控制装置以及一第四感测组件，该第四控制装置电性连接该加湿装置以及该第四感测组件，该第四感测组件感测该第一出风口的流体的湿度产生一第四感测信号，该第四控制装置传输一第四控制信号至该加湿装置。
[0017]本申请的一实施例中，更包括一第五控制装置以及一第五感测组件，该第五控制装置电性连接该第三温控装置以及该第五感测组件，该第五感测组件感测该第一出风口的流体的温度产生一第五感测信号，该第五控制装置传输一第五控制信号至该第三温控装置。
[0018]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]图1是本申请的一实施例的结构示意图；
[0021]图2是本申请的一实施例的其他结构示意图；
[0022]图3是本申请的一实施例的结构及控制装置连接示意图；以及
[0023]图4是本申请的一实施例的除湿装置电性连接示意图。
[0024]符号说明
[0025]1低湿度的精密温湿控制装置
[0026]10第一温控装置 12第一管路
[0027]20除湿装置 22第二管路
[0028]23再生加热装置 25转轮装置
[0029]252再生区 254除湿区
[0030]27第二风机 29第四温控装置
[0031]30混风装置 32第三管路
[0032]34第四管路 40第二温控装置
[0033]42第五管路 50加湿装置
[0034]52第六管路 60第三温控装置
[0035]62第七管路 64第八管路
[0036]70第一风机A1第一进风口
[0037]A2第二进风口C1第一控制装置
[0038]C2第二控制装置C3第三控制装置
[0039]C4第四控制装置C5第五控制装置
[0040]O1第一出风口O2第二出风口
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，所述低湿度的精密温湿控制装置包括：一第一温控装置，其一端连通一第一管路，该第一管路设置一第一进风口；一除湿装置，其一端以一第二管路连通该第一温控装置的另一端；一混风装置，其一端以一第三管路连通该第二管路，该混风装置的另一端连通一第四管路；一第二温控装置，其一端以一第五管路连通该除湿装置的另一端，该第四管路连通该第五管路；一加湿装置，其一端以一第六管路连通该第二温控装置的另一端；以及一第三温控装置，其一端以一第七管路连通该加湿装置的另一端，该第三温控装置的另一端连通一第八管路，该第八管路设置一第一出风口。2.根据权利要求1所述的低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，更包括一第一风机，该第一风机设置于该第八管路。3.根据权利要求1所述的低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，该除湿装置包括：一再生加热装置，其一端连通一第二进风口；一转轮装置，其设置一再生区以及一除湿区，该再生区连通该再生加热装置的另一端，该除湿区的一端连通该第二管路，该除湿区的另一端连通该第五管路；以及一第二风机，其一端连通该再生区的另一端，该第二风机的另一端连通一第二出风口。4.根据权利要求3所述的低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，该除湿装置更包括一第四温控装置，该第四温控装置设置于该第二风机以及该第二出风口之间，且该第四温控装置连通该第二风机以及该第二出风口。5.根据权利要求1所述的低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，该混风装置是一电动风门。6.根据权利要求1所述的低湿度的精密温湿控制装置，其特征在于，更包括一第一控制装置以及一第一感测组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建凯，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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