【技术实现步骤摘要】
本申请是关于一种精密温控的混风装置，尤其是指一种可控制流体温度的混风装置。
技术介绍
1、在现代的电子行业中，精密制程设备的稳定运行至关重要，而达成这一目标需要确保特定的环境条件，尤其是利用导流混和流体的方式控制温度能维持在稳定的范围内。
2、现有方法通常可以将混风/导流或系统细分为主动式(动态导流)和被动式(静态导流)两种主要类型。
3、主动式导流系统是指利用可移动的机构来分配系统内的热能。虽然这种方法在均温过程中具有一定的效能，主动式导流系统的缺点为，主动式导流系统中的可动机构通常占据了相当大的体积，限制其应用范围。
4、被动式导流系统是通过导流板等被动组件来引导气体流动，从而实现混流的效果，但被动式导流系统由于结构较单一，难以达到温控的功效，需而外于出风口加装温控装置，方可进行控温，使装置架设成本提升。
5、因上述混风装置的问题，导致制程设备的环境控制装置成本进一步提升，因此，产业界急需一种能有效混和流体，并精密控制流体温度的装置。
6、有鉴于上述现有技术的问题，本申请提...
【技术保护点】
1.一种精密温控的混风装置，其设置于一壳体的一内侧，其特征在于，该精密温控的混风装置包含：
2.根据权利要求1所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该导流件的该角度是30°～60°，该些个加热装置个别对应该角度设置于该导流件面向该些个开口的该侧。
3.根据权利要求1所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该壳体设置一进气口以及一出气口，该进气口设置于该壳体的一端，该出气口设置于该壳体的另一端，该导流件设置于该些个开口对应该出气口的一侧。
4.根据权利要求3所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该出气口设置一感测组件，该感测组件感测流经...
【技术特征摘要】
1.一种精密温控的混风装置，其设置于一壳体的一内侧，其特征在于，该精密温控的混风装置包含：
2.根据权利要求1所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该导流件的该角度是30°～60°，该些个加热装置个别对应该角度设置于该导流件面向该些个开口的该侧。
3.根据权利要求1所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该壳体设置一进气口以及一出气口，该进气口设置于该壳体的一端，该出气口设置于该壳体的另一端，该导流件设置于该些个开口对应该出气口的一侧。
4.根据权利要求3所述的精密温控的混风装置，其特征在于，该出气口设置一感测组件，该感测组件感测流经的该流体...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈世嘉，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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