【技术实现步骤摘要】
本申请是关于一种冷却水控制装置，尤其是指一种可接收传感器信号，以对应调控冷却水流量及外部流体温度的装置。
技术介绍
1、在现代的精密产业中，制程设备内部气体温度的稳定控制被视为不可或缺的因素，尽管无尘室环境已经实施了温度和湿度的控制，但这些控制的稳定性对于制程设备的使用并不足够，因此，经常需要搭配一气体温度控制设备(如温控设备)进行制程的稳定控制。
2、常见的温控设备包括使用冷媒压缩机系统和仅使用冷却水的干盘管系统，冷却水的干盘管系统具有避免冷媒使用的优势，这不仅减少碳排放，还有助于降低温控设备的能耗，然而，单一冷却水系统在温度控制的精度方面仍有困难，因此通常需要搭配额外的温度控制设备，以满足制程对于精密温控的需求。
3、但现有技术以额外设置外部温度控制设备的方式，以精密调控冷水，其因增加另一设备/装置，而使整体故障机率上升，增加维护成本，导致冷却水系统成本进一步提升，因此，产业界急需一种能有效精密控制冷却水温度的装置，以克服上述现有问题。
4、有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种冷却水控制装置，其是通过结构配置降低冷却水来源不稳的影响，并搭配多个传感器、控制装置，使冷却水足以作为气体温度精密控制使用，进一步减少耗能、减少额外的温度控制设备，进一步降低整体成本。
技术实现思路
1、本申请所要解决的技术问题在于提供一种冷却水控制装置，其是通过结构配置降低冷却水来源不稳的影响，并搭配多个传感器、控制装置，使冷却水足以作为气体温度精密控制使用，进一
2、为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种冷却水控制装置，其包括：一进水管路、一热交换装置、一出水管路以及一控制装置，该进水管路的一端连通一进水端，该进水管路依序设置一调压阀、一第一压力传感器、一第一温度传感器以及一第一流量计，该热交换装置的一端连通该进水管路的一另一端，该出水管路的一端连通该热交换装置的一另一端，该出水管路的一另一端连通一出水端，该出水管路依序设置一控制阀、一第二温度传感器以及一第二压力传感器，该控制装置，其电性连接该调压阀、该第一压力传感器、该第一温度传感器、该第一流量计、该控制阀、该第二温度传感器以及该第二压力传感器，该第一压力传感器传输一第一压力信号至该控制装置，该第一温度传感器传输一第一温度信号至该控制装置，该第一流量计传输一第一流量信号至该控制装置，该第二温度传感器传输一第二温度信号至该控制装置，该第二压力传感器传输一第二压力信号至该控制装置，该控制装置个别传输一控制信号至该调压阀以及该控制阀，其中，一第一流体由该进水端进入该进水管路，该第一流体依序经过该调压阀、该第一压力传感器、该第一温度传感器以及该第一流量计，该第一流体再由该进水管路进入该热交换装置形成一第二流体，该第二流体再进入该出水管路，该第二流体依序经过该控制阀、该第二温度传感器以及该第二压力传感器，该第二流体再流出该出水端；以此装置进一步微控冷却水的温度。
3、本申请的一实施例中，其中一外部流体经过该热交换装置的一外侧，该外部流体与该热交换装置的一内侧的该第一流体热交换，使该第一流体升温形成该第二流体。
4、本申请的一实施例中，其中该热交换装置包括一进风口以及一出风口，该进风口设置一第三温度传感器，该出风口设置一第四温度传感器以及一第二流量计，该外部流体依序经过该第三温度传感器、该热交换装置、该第四温度传感器以及该第二流量计。
5、本申请的一实施例中，其中该第三温度传感器、该第四温度传感器以及该第二流量计电性连接该控制装置，该第三温度传感器传输一第三温度信号至该控制装置，该第四温度传感器传输一第四温度信号至该控制装置、该第二流量计传输一第二流量信号至该控制装置。
6、本申请的一实施例中，其中该第三温度传感器、该第四温度传感器以及该第二流量计电性连接该控制装置，该第三温度传感器传输一第三温度信号至该控制装置，该第四温度传感器传输一第四温度信号至该控制装置、该第二流量计传输一第二流量信号至该控制装置。
7、本申请的一实施例中，其中该进水管路更包括一水箱，该第一流体经过该第一流量计后进入该水箱，该第一流体再由该水箱进入该热交换装置。
8、本申请的一实施例中，更包括一分支管路，其二端对应该控制阀的二端连通该出水管路。
9、本申请的一实施例中，其中该分支管路设置一分支控制阀，该分支控制阀电性连接该控制装置，该控制装置传输该控制信号至该分支控制阀。
10、本申请的一实施例中，其中该第一流体以及该第二流体是水。
11、本申请的一实施例中，其中该控制装置是一pid控制器。
12、本申请的一实施例中，其中该进水端连通一制程冷却水系统(process coolingwater，pcw)。
13、有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
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1.一种冷却水控制装置，其特征在于，所述冷却水控制装置包括：
2.根据权利要求1所述的冷却水控制装置，其特征在于，更包括一外部流体，该外部流体经过该热交换装置的一外侧，该外部流体与该热交换装置的一内侧的该第一流体热交换，使该第一流体升温形成该第二流体。
3.根据权利要求2所述的冷却水控制装置，其特征在于，该热交换装置包括一进风口以及一出风口，该进风口设置一第三温度传感器，该出风口设置一第四温度传感器以及一第二流量计，该外部流体依序经过该第三温度传感器、该热交换装置、该第四温度传感器以及该第二流量计。
4.根据权利要求3所述的冷却水控制装置，其特征在于，该第三温度传感器、该第四温度传感器以及该第二流量计电性连接该控制装置，该第三温度传感器传输一第三温度信号至该控制装置，该第四温度传感器传输一第四温度信号至该控制装置、该第二流量计传输一第二流量信号至该控制装置。
5.根据权利要求1或4所述的冷却水控制装置，其特征在于，该进水管路更包括一水箱，该第一流体经过该第一流量计后进入该水箱，该第一流体再由该水箱进入该热交换装置。
6.
7.根据权利要求6所述的冷却水控制装置，其特征在于，该分支管路设置一分支控制阀，该分支控制阀电性连接该控制装置，该控制装置传输该控制信号至该分支控制阀。
8.根据权利要求1所述的冷却水控制装置，其特征在于，该第一流体以及该第二流体是水。
9.根据权利要求1所述的冷却水控制装置，其特征在于，该控制装置是一PID控制器。
10.根据权利要求1所述的冷却水控制装置，其特征在于，该进水端连通一制程冷却水系统。
...【技术特征摘要】
1.一种冷却水控制装置，其特征在于，所述冷却水控制装置包括：
2.根据权利要求1所述的冷却水控制装置，其特征在于，更包括一外部流体，该外部流体经过该热交换装置的一外侧，该外部流体与该热交换装置的一内侧的该第一流体热交换，使该第一流体升温形成该第二流体。
3.根据权利要求2所述的冷却水控制装置，其特征在于，该热交换装置包括一进风口以及一出风口，该进风口设置一第三温度传感器，该出风口设置一第四温度传感器以及一第二流量计，该外部流体依序经过该第三温度传感器、该热交换装置、该第四温度传感器以及该第二流量计。
4.根据权利要求3所述的冷却水控制装置，其特征在于，该第三温度传感器、该第四温度传感器以及该第二流量计电性连接该控制装置，该第三温度传感器传输一第三温度信号至该控制装置，该第四温度传感器传输一第四温度信号至该控制装置、该第二流量计传输一...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建凯，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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