二流体喷雾加湿结构制造技术

技术编号:36789601 阅读:19 留言:0更新日期:2023-03-08 22:37
本申请提供一种二流体喷雾加湿结构,包括一本体、至少一固定座与至少一二流体喷嘴,其中,该本体设有至少一入风口与至少一出风口,其内设有一空气流道,使得外界的干燥空气能经由该入风口流入该空气流道,且形成加湿空气后再由该出风口流出该本体外,又,该固定座能处于该空气流道中,且其上设有该二流体喷嘴,该二流体喷嘴能喷洒出雾状水气,以使该空气流道中的干燥空气能混和前述雾状水气,而形成加湿空气,如此,该二流体喷雾加湿结构无需使用任何电热式结构,仍可有效控制加湿空气的湿度,进而能大幅降低控制湿度时所需耗费的能源。进而能大幅降低控制湿度时所需耗费的能源。进而能大幅降低控制湿度时所需耗费的能源。

【技术实现步骤摘要】
二流体喷雾加湿结构


[0001]本申请是关于温控机节能技术,尤指一种采用二流体形成雾状水气,以能在无需使用电热加湿技术下,对空气进行加湿的二流体喷雾加湿结构。

技术介绍

[0002]一直以来,环境湿度都是人们对于舒适度所重视的一项指针,对于部分制造产业(如:半导体)来说,湿度控制更是相当重要,必须控制在相应的范围内,才能确保制程产品的良率。举例而言,在半导体生产工艺中,其对于无尘室(Cleanroom)的环境标准愈来愈严苛,无尘室中的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度、气流分布、振动静电、磁场等参数,都必须稳定地控制在一预期范围中,尤其是,温度与湿度的控制结果更是会直接影响到半导体的成品良率。
[0003]承上,无尘室的室内空气大多为循环空气,再辅以部分经过处理(如:过滤、加/减温、加/除湿等)后的外界空气,而在空气较为干燥的季节(如:冬季)时,往往需要以加湿设备来增加外界空气的湿度后,再导入无尘室中,以能使无尘室的相对湿度(Relative Humidity,简称RH)能保持于业者预期数值,以避免室内空气的相对湿度过低而造成人体不适,或是造成加工装置与加工物易产生静电,而吸附空气中的微尘,导致成品不良率上升。
[0004]目前业界广泛使用的精密湿度控制方式,普遍采用电热式的加湿结构,其会以电热管(或称电热棒)将液态水转换为气态水蒸气,以使干燥的外界空气能与水蒸气混和,进而提高空气中的湿度。但是,由于电热管的工作原理是根据电流通过电阻后产生热能,且前述产生的热能还须将液态水加温到摄氏100度后,才能产生水蒸气,因此,电热式的加湿结构在空调设备或温控机中相当的耗费能源,此种情况,显然不符合企业朝向节能减碳方向发展的永续经营目标。故,如何有效解决前问题,以提供耗能较低的加湿结构,即成为本申请的一重要课题。

技术实现思路

[0005]由于现有技术电热式的加湿结构,需要消耗庞大的能源,因此,创作人基于永续发展的环境议题,且秉持着精益求精的研究精神,在经过长久的努力研究与实验后,终于研发出本申请的一种二流体喷雾加湿结构,以在无需使用电热式结构(如:电热管)的情况下,仍然能够达到精密控制空气的相对湿度的效果,并能有效减少设备耗能。
[0006]本申请的一目的,提供一种二流体喷雾加湿结构,包括一本体、至少一固定座与至少一二流体喷嘴,其中,该本体设有至少一入风口与至少一出风口,其内设有一空气流道,该入风口与该出风口通过该空气流道而相连通;该固定座能处于该空气流道中;该二流体喷嘴能设置于该固定座上,其能喷洒出雾状水气,以使经由该入风口流入的干燥空气,能够在该空气流道中混和前述雾状水气,以形成加湿空气,前述加湿空气则能经由该出风口流出该本体外,如此,本申请的二流体喷雾加湿结构相较于电热式加湿结构而言,两者在具有相同湿度控制范围的情况下,该二流体喷雾加湿结构能够更为节能,以满足业者规划节能
减碳的企业策略。
[0007]可选地,该本体内设有一分隔板,该分隔板使该空气流道划分为一入风区域、一连通区域与一加湿区域,该入风区域能分别连通该入风口与该连通区域,该加湿区域能分别连通该出风口与该连通区域,且各该二流体喷嘴处于该加湿区域中。
[0008]可选地,该本体的一第一侧面与一第二侧面彼此相对,且该分隔板处于该第一侧面与该第二侧面之间,该本体的该第一侧面设有该入风口,且其与该分隔板的一侧面间相隔一第一距离,以形成该入风区域;该本体的该第二侧面与该分隔板的另一侧面间相隔一第二距离,以形成该加湿区域,且各该二流体喷嘴与该本体的该第二侧面间的间隔距离,实质上相同于各该二流体喷嘴与该分隔板的另一侧面间的间隔距离;该本体的远离该出风口的一第三侧面与该分隔板的自由端相隔一第三距离,以形成该连通区域。
[0009]可选地,该第二距离大于该第一距离。
[0010]可选地,该第一距离为75毫米至125毫米间;该第二距离为175毫米至225毫米间。
[0011]可选地,干燥空气流入加湿区域的流速为每秒2米至3.5米间。
[0012]可选地,该二流体喷雾加湿结构能具有多个二流体喷嘴与多个固定座,其中,相邻的二个固定座的中心处,彼此相隔一第四距离,该第四距离为200毫米至300毫米间。
[0013]可选地,该本体包括一箱主体与一外部盖板,其中,该箱主体的一侧设有各该入风口,该箱主体相对于该入风口的另一侧开设有一组装口,且该箱主体相邻于该入风口的又一侧则设有各该出风口,该箱主体内还设有该空气流道与该分隔板;该外部盖板能组装至该箱主体对应该组装口的位置,以遮蔽住该组装口。
[0014]可选地,该本体内还设有一延伸件,该延伸件靠近该本体的一第四侧面,且该第四侧面设有各该出风口,该分隔板的一端能连接至该延伸件,且该延伸件对流入该入风区域的干燥空气产生阻挡作用,使得前述干燥空气仅能朝该连通区域的方向流动。
[0015]有关本申请的其它功效及实施例的详细内容,配合图式说明如下。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0017]图1是本申请的二流体喷雾加湿结构的爆炸图;
[0018]图2是本申请的二流体喷雾加湿结构的立体图;
[0019]图3是本申请的二流体喷雾加湿结构的剖面侧视图;
[0020]图4是本申请的二流体喷雾加湿结构去除外部盖板的示意图;
[0021]图5A是本申请的二流体的一设置例示意图;及
[0022]图5B是本申请的二流体的另一设置例示意图。
[0023]符号说明
[0024]1:本体
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1A:第一侧面
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1B:第二侧面
[0025]1C:第三侧面
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1D:第四侧面
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10:空气流道
[0026]101:入风区域
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102:连通区域
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103:加湿区域
[0027]11:入风口
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12:出风口
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13:箱主体
[0028]14:外部盖板
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15:组装口
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16:延伸件
[0029]2:固定座
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3:二流体喷嘴
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4:分隔板
[0030]S:二流体喷雾加湿结构
[0031]H1:第一距离H2:第二距离H3:第三距离
[0032]H本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二流体喷雾加湿结构,其特征在于,包括:一本体,其设有至少一入风口与至少一出风口,其内设有一空气流道,该入风口与该出风口通过该空气流道而相连通;至少一固定座,处于该空气流道中;及至少一二流体喷嘴,设置于该固定座上,其能喷洒出雾状水气,以使经由该入风口流入的干燥空气,能够在该空气流道中混和前述雾状水气,以形成加湿空气,前述加湿空气则能经由该出风口流出该本体外。2.根据权利要求1所述的二流体喷雾加湿结构,其特征在于,该本体内设有一分隔板,该分隔板使该空气流道划分为一入风区域、一连通区域与一加湿区域,该入风区域能分别连通该入风口与该连通区域,该加湿区域能分别连通该出风口与该连通区域,且各该二流体喷嘴处于该加湿区域中。3.根据权利要求2所述的二流体喷雾加湿结构,其特征在于,该本体的一第一侧面与一第二侧面彼此相对,且该分隔板处于该第一侧面与该第二侧面之间,该本体的该第一侧面设有该入风口,且其与该分隔板的一侧面间相隔一第一距离,以形成该入风区域;该本体的该第二侧面与该分隔板的另一侧面间相隔一第二距离,以形成该加湿区域,且各该二流体喷嘴与该本体的该第二侧面间的间隔距离,实质上相同于各该二流体喷嘴与该分隔板的另一侧面间的间隔距离;该本体的远离该出风口的一第三侧面与该分隔板的自由端相隔一第三距离,以形成该连通区域。4.根据权利要求3所述的二流体喷雾加湿结构,其特征在于,该第二距离大于该第一距离。5.根据权利要求4所述的二流...

【专利技术属性】
技术研发人员:何宣谕
申请(专利权)人:奇鼎科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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